【应用】旭程KSD9700系列温控器保护涂胶显影机台的烘烤单元，具有自动复位功能且带有绝缘护套

时间： 2022-09-29 来源：世强硬创平台

技术问答

半导体设备——涂胶显影机台的烘烤工艺单元需将承载晶圆的盘芯温度控制在一定工艺温度内，为达到良好烘烤工艺效果，盘盖也配置一个加热丝（900W/220VAC）和一个温度传感器，为安全考虑，其中一项安全措施是在加热回路中串入过温保护开关，当出现控制逻辑失控、固态继电器负载短路等异常情况导致持续加热，引起温度过高，可及时切断加热回路，防止危险发生。

针对盘盖的保护措施，先前采用较为常见的突跳式温控器，会存在两个较为明显缺陷，一是高度较高，导致盘盖整体高度变大，不便后期维护；二是防护等级IP00，绝缘防护能力明显不足，维护人员能够轻易触碰到接线端子，有一定的安全隐患。因此，在最近的烘烤单元设计中，需对这些问题进行优化，选用新型温控器，能够规避之前方案的不足。

某型机台的烘烤单元实际盘盖最高温度不超过120℃，因此，温控器的动作温度应高于120℃，并且工作电压/电流能够满足实际要求。经选型，笔者选则旭程采用双金属片作为感温元件的KSD9700系列温控器，具体型号为9K9.9700-135/5JSB/080A，该产品动作温度135±5℃，最大工作电压/电流为250V/5A，完全能够满足实际需求。正常工作时，触点处于闭合状态，当温度升高至动作温度后，触点断开，切断加热回路，防止因异常情况导致超温。该产品为自动复位型，当低于复位温度，触点又会自动闭合，自带一定长度的耐高温硅胶线，便于接线操作。

图1 产品实物图

由于该产品安装于盘盖金属表面，为了安全考虑，实际使用中还需加绝缘外套，其外形小巧，节约空间，同时绝缘外套大大增加绝缘效果，无外露金属部分，避免有人误碰，出现触电危险，规避先前方案的两大缺陷。安装图所图2所示，由于该产品没有固定孔或者固定支架，因此需要额外制作一个钣金将其固定贴合于盘盖表面。

图2 产品安装于盘盖上的机械模型

图3 过温保护应用原理图

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