【应用】旭程KSD9700系列温控器保护涂胶显影机台的烘烤单元，具有自动复位功能且带有绝缘护套

时间： 2022-09-29 来源：世强硬创平台

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半导体设备——涂胶显影机台的烘烤工艺单元需将承载晶圆的盘芯温度控制在一定工艺温度内，为达到良好烘烤工艺效果，盘盖也配置一个加热丝（900W/220VAC）和一个温度传感器，为安全考虑，其中一项安全措施是在加热回路中串入过温保护开关，当出现控制逻辑失控、固态继电器负载短路等异常情况导致持续加热，引起温度过高，可及时切断加热回路，防止危险发生。

针对盘盖的保护措施，先前采用较为常见的突跳式温控器，会存在两个较为明显缺陷，一是高度较高，导致盘盖整体高度变大，不便后期维护；二是防护等级IP00，绝缘防护能力明显不足，维护人员能够轻易触碰到接线端子，有一定的安全隐患。因此，在最近的烘烤单元设计中，需对这些问题进行优化，选用新型温控器，能够规避之前方案的不足。

某型机台的烘烤单元实际盘盖最高温度不超过120℃，因此，温控器的动作温度应高于120℃，并且工作电压/电流能够满足实际要求。经选型，笔者选则旭程采用双金属片作为感温元件的KSD9700系列温控器，具体型号为9K9.9700-135/5JSB/080A，该产品动作温度135±5℃，最大工作电压/电流为250V/5A，完全能够满足实际需求。正常工作时，触点处于闭合状态，当温度升高至动作温度后，触点断开，切断加热回路，防止因异常情况导致超温。该产品为自动复位型，当低于复位温度，触点又会自动闭合，自带一定长度的耐高温硅胶线，便于接线操作。

图1 产品实物图

由于该产品安装于盘盖金属表面，为了安全考虑，实际使用中还需加绝缘外套，其外形小巧，节约空间，同时绝缘外套大大增加绝缘效果，无外露金属部分，避免有人误碰，出现触电危险，规避先前方案的两大缺陷。安装图所图2所示，由于该产品没有固定孔或者固定支架，因此需要额外制作一个钣金将其固定贴合于盘盖表面。

图2 产品安装于盘盖上的机械模型

图3 过温保护应用原理图

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2022/2/16 - 选型指南 - Ver.1.0 代理服务技术支持采购服务

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本资料为旭程电子（深圳）有限公司提供的KSD9700系列温控器的产品承认书，包含产品型号、规格、技术参数、测试数据和适用标准等内容。

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2023.12.9 - 数据手册 - Version A1 代理服务技术支持采购服务

【产品】双刀双掷温控开关KSD302系列耐久性可达10000次，常开型温度上升、触点接通

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2021-10-26 - 新产品代理服务技术支持采购服务

507.080051006 KSD9700-080℃小型塑胶壳 250V5A 常闭温控器产品承认书

本资料为旭程电子（深圳）有限公司提供的KSD9700系列温控器的产品承认书和技术规格说明书。内容包括产品型号、规格、动作温度、复位温度、电气性能、环境试验、拉力测试等详细信息。

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24.04.30 - 数据手册代理服务技术支持采购服务

【产品】双金属片突跳式温控器KSD301系列，动作温度范围0∽210℃，可自动复位

旭程KSD301系列产品是一种用双金属片作为感温元件的突跳式温控器，电器正常工作时，双金属片处于自由状态，触点处于闭合/断开状态，当温度达到动作温度时，双金属片受热产生内应力而迅速动作，打开/闭合触点，切断/接通电路，

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旭程电子（深圳）有限公司：专注于电路保护及安全防护

旭程电子成立于1996年，公司具有材料自主化，适应性强，主要原材料/部件70%由内部加工生产（熔丝、铜帽、玻璃管、壳体）。并且生产规模化，灵活性强。目前取得22项实用型专利、3项发明专利，研发能力强，持续性强。公司产品种类多，包括有电流保险丝、工业保险丝、温控器、相关配件等。

旭程 - 高压保险丝,微型保险丝,电阻式保险丝,工业保护熔断器,突跳式温控器,温控器,保险丝,汽车保险丝,光伏熔断器,微波炉保险丝,可焊式汽车保险丝,电流保险丝,工业保护快速熔断器,LED灯汽车保险丝,配件,热保护器,工业保险丝,06F,3S,KSD307系列,3T,KSD305系列,24F,12F,32F,6C,06T,KSD301系列,6F,KSD9700系列,6G,6H,24T,4F,12T,KSD9700,2F,32T,KT系列,6S,4T,2T,4TE,5TE,8TE,5C,KSD305,5F,KSD307,5G,5H,3F,KSD301,3G,PV系列,QC系列,5S,5T,蒸汽加热器,空调风扇电机,咖啡壶,空调,家用电气设备,照明,电蒸锅,蒸汽发生器,变压器,热水器,井网接口,电热器具,医疗器械,过胶机,电热设备,沐浴器,电焊机,洗衣机电机,电热水瓶,生活电器,光伏,新能源,微波炉电路,家用电器设备,电热水器,逆变器,汇流箱,镇流器,直流调节器,饮水机,消毒柜,电源适配器,光伏发电系统

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