【产品】超低压数字MEMS传感器,精度可达+/-1%FS
SM933x系列是SMI公司最新推出的超低压数字MEMS传感器。该传感器可提供最先进的压力传感器技术和CMOS混合信号处理技术,可在JEDEC标准的带有双垂直端口的SOIC-16封装中生成数字式、全面调节的多阶压力和温度补偿传感。电路板安装和系统级自动归零后的总精确度小于1%FS。由于MEMS传感器具备普通传感器无法具备的微型化和高集成度,其长期稳定性的特性进一步保证了其在整个生命周期中的预期表现。
该器件将压力传感器与信号调理ASIC集成在一个封装中,简化了增强型微加工硅压力传感器的使用。压力传感器可以直接安装在标准印刷电路板上,并且可以从数字接口获取高水平的、校准的压力信号。这消除了对额外电路的需求,例如包含自定义校正算法的补偿网络或微控制器。其产品示意图如图1所示。
图1 SM933x产品示意图
该系列主要包含两种型号,分别是SM9333和SM9336。这两种器件均具有压差测量功能,其中SM9333的压力范围分别为-125Pa至+125Pa,SM9336的压力范围为-250Pa至+250Pa。
SM933x系列超低压数字传感器产品特性:
• 压力范围:125和250Pa差分
• 自动归零后的准确度:小于1%FS
• 16位I2C数字接口
• 压力校准和温度补偿输出
• 补偿温度范围:-20℃至85℃
SM933x系列超低压数字传感器市场应用:
•睡眠窒息(CPAP, MPAP)
•呼吸机
•麻醉设备
•充氧器
•肺活量计
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