【产品】敏芯微新推MST701力传感器,基于MEMS技术,结合晶圆级封装,最大承受压力100N
力传感器(force sensor)是能感受力的信号,并能按照一定的规律将力信号转换成电信号的器件或装置。力传感器通常由力敏感元件(如金属梁、金属膜片等)、转换原件(如电阻应变片等)及信号处理单元组成。
根据国外研究与市场咨询公司发布的《力传感器市场——增长、趋势和预测(2020-2025)》报告显示,2019年全球力传感器市场价值为18亿美元,预计到2025年将达到25.3亿美元,在2020-2025年的预测期内复合年增长率为5.9%。
MEMS力传感器的原理
传统的力传感器采用的力敏元件件或应变片多为金属或导电聚合物。而基于MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)技术制造的力传感器,其力敏元件和转换元件均采用单晶硅材料。因此,其在小型化、灵敏度、精度、动态响应、可靠性及量产能力上较金属和聚合物更有优势。
力传感器的应用
目前,力传感器主要用于称重,如电子衡器、工业控制、在线控制、安全过载报警及材料试验机等领域。而随着智能手表、智能手机、笔记本电脑等消费电子设备中传感器的采用率上升,力传感器也被越来越多地应用于消费电子领域。作为人机交互重要的一环,在AR/VR领域,力传感也扮演了重要的角色。除此之外,随着智能制造、工业4.0和物联网的发展,力传感器在建筑、工业和制造、机器人、医疗保健等领域的应用也在不断被开发。
敏芯股份力传感器:MST701
敏芯基于MEMS技术,结合晶圆级封装,推出了Sensor only的MST701力传感器。
MST701的工作原理
MST701的4个压敏电阻构成惠斯通电桥结构,在外界力的作用下,器件发生变形,压敏电阻阻值随之发生变化。由于电阻摆放位置的不同,压敏电阻的阻值也相应的有不同的变化,惠斯通电桥也因此产生模拟差分信号输出。
在实际使用中,借由晶圆级封装技术Flip-Chip,MST701被焊接在柔性线路板(FPC)上,而柔性电路板(FPC)则通过VHB粘接胶粘接于外壳一侧。当外力F作用在外壳的另一侧时,外壳产生形变,并通过VHB粘接胶、柔性电路板(FPC)将力传递至MEMS芯片,引起MEMS产生形变,并最终导致其表面的压敏电阻产生变化。
MST701特征参数
产品尺寸(带锡球):842*842*200(µm)
最大承受压力:100N
灵敏度:2(mV/N/V)
非线性度(Linearity):≦5[%FS]
迟滞(Hysteresis):≦5[%FS]
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TE Connectivity(泰科)传感器选型指南
目录- Company Profile DIGITAL COMPONENT SENSOR DEVELOPMENT TOOLS FLOW SENSORS FORCE SENSORS HUMIDITY SENSORS LIQUID LEVEL SENSORS PHOTO OPTIC SENSORS PIEZO FILM SENSORS POSITION SENSORS PRESSURE SENSORS RATE AND INERTIAL SENSORS SCANNERS AND SYSTEMS SPEED SENSORS TEMPERATURE SENSORS TORQUE SENSORS ULTRASONIC SENSORS VIBRATION SENSORS WATER LEVEL SENSORS
型号- 7504A,3255A,T500,8011-AR,8011-AP,CD9515,DSD 25,68CM1,FS-90,FS-91,6900,4602,4604,7505A,MS4525DO,DSD 17,TSYS02D,CWW600,D5100,4610,MS8607,EPRB,XP5,805,5903 SERIES,808,89BSD,T400,4630,SDT1,P1200,606M1,PS2011AB,LDTC FAMILY,DSD 40,ELM-4000,3058A,MS5803-01BA,FMT,SIL-3,M7100,700,LS809-31,EGCS-D5,TLH100,4332M3,FTP520,MS54XX,EGCS-D0,ESP 64HD,XL403D,AST46HA,832,FN7110,HSTA,834,EB,PS501,LDM-1000,U86B,DP86,KMXP 1000,52M30,PS2021AB,M905,RVIT-Z,603,LS509-51,ELM-5000,TS318-3B0814,FN4070,H005,PT500,H009,610,RCS01-10,31207B,FTP540,CWW850,PML 1000,LDS309-11N,EPB-PW,EVS722-51,CWW1000,FN9630,GC,FN9635,FLDT1,U7100,FTP530,85F,FN4080,834M1,HTU2X,ARD154,EPB,EGAXT,VS804-21,HC,65210E,EPL,7108A,86A,CLP,AST46SW,HR,MS52XX,KMXP 2000,AST4510,KPSI 730,KPSI 735,FTP560,633,634,7531A,XFTC300,Y12AD,18FR,FTP552,FTP553,FTP554,AST4401,AST4400,AST4520,KPSI 720,U5700,KPSI 600,FN4055,KPSI 601,400,MS5803-30BA,FTP551,31206B,FN9620,DPG,TRUBLUE 255,LL-01,FN7325,DPL,DPN,64B,40A,64C,40B,HTF3000LF,52F,3022,KPSI 750,KMT37,FN3050,TPT,64X,KMT39,9916,53A,AST43LP,ESP 16HD,AST4500,KPSI 500,KPSI 501,KPSI 745,3028,86BSD,8811-01,PM50,KMA36,TSYS01,LT,TSYS02,ATA-2001,KMT36H,P900,LBB,G-SERIES,PM81,FN3030,DSD,3038,DSF,CM-01,DSH,8021-AP,8021-AR,DSL,PM83,CD375,ML,DT1,4020,TSD,6200,DSS,AST46PT,AST44LP,805M1,AST4600,DSY,TSD305,7500A,DC-SE,EGAXT3,4030,LDTC,XPM10,MS4515DO,KPSI 710,PT100,MSP300,AST20HA,XS-C,XS-D,7501A,LL-10,HTU3535PVBM/WIRE,PT101,6100,SSI,HTG351XCH,AST2000H2,KPSI 700,SSR,KPSI 705,TRUBLUE 275,LS304-31,LMM-H04,LMM-H03,FN3148,TSYS,DSD 70,7502A,7514A,P700,APS,4810A,CD1110,KPSI 330,8021-VP,8021-VR,KPSI 335,AST4000,7135A,5905 SERIES,400 SERIES,XFL212R,6000,LVM-110,KMXP 5000,KPSI 320,AST44XX,8711-01,121,FN3002,AST5100,LCS-03,FN3000,CS1120,R36,PCA 375,U5300,RT9,RT8,M3200,7100A,9400,TLH600,CPA150,HS1101LF,M210,AST20SW,KPSI 351,KPSI 353,HTU383X/WIRE,130,IT9000,KPSI 355,AST5300,AST4100,SG,CD1140,XPM4,SK,7101A,SM,FX19,MSP100,SP,EPM-5000,TPT300V,PM101,MSP340,SR,12FR GP,PT9000,AST45XX,KPSI 342,1201F,MT3A,ACH-01,SL-630,M5600,7102A,PT1000,TS,EL20-S458,8011-VP,MS5805,XFU400,MS5803,MP 2000,P981,HSTAR,KPSI 30,HTM2500LF,CS1210,AST5400,E-SERIES,MLP,FN1010,HTU2XF,HM1520LF,TS305-10C50,24FR,TRUBLUE 585,16MS,52,8011-VR,KPSI 27,MS32,KPSI 28,58,MS1451,XPM6,160,AST46XX,ESP 32HD DTC,PT1,161,ACCUSTAR EA,AST4200,PT5,DSH 16,DOG2,FX29,MMX,12FR,ESP 64HD DTC,7104A,TRUBLUE 575,FN2114,US300,9FR,9146-R,GHSE,PTX,85BSD,7105A,MS5837,9216,KMA36A,AST20PT,AST4300,MS1471,9146-T,808M1,U5600,FN2570,CD1050,EPM-4001,XP,82,MS5525DSO,85,86,TRUBLUE 555,FS-01,89,MS5607,FS-02,FS-05,FS-06,ED32I,MS5840,PS2031AB,8032-01,FN2420,R60D,3052A,154BSD,P9000,MS5611,XFC200R,EPIH,ELAF,ESP 32HD,M12,3801A,1620,KMY,65210ES,KMZ,FN2317,M150,AST46DS,11206AC,10FR,PS831,8021-01,EGCS-D1S,KPSI 300DS,1630,820M1,XPC10,TSEV,53AF,140A,SL-900,MS5637,CD1124T,EVS312-11N,MT2,MT3,CS1060,CD1095,832M1,VCS-06,MTA,VCS-04,3700,M5200,FN7080,P105,P101,9022,FS19,7131A,FC22,FC23,4630M12,9034,142A,9038,154N,4801A,9032,LIM-420,9033,5905,GHSER,7132A,LTA,ACCUSTAR IP66,LTB,4630M14,5903,PT8000,P125,TS318-5C50,T600,8102A,LTR,HM1500LF,R30A,GHSER 750-A,HTU21D,8011-01,PS801,700 SERIES,KPSI 380,NDT-1,FS20,FS22,4835A,AST43XX,D-SERIES,FS23,U5200,1201,1200,HPGS 750,FCA7300,AD-101,PS811,VS309-51N,KMXP,11207AC
TE connectivity压阻式力传感器选型表
ELAF 系列压力和拉力传感器以低成本实现了高性能。LAF系列压缩和拉伸称重传感器提高了高性能和低成本的标准。传感器提高了以低成本实现高性能的标准。Measurement Specialties 专有的 Microfused® 技术源自要求严格的航空航天领域。 技术,源自要求严格的航空航天技术,采用微加工压阻式应变片与高温玻璃融为一体,使其具有很高的性能。将应变计通过高温玻璃熔合在高性能不锈钢测力计上。
产品型号
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品类
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负荷传感器的传感器类型
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力作用方向
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满量程范围(Newton)
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满量程范围( lbf)
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负荷传感器电源电压
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输出信号
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欧盟RoHS指令2011/65/EU
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欧盟ELV指令2000/53/EC
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系列
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工作温度范围(°C)
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保护指数
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负荷传感器精确度(% of FS)
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CTR 零点漂移(%FS/°C)
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灵敏度漂移(%FS/°C)
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20004061-01
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压阻式力传感器
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微型称重传感器
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压力, 拉力
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0~2500 Newton
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0~500 lbf
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5 VDC
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0.5~4.5 V, 0.5~4.5 V
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符合欧盟 RoHS 标准豁免要求
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符合欧盟 ELV 标准豁免要求
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MEAS ELAF
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-40~120
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IP65
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±0.25
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±0.03
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±0.03
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选型表 - TE connectivity 立即选型
【应用】康森斯克传感MEMS压力传感器CPGM表压模组在工业气动领域大放异彩
Consensic康森斯克CPGM表压模组压力传感器,就是一款适用于工业气动控制的MEMS传感器。其核心采用的MEMS压阻式芯体和专用信号调理电路。信号调理芯片能够对MEMS压阻芯体的温度线性度 、零偏和灵敏度进行数字补偿 ,且信号调理芯片包含一个24-bit的Σ-Δ ADC,保证了高精度的数字压力信号输出。
应用方案 发布时间 : 2024-08-05
Amphenol Sensors(安费诺)/All Sensors 压力传感器选型指南(简版)
目录- 传感器解决方案及产品优势介绍 传感器技术介绍 单芯片压力传感器 双芯电路交叉耦合补偿压力传感器 双芯电路和气路交叉耦合补偿压力传感器 传感器应用领域介绍 压力单位换算 传感器通用名词解释
型号- DLH,ADCX,ACPC-C,AXCA,ACPC,BLV,DLV,ACPC-H,AXCA-PRIME,AXCA-MIDDLE,MAMP,MLV,SAMP,ACPC-P,BLC,ADUX,BLVR,MAMP-/P,ADCA,DLH,DLVR,DLVR,BLCR,MAMP-P,MDCX,ADO,BLV,AXCX-PRIME-INCH,DLHR,DLHR,AXCX,MLV,AXCA-MIL,BLC,DLC,ADO-MIL
TT Electronics 传感器和专业组件产品选型指南
目录- Company Introduction Optoelectronics Discrete Components Optoelectronics Standard Assemblies Optoelectronics hybrid Components Surface Mount and Chip Carrier OEM Pressure Sensors High-Reliability JAN Isolators/ COTS Fiber Optics VLEDs Steering Torque and Position Sensors Level Sensing Products Pressure Transducers and Transmitters Flush Mounting & Abrasive Media Submersible Transducers and Transmitters Flowmeters Temperature Instrumentation Calibration Services
型号- OP604ESA-B1,OP604ESA-B2,OP803TX,PB-AIVAC-0001-C-G,OP224,OPB930W51Z,OMH3019,3C91CTX,OPB700ALZ,P170SP1,OMH3131,OP223TX,OPB871P51TX,P270,OPB970N51,OPR5011,OMH304,2N2222AUBTXV,43LF,HCC242,SX-4431,OPB847TXV,OPB872N51TX,SX-4432,OP803SL,OPB872T55TX,HCC240,SX-4433,GPB-AIVAC-005-D-G,P160KNPD,OPI1264B,OPI1264A,OPI1264C,OPF372A,OMH307,OPB871P51TXV,OP235TX,OPB870N51TXV,2N2222AUATXV,A,OPB971N51,B,OPV332,C,D,SX-4300,E,PB-AIVAC-0001-B-G,4N49UTX,SX-4428,SX-4429,OPB870P11TX,OPB390L11Z,OPB811W55Z,5711,OPI150,OPB810W51Z,5713,OPB983T51Z,OP224TX,OPB870L11TXV,OPR5910T,OP535B,OPB848TX,P170SPD,PB-AIVAC-001-A-G,OPB815WZ,PSXX-2,OPB872L55TXV,SX-4413,OPF2412,SX-4414,PSXX-1,SX-4417,OPB871T51TXV,OP236TX,2N5794UTXV,OPB870N11,OPB872T11TXV,OPL550,OPI1268,OMH3150B,OPI1266,OPB350W062Z,SX-4487,PB-AIVAC-0001-A-G,OPB930W55Z,OPB848TXV,OPB885Z,OMH3040S,OPB870T11TXV,OPB704WZ,OPB871N55TXV,PB-AIVAC-005-E-G,OPR5011T,5611,5613,OMH3040B,OPB847TX,SX-4475,SX-4476,SX-4473,OP505A,SX-4474,SX-4479,OPB872T11TX,OPB100-SZ,PB-AIVAC-001-B-G,OP805SL,OMH3075S,OP132,OPB365T55,3C92CTX,OPB872T55TXV,OPB990T51Z,OPB701ALZ,OPB730F,OPB350,OPB810L51,OMH3075B,OPB872L55TX,OP804TX,OPB200,2N6989UTX,SX-440,OPB870P55TX,2N5794U,OPB871L51TXV,P170N2,OPB822SD,OVS5MGBCR4,OPB961N51,OMH3150,EN12-HS,OP604ESA-C2,OP604ESA-C3,PSXXM,PSXXL,EN16-H,PB-AIVAC-001-C-G,OP232,4N48UTX,OP233,EN16-V,OPF370A,5401,PB-AIVAC-002-A-G,OMH3020,5403,OP805TX,4N23(A)(U),OPB821TXV,OPB872P51TX,OPB980L55Z,OP804TXV,OP224S,OPB825,OPB704,OPI110C,OPB982P51Z,OP181,OPB870P55TXV,OPB832W55Z,OPB871T55TX,OPB711,OP603TX,OP265FAB,5311,2N2222AUB,2N2222AUA,OP604TXV,OPB870N11TX,3371,OPB990P51Z,7601,7603,OPI150TX,OPB870T51TXV,OP234W,OP603TXV,OPB804,OVSRRGBCC3TM,OPB829DZ,OPB961T51,OPB992T51Z,OVQ12S30W7,P120PK,OPB872N55TX,P170NP1,OP550A,OPB821TX,EN11-HSM,OPB720B-30VZ,OPR2100HST,OP602TX,OMH090S,OPB818,OPB829CZ,EN11-HSB,P140KH,OPB700TX,OMH090B,HCC242TXV,OPB821S5Z,OPV310Y,OPB745,6671,6673,5101,OPB620,5103,P160KN/KN2,HCT7000MTXV,OPB625,SX-4404,PS45G,OPB627,OPB890P51Z,OPB733TR,OH090U,GPB-AIVAC-002-D-G,OPB831W55Z,OPB983P51Z,OPB970N11,4N24(A)(U),OPB870N55TX,OPB871P55TXV,HCC240TXV,OPB910W55Z,OPL530,OPV314,OPB100Z,OPB872P55TXV,3N261TX,OPB870P51TX,EN11-VSM,OPB755TZ,OPI120TXV,OPB871L51TX,OPR5925,OPB390P11Z,OPB870P11TXV,2N5794UTX,OPB610,OP604TX,OP803TXV,OPB730,4N22(A)(U),2N4854UTX,OPI123,2N6989UTXV,OPI125,OPR5915,OPI126,OPI127,OPR5910,OPR5911,OPV314Y,OPR5913,OPI120,OP906,OPB820S10,4N24UTXV,3N262TX,2N6987URXV,OPB870T55TX,OPB608B,OPB980T55Z,OPB608A,OPB608V,OPB870L11TX,OPB871T51TX,2N2222AUATX,2N4854UTXV,PB-AIVAC-0004-E-G,6121,6124,6126,OPB911W55Z,OPB706A,OPB872N55TXV,PB-AIVAC-003-D-G,4N47UTXV,OPB870L51TXV,OPB870N11TXV,OPB718Z,OPB872T51TXV,OP223TXV,4N22U,OP593A,OPB830W55Z,OPB815L,OPB871L55TXV,6373,22,23,P090S,7221,25,7223,4N22UTX,3N263TX,P090L,OPB870N51TX,6371,OVSARGB4R8,OPB390T51Z,OPB680-20,OPB872P51TXV,4N47U,7216,6127,OPL800TX,OP166A,2N2222AUBTX,PB-AIVAC-0004-D-G,OPB903W55Z,6143,OPB871N51TXV,OP913WSL,OPB840W11Z,PB-AIVAC-003-E-G,OPB716Z,OPB872P55TX,OPB732WZ,4N48U,OP235TXV,OP240B,OP240A,4N24U,6138,3C92CTXV,6153,44,6273,9301,7483,45,OP245A,7486,3C91CTXV,9303,GPB-AIVAC-010-D-G,OP232W,P09XS,OPB870T11TX,OPB891T51Z,7481,P09XN,4N23UTXV,OPB870L55TX,4N49U,OVS5MBBCR4,OP245B,OPR5500,OPB912W55Z,OPI120TX,PB-AIVAC-0004-C-G,6163,OPB460N11,OPB840L11,2N2907AUBTX,2N5796UTX,P170NPD,4N48UTXV,OP805TXV,OP233W,OPB880P51Z,OPR2100,OMH3019S,OPR2101,62,OPB830W11Z,2N4854U,64,66,67,68,7386,OPB390T55Z,OP133W,OPB350W125Z,OP266W,OPB828D,OPR2100HS,OMH3019B,6173,7383,OPB870N55TXV,OPB816Z,HCT802TXV,OPB871L55TX,OPB870T55TXV,72,OPF482,OPB872L51TXV,6186,7274,78,7276,OPB380P55Z,OPB933W51Z,PB-AIVAC-0004-B-G,OPB840W55Z,OP602TXV,OPR2100T,OPB871T55TXV,OPB871N51TX,82,83,84,OPB100-EZ,OPB870T51TX,7286,OHB3040,7288,SX-4289,4N47UTX,4N24UTX,3N243TX,OPB913W55Z,OPI150TXV,2N5796U,OP224ESA-B2,OPB973N51,OP224ESA-B1,OP980,7284,OP224ESA-B3,OMH3020S,EN12-VS,OPB991L51Z,4N49UTXV,PB-AIVAC-005-C-G,OPB720B-12Z,93,8146,OHB3040B,OPB871P55TX,OMH3020B,PB-AIVAC-0004-A-G,8148,OPB880T51Z,PB-AIVAC-001-D-G,4N22UTXV,OP224ESA-C1,OP802WSL,OPB872T51TX,OP224ESA-C3,OP224ESA-C2,PB-AIVAC-010-A-G,OPB800W51Z,2N2907AUBTXV,OHB3040S,PB-AIVAC-002-B-G,OPB990T55Z,OPB710F,OP800A,OPB940W51Z,HCT802TX,8156,OPR5200,8154,OPL800TXV,SX-4388,P110KV/KVI,OP506B,OP506A,HCC240TX,3N244TX,8152,4N48(A)(U),P08XS,OPB943W51Z,8151,OVSRRGBCC3,P08XN,OPB700TXV,2N2907AUATXV,2N5796UTXV,OP291A,GPB-AIVAC-010-E-G,OPB800L55,PB-AIVAC-005-B-G,OPB871N51,SX-4491,OPB840W51Z,OPB811L55,4N49(A)(U),PS60G,P170S,OPR2800V,OPB870L51TX,PB-AIVAC-001-E-G,OPR2800T,2N2907AUATX,P170N,OP950,PS100-2,OMH3150S,PS100-1,OP604S,PB-AIVAC-003-A-G,P170S2,P09X5N,PB-AIVAC-002-C-G,OPB901W55Z,OP580DA,OPB842W51Z,2N6987UTX,OPB990L51Z,PB-AIVAC-0001-E-G,3N245TX,OPB857Z,P160KNP,OPB822S,2N2907AUA,PB-AIVAC-005-A-G,2N6987U,OP236TXV,OPB870P51TXV,2N2907AUB,OP140A,P230,OPB870L55TXV,OPB941W51Z,4N47(A)(U),OVS5MRBCR4,P261P,PB-AIVAC-010-C-G,P140KH1,PB-AIVAC-003-B-G,OP298A,OPI125TXV,OPB350L062,OPB872N51TXV,OPB871N55TX,OP225TXV,OPF522,P260T,OPB872L51TX,PB-AIVAC-0001-D-G,OPB900W55Z,P260S,P260P,89/90,OPB350W250Z
力传感器的种类有哪些
力传感器有多种类型,例如称重传感器、扭矩传感器和压力传感器,可用于不同的位置发挥不同的作用。美蓓亚三美有丰富的力传感器产品种类,适用于各种场合和不同使用位置,满足客户不同的使用需求。
技术探讨 发布时间 : 2024-07-10
智芯传感自主研发微差压气体压力传感器和防水型压力传感器,积极推动工业领域迈向智能化
目前,由北京智芯传感科技有限公司自主研发的微差压气体压力传感器ZXP8系列和防水型压力传感器ZXP4系列产品,走在了MEMS压力传感器国产化的前列,广泛地应用在军工、工业、汽车、摩托车、医疗、手机及消费电子类等多个行业。
原厂动态 发布时间 : 2022-11-08
智芯传感(Beijing Smart Sensor)压力传感器选型指南
目录- 公司简介 压力传感器产品概览和应用领域介绍 大气压力传感器 汽车进气压力传感器 制氧机用压力传感器 表压气体压力传感器 防水型压力传感器 差压气体压力传感器
型号- ZXP0,ZXP1,ZXP4,ZXP2,ZXP3,ZXP8
机器人指尖用美蓓亚三美的微型6维力传感器,实现更精细、更接近人类的机器人动作
美蓓亚三美的6维力传感器有3个力轴和3个力矩轴,可同时测量三个轴上的力和力矩,非常适合安装在工业机器人的手上,尤其是多指机器人指尖,使机器人手能根据任务对象灵活调整力的大小,做出更加精细和准确的动作。
应用方案 发布时间 : 2024-07-10
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可定制板装式压力传感器支持产品量程从5inch水柱到100 psi气压;数字输出压力传感器压力范围0.5~60inH2O,温度补偿范围-20~85ºС;模拟和数字低压传感器可以直接与微控制器通信,具备多种小型SIP和DIP封装可选择。
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可自由定制铜排形状尺寸;检测精度:0.5%~1.0;电流测量范围 ±300-500A。低噪音 (0.27mVpp);低磁力残余误差:2mV;响应性能<4μSec;支持RoHS指令 、AEC-Q200。
最小起订量: 100个 提交需求>
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