【应用】GaN射频功率器件的测试、建模及验证完整解决方案

时间： 2020-07-21 来源：Keysight

技术问答

文章的主要内容目录如下：

1. GaN技术的发展及应用

2. 射频器件模型的种类

3. 实验数据与分析

4. 建模流程

5. 建模验证

6. 运用MQA进行模型验证

7. 模型在ADS里的设计应用

8. 总结

01.GaN技术的发展及应用

第三代半导体材料GaN是宽禁带半导体的核心代表，较高的禁带宽度决定了由其制造的半导体器件可以在高压、高温的环境中正常工作。过去十年，GaN已在多个行业领域产生了重大影响，在光电方面它已对高亮发光二极管(HBLED)的发展和增值发挥重要作用，在无线通讯方面它已广泛应用于高功率射频(RF)设备，如高电子迁移率晶体管(HEMT)和单片微波集成电路 (MMIC)。同样，在电源应用中GaN也具备巨大的潜力。

下图展示了GaN RF器件的市场份额预测，随着2019年5G的正式运营，可以清楚地看到在基站应用领域 (Wireless Infrastructure) GaN器件的应用在有了更显着的逐年成长趋势。

从芯片面积来看

GaN技术在RF相应应用领域也是不遑多让的。下图展示了在RF应用领域相同晶片尺寸上的GaN与GaAs对比，GaN晶片尺寸大约只有GaAs晶片的五分之一。

从材料本身物理特性指标来看

下表对比Si/GaAs/GaN材料特性，GaAs有最高的电子迁移率，因而在高频性能特性上表现优异，耐高压和高电流的能力优于Si但低于GaN，所以GaAs主导中低功率高性能的RF功率放大器应用。Si由于其器件种类多、成本低及整合容易的优势，在较低频率和低功率应用上较为普及。GaN器件高频性能优越，而且具有优越的高功率特性，因此在高频高功率的应用领域，具有独特的优势。

02.射频器件模型的种类

射频器件模型种类可分为数学模型﹑物理模型与基于测试数据的神经网络模型，其优缺点如下表:

其中数学模型与物理模型，虽同为参数化模型，但物理模型涵盖更多器件结构相关参数。EEHEMT因参数提取容易，被广泛使用在GaAs pHEMT，但并不适合用于GaN HEMT，并且缺乏Rth热模型描述。

Angelov-GaN 模型强化了参数描述，并且植入了Rth热模型，同时提供了VA模型代码，因此许多模型开发者都基于此模型基础上进行模型改善。

ASM/MVSG则依据器件结构进行模型描述，并具备各式模型所需要的功能，并且物理参数描述也强化了模型的收敛性。

下表对比EEHEMT/Angelov-GaN/ASM/MVSG功能差异性:

综合考虑精度与提取难度，经紧凑模型协会(Compact Model Coalition, 简称CMC) 认证的物理模型：ASM模型和MVSG模型，就成为目前最为火热的模型解决方案。在此篇文章内容里，除了介绍加拿大Focus Microwaves公司业界领先的测试方案外，还提供了ASM GaN射频模型的完整解决方案。

CMC (Compact Model Coalition)

CMC (Compact Model Coalition)是国际上的模型认证组织。它在硅模型上贡献卓越，认可的知名模型如BSIM、HICUM与PSP (http://www.si2.org/standard-models/) ，近几年CMC开始跨足认证III-V领域的模型。目前CMC认可的III-V模型有ASM模型和MVSG模型，这两者都是专注于GaN HEMT射频与电力电子的应用模型。

如下图所示，ASM为物理模型，在基础HEMT核心模型之上，建构各式物理模型，较受到关注的如: 自热模型﹑陷阱模型﹑通道调变模型与场板模型。

总之，ASM模型特点与优势:

物理模型，具备结构参数/自热效应/场版模型

多型态的陷阱效应模型描述

无多项式数学拟合描述式，提高模型收敛性

提供VA原代码，可在各平台上进行仿真

已经得到行业的广泛应用

03.实验数据与分析

3.1测试条件设定

整个测试流程总共分为四部分，DC-IV测量及脉冲IV测量、脉冲S参数测量和负载牵引测量（Load Pull），其中负载牵引测量是用于验证模型的准确性。同时为了消除器件的自热效应，陷阱效应，均采用了脉冲的方法，分别测量了器件的脉冲IV和脉冲S参数。

本文章所用待测物GaN HEMT器件由中国科学院微电子研究所制备和提供。AlGaN/GaN异质结结构示意图如下图所示。其中栅的长度0.25um，栅宽为75um，栅指数为4。

通过开路（OPEN）和短路（SHORT）的去嵌图形进行去嵌，去除pad的寄生，获取器件有源区的本征特性。AU5脉冲IV/RF测试系统依据提取流程，测量器件的参数，如下述提及的DC IV、脉冲IV和脉冲S 参数，并将包含ASM-HEMT模型内核的VA文件导入到IC-CAP中，通过IC-CAP调用KEYSIGHT ADS仿真器完成仿真，然后调节（tuning）模型参数使之仿真结果与测试结果相拟合。

3.2DC IV特性

模型需求上，DC-IV描述模型基本电性，在IC设计的使用者可依据设计偏压条件进行仿真，得到正确的静态电流条件。DC-IV 特性的提取步骤如下图所示：

3.3脉冲IV特性

GaN器件由于为一缺陷材料，在工艺品质上都存在高度的困难，因此模型上加上陷阱效应模型 (Trapping Model) ，在提取手法上运用了脉冲IV测试。

其主要影响为如下图所示，虚线为直流IV的线型，实线则为脉冲IV的线型，然而器件在功率性能的表现是依据负载线(Load-Line)的扫描范围，功率的IV波动与脉冲IV波动有相似之处，因此藉由陷阱模型进行脉冲IV的拟合，在模型手法上可有效修正因陷阱效应改变的负载线扫描范围，进而改善模型在功率上的精度。

因此脉冲IV测试对于GaN器件的必要性如下:

工艺上，评估工艺品质在器件缺陷上是否达标

模型上，陷阱模型效应提取，进而改善模型功率精度

脉冲IV特性的提取过程，藉由 Focus 公司的 AU5 脉冲IV/RF测试系统完成，系统由主机、栅极脉冲头 (PHG) 、漏极脉冲头 (PHD) 及Keysight的 N6700C 系列直流源组成，其电源模块可以根据电压电流、功率及精度自由更换，见图2。在提取过程中，可把测试数据以MDM文件保存，完成测试后，无缝导入IC-CAP。

为尽可能的减少器件的自热效应和提取器件的本征特性，可设定适宜的脉冲宽度和占空比。在这次的实际测试中，PHG的型号为PHG20，PHD的型号为PHD220-2，最小脉冲可达200ns。与此同时，还可以改变脉冲头的输出模式，支持连续波和脉冲两种模式，通过获取器件在两种状态的IV曲线可以明显看到热效应和陷阱效应的影响，见图3。

AU5也可单独控制栅极或漏极的工作模式，由此可以实现栅延迟或漏延迟的功能。在模型结果上见图4，请参考ASM相关论文(以下资料引用公开论文之内容，另外此后续出现的模型结果均引用此论文，不再赘述):https://iitk.ac.in/dord/isro/Publications/YSC/4-GaN_HEMT_Modeling_for_Power.pdf

3.4矢量网路分析仪与脉冲S参数

脉冲S参数测试的常见问题–测试抖动，如图5-1中, 左图呈现一个平滑的S参数曲线, 但部分使用者可能测出右侧的抖动S参数曲线。

这时使用者需要的是 N5247B PNA-X (图5-2 , 扫描频率为900 Hz/10 MHz 至 67 GHz) , 相关详细规格联络是德科技, 并对客户的需求进行客制化的配置。

在图5-3中, 表述不同测试下所产生的系统底躁, 这是测是脉冲S参数抖动的原因。在N5247B (PNA-X) 测试配置下, 呈现出平滑的S参数测试结果。

在脉冲S参数的测量过程中，Focus公司的AU5脉冲IV/RF测试系统需要与Keysight公司的PNA-X/PNA网络义协同完成。其中，AU5同步触发PNA-X/PNA，然后设定DC Bias和RF的时序，保证器件工作在正常的状态，最后AU5读取每个Bias的电压和电流波形，并生成脉冲IV曲线和脉冲S参数曲线。图5-4即是脉冲S参数测量的系统框图。

为了精确地表征S参数，要用包含寄生元件的子电路来表征器件中的寄生电容和电感，这个过程可以通过模型中包含相关寄生电容的参数来完成，也可以通过在ASM内核模型外直接添加子电路来完成。

由于使用模型自带参数需要开启部分模型开关，且参数繁多复杂，本实验通过在ASM内核模型外面直接添加子电路来实现。

在内核模型外部，添加了用来表征寄生的Rg、Rd、Rs 以及Cds、Cgs和Cgd，通过调节这些外部寄生参数的大小来拟合S参数，完成对S参数的建模。

这些参数按照小信号模型的提取方法，在拟合过程中进行了微调，提取结果见图6，其中左上角为脉冲IV的测试数据，右上角

模型精度上，标准S参数拟合精度如图7，虚线标示为测试，实线标示为模型，模型呈现优质的拟合精度。

04.建模流程

ICCAP是DC参数与S参数测试与建模软件的领导者，提供各式模型解决方案，目前已有许多的使用者。在新版ICCAP2020上，引入PATHWAVE概念：

建构在ICCAP上模型工具涵盖各种类模型，并在新版ICCAP上，提供ASM-HEMT模型提取工具包，可在Example的类别找到相关工具:

在一页式的模型提取介面，整合各种模型工程师所需要的模型提取功能与资讯，简洁而方便，有效提高模型工程师的工作效率与拟合精度:

、

关于AU5系统测试数据导入ICCAP里，AU5可直接输出ICCAP所支持的MDM档案格式，因此AU5的测试数据可以直接在ICCAP中进行使用与模型参数提取。

ASM GaN模型提取流程如下:

设置器件结构参数: L, W, NF, Tbr

提取log-IDVG相关参数: VOFF, CDSCD, ETA

提取 IDVG-LIN 相关参数: U0, UA, UB, RDS, VSTA, ETA

提取 IDVD 相关参数: LAMBDA, VSTA, ETA

提取Cgs/Cgd/Cds相关参数

05.模型验证

有关模型精度的验证，业界通常采用的方法是使用负载牵引测试数据。

图9为Focus最新的，特别针对on-wafer的解决方案，这种方案的最大优点是实现阻抗调谐器与探针的直接连接并且阻抗调谐器内置双定向耦合器，从而最优化阻抗调谐器与DUT之间的损耗，从而提高了系统的最大阻抗调谐范围。

同时，与Keysight的PNA-X/PNA搭配在一起，组成基于矢网接收机模式的实时矢量负载牵引测试系统，这种系统是GaN器件建模的常规配置。

图10是实时矢量负载牵引测试系统所需设备以及连接示意图。在本次实验中，测试系统主要由Focus公司的谐波阻抗调谐器和Keysight 的PNA-X组成。

其中，输出端为谐波MPT谐波阻抗调谐器，可主动改变2次和/或3次的谐波，谐波阻抗牵引在GaN HEMT的功率器件的测量和建模中是非常必要的。而PNA-X则作为信号源和接收机来使用，可以测量输入和输出RF信号的幅度和相位。最后，Focus的控制软件FDCS会自动的控制所有系统内的设备，完成所有的测试。

GaN HEMT器件在模型上，应含有陷阱效应，运用在ASM中陷阱效应的功率优化后，大信号模型拟合精度如图11所示，可呈现一个优质的结果与良好的收敛性:

06.运用MQA进行模型验证

MQA是模型质量验证工具，通过MQA，可以对所建立的模型进行全方位的检查。

MQA可以载入用户的模型库以及测试数据，通过QA rule文件控制网表的生成，然后使用内建的函数进行物理趋势以及精度的检查。可以通过一次设置完成非常复杂的模型检查工作，并可以按照客户要求的格式生产QA报告。

HEMT器件的QA内容包含

idvg, idvd等DC特性

S参数, Y参数, Ft, Fmax等RF特性

Cgs,Cgd,Cds等CV特性

Pout vs Pin, Gain vs Pin, PAE vs Pin等大信号特性

检查形式包含

测试数据质量检查

不同版本模型之间的比较

模型与数据之间精度的比较

不同仿真器之间差异的比较

Target的物理趋势检查

07.模型在ADS里的设计应用

ADS在射频芯片设计领域独占鳌头，除了方便直觉的操作介面，并且整合了各式功能，更包含各式的器件模型﹑高精度高速度的电磁场仿真，加上芯片厂建构于ADS的设计套件支持了参数化器件版图与DRC/LVS。在新版ADS2020中，同样导入PATHWAVE观念，给予使用者更加一致的体验:

在ICCAP平台上进行参数提取完后，模型导入ADS只需要简单几个步骤。在下方图示，ADS提供ICCAP Import功能，在执行后自动带出ASM模型，但由于ICCAP模型除ASM模型外，自定义了少部分的外部等效电路，因此出现警示。

在ASM模型导入后，将外部自定义的寄生效应加入后，模型已在ADS完整描述:

在简单搭建DC仿真平台后，使用者可以轻易观察此模型的电性，同时此模型也可运用于各类线性与非线性的仿真应用:

在ADS平台中搭载各式仿真与验证工具，设计参考流程如下，使用者可在ADS上轻易完成:

1器件基本性能评估, 如: DC/S参数/功率特性

2找寻器件匹配阻抗位置，运用阻抗匹配工具进行相关作业

3运用传输线工具与PDK元件，用真实元件完成设计并排版版图

4运用EM仿真进行真实环境的匹配性能仿真与优化

5检视设计成果，并进行DRC与LVS确认

下图为运用ICCAP ASM GaN器件进行匹配完成后的单级放大器版图，在8X100um器件在VD=50V操作下，10GHz的操作频率，可达到40dBm的输出功率与56%功率附加效率等性能。

ADS强大的EM功能并不局限在芯片等级的仿真，许多使用者有多工艺联合模块EM仿真的需求，在传统上流程繁琐，但在新版的ADS中，提供多工艺联合模块EM仿真的功能，简单而且直觉，让使用者可以更专注在设计上。

08.总结

由于GaN 属于具有缺陷的材料，无论在外延或是工艺上，都具有挑战性。在面对此问题上，Keysight N5247B矢量网路分析仪搭配上加拿大Focus公司AU5脉冲系统提供业界领先的脉冲IV/RF测试能力，可实现高压窄脉宽的脉冲测试，并呈现优质的S参数测试结果，满足您在GaN脉冲测试的需求，帮助您精准提取器件性能参数与品质检测。

芯片厂的工艺方面，GaN质量检测极为重要，测试脉冲进行器件的品质标准，使客户对于器件严格检测标准产生对此工艺的依赖性。

在模型方面，由CMC认证的物理模型ASM模型，具有完整的GaN器件特性的描述，完整描绘DC/S参数/功率性能的精确线型，并且运用AU5 系统进行脉冲测试，进行陷阱效应的模型提取。

陷阱效应模型具有高度的复杂度，在ASM模型中提供适合各式应用的相应陷阱模型，有效提高功率模型精度，使芯片的仿真更有效预测实际的测试结果，避免设计功率未达要求的状况产生。

设计环境上，90%以上RF使用者所选用的ADS，在订制的设计套件下，ADS提供各式方便优质且精确的设计工具，提供设计者量好的设计体验。

总之，Keysight与Focus可以一起向客户提供完整的GaN器件建模解决方案（含Keysight的高级定制服务解决方案）。该解决方案所用到的软硬件以及相应工具如下表所示：

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型号- U8480,B2911B,N9321C-TG4,CXG X 系列,N8926A,34460A,N7040A,N5742A,N5766A,N9918B,N9918A,N6735B,N6977A,DSOX6MSO,V8486A,N6953A,N8480,85093D,3012G,N5743A,6800C 系列,3024G,L2050 X 系列,N1914B,N5767A,3000G,N1914A,P9240AUTC,B2900BL,N6976A,N6746B,N443XD,N6734B,N6952A,E5061B ENA 系列,N8948A,34470A,N7042A,N1913B,N1913A,N5744A,N1298B,E5061B ENA,N5768A,N1298C,N3300A,3000G 系列,N1298A,N9916B,N9916A,N8924A,N9928A,D2000AUTB,34939A,N6701C,N8949A,N8925A,N8937A,N7041A,3034G,N1912A,N9000B,N5745A,3022G,N5769A,N2819A,B2901BL,S404A,E36100B 系列,N6700C,N9917B,N9917A,N6736B,N6954A,CXA X,D6000PWRB,8491A,E36150,P9240AERC,N9320B,33509B,N7020A,N1911A,N5746A,N3302A,N2818A,EXR208A,34925A,34937A,82357B,P9240BDLC,U2802A,D6000AUTB,N5181B,8480D 系列,N2142A,N9321C,AC68GPBU,B2902B,3032G,4024A,N5747A,N3303A,U9424B SP4T,S204A,E36150A,8490G,ENA,U9422C SPDT,N6702C,B2901B,N6705C,U2060 X,D2000BDLB,N8928A,33519B,EL30000,N3304A,N5748A,D4000USBB,33600A 系列,34947A,34959A,6000 X 系列,N2804A,B2900B,N8929A,B2912B,N5171B,N2140A,3054G,N3305A,U8903B,N5749A,4022A,EXR 系列,34934A,4034A,34946A,8480D,EXR054A,EPM,U2702A,DSOX-6WAVEGEN2,N9324C,N3306A,6000 X,U2300,34921A,N5700,D2000GENB,D4000GENB,34945A,34933A,3458A,RP7935A,E36155A,U2701A,BV9210B,DSOX1202G,RP7945A,RP7933A,B2962B,1146B,DSOX1202A,N8900 系列,U9428C SP8T,N3307A,S604A,D6000BDLB,RP7900 系列,W8486A,N6900,1147B,RP7946A,E36154A,3104G,N7026A,U9424C SP4T,N9324C-TG7,BV9001B,33600A,33612A,J7204,B2961B,RP7932A,U2600 系列,1131B,PP0002A,N9322C,N9310A,D6000AERB,PP0001A,MXG X,34931A,2002A,53200,2014A,AC6906L,AC6918L,DSOX2PLUS,U2723A,33611A,B2960B,DSOX1204G,RP7943A,RP7931A,2004A,1132B,DSOX1204A,U9422A SPDT,N9323C,U2050 X 系列,J7205A,X 系列,34942A,E5063A ENA,N5700 系列,U3606B,53210A,AC68ALGU,2000 X,CXA X 系列,U2722A,3102G,8509XD,33622A,PP0004A,AC6900,34941A,N8760A,U9422C,2012A,U9422B,2024A,U9422A,N27992A,E36232A,AC6906H,AC6918H,33512B,33500B,33621A,N6700,1130B,PP0003A,N6705,N8761A,B2900BL 系列,P9243A1,N2821A,DSOX-PERFMSO,E36231A,N9320B-TG3,DSOX 系列,2000 X 系列,4000 X,33511B,N5166B,EDU36311A,N3300,4104A,E36234A,2022A,N7900,D3000USBB,DSOX-2WAVEGEN,N2820A,U3810,U2600,33510B,U2020 X 系列,N443XD 系列,3014G,33522B,BV9200B,EDU34450A,3498A,E36200 系列,34950A,U9428A SP8T,E36233A,CXG X,EXG,N8480 系列,L2060 X 系列,AC6903L,N2843A,RP7936A,E36100B,AC6903H,EXR,B2900B 系列,D4000PWRB,33521B,N9962A,RP7962A,EPM 系列,3000G X,1000 X 系列,P9377B,AC6804B,EXG X 系列,E4982A,DAQM905A,DAQM909A4,N9950B,N9950A,N8740A,D3000GENB,E36200A,E36103B,N6791A,E 系列,N2842A,AC6912L,B2980B 系列,AC6912H,N9951A,33520B,RP7973A,RP7961A,N2841A,N7007A,53131A,P9243A,P937XA,P937XB,E4981A,U2741A,N9323C-TG7,N9951B,34972A,E36102B,N6790A,EDU33210A 系列,E36320A,N8741A,AC6802B,RP7972A,4000 X 系列,U2000 系列,U9424A,P9240AWGA,P924XA,S254A,E3600 系列,DAQM903A,N9960A,53200 系列,E36311A,N8762A,6000X,E36105B,U7104N,N6781A,U9424C,U2000,U9424B,N2876A,U7104F,E3641A,U2060 X 系列,U7104E,EXR254A,U9428B SP8T,RP7983A,N3300 系列,N7550 系列,AC6803B,DAQM904A,N8900,U2751A,84904L,34970A,N9961A,E36104B,CXG,E36150 系列,N6792A,P 系列,E3640A,DSOXBODE,AC6800B,N2874A,EDU33211A,RP7942A,6002A,BN9963B,E3600,S054A,1000 X,U7106N,E36313A,DAQM900A,L2060 X,U9422B SPDT,DSOX,U7106F,U7106E,N8756A,DSOX2MSO,J7204B,N8732A,E36150A 系列,N8950A,U3851A,EXR058A,RP7941A,AC6801B,10070D,P9384B,D4000AUTB,N2752A,EDU33210A,RP7953A,BN9962B,DAQM902A,U2761A,34980A,E36300A,E36312A,N6782A,DAQM901A,U2020 X,E36106B,53220A,N8757A,AC6900 系列,N8733A,D3000PWRB,N8951A,N9952B,RP7952A,N9952A,U7108B,U7108A,P9242A,P9375B,U7108C,P9240GENC,N2751A,P9375A,U9428C,E4980A,U9428B,6004A,33500B 系列,U9428A,N7971A,ENA 系列,D4000AERB,53132A,EXG X,N6785A,B2980B,N6773A,N6761A,N8754A,N8742A,RP7963A,N9953B,RP7951A,EDU33210 系列,N7970A,EDU33212A,P9241A,P938XB,N2750A,N2871A,53230A,N8700,U3810 系列,U9424A SP4T,DSOXT3MSO,S804A,L2050 X,J7201C,J7201B,N6784A,N8755A,J7201A,N8731A,N2870A,8495D,N2797A,N9934B,N2894A,N5770A,8495B,34420A,N70412A,N7973A,E3647A,6000X 系列,10833F,10833G,10833A,10833B,4154A,D6000GENB,10833C,S104A,10833D,N6775A,EXR204A,N6763A,N8736A,N6751A,N8954A,N8930A,EL34143A,E36300 系列,DAQ973A,N7550,EDUX1052A,U8480 系列,N9923A,N2796A,N9935B,3000G X 系列,N9935A,N2893A,EDUX 系列,3052G,U2781A,N5771A,N7972A,EDUX1052G,E36100,PP001A,E3646A,DP0001A,6811C,4032A,EXR108A,E36100 系列,N6786A,N8737A,D4000BDLB,N6774A,N6762A,N8943A,10834A,E5063A,N8955A,8494G,N8931A,E3634A,N2783B,N2795A,BN9961B,N5772A,6813C,N7951A,D6000USBB,E3649A,6800C,6812C,U71010A,U71010C,U71010B,N6753A,AC6800B 系列,N8758A,N6741B,N8734A,N6971A,S 系列,N8952A,N6777A,N6765A,N8940A,P9370A,P9382B,N2891A,P9370B,N2782B,D3000AUTB,53181A,N9933B,N28005A,EL30000 系列,U2050 X,N5761A,N7950A,BN9960B,N7974A,N8700 系列,34465A,E3648A,4054A,N6764A,N8759A,N6752A,E9320,N8735A,N6970A,N8941A,EL34243A,N6776A,N2793A,DAQ970A,N2890A,N2781B,RP7982A,E4417A,8509XD 系列,N9914B,N9914A,82350C,N5750A,N7953A,U2300 系列,N7977A,N5762A,DAQM909A,E8486A,DSOX-4WAVEGEN2,E5810B,N9938B,N9926A,N6743B,N8934A,N9938A,N6731B,N8946A,N6973A,E36100B 系列,E36200A 系列,E3643A,N6755A,EDUX,N2780B,E4416A,N9915B,N7976A,N5763A,E4980AL,N5751A,E36300,N7952A,D9110PWRA,E9300,N9915A,N8923A,N6972A,EXR104A,N9927A,N6742B,N8935A,E3630A,4052A,E3642A,N6700 系列,N6766A,N6754A,N2791A,

选型指南 - KEYSIGHT - 2022年11月1日 PDF 中文下载

Keysight（是德科技）测试仪器分销产品选型指南（英文）

目录- BenchVue Control and Analysis Software RF Bench and Handheld Instruments Handheld Spectrum Analyzers FieldFox Handheld Analyzers Spectrum Analyzers, Signal Analyzer Audio Analyzer and Signal Generator Power Sensors and Power Meters RF and Microwave Test Accessories Vector Network Analyzers and ECal Modules Essential Bench Oscilloscopes, Applications, and Probes Digital Multimeters Function/Arbitrary Waveform Generators Data Acquisition/Switch Units USB Products and Connectivity Frequency Counters/Timers Power Supplies Bench Power Supplies System Power Supplies Precision Power Supplies System Power Supplies(continued) DC Power Analyzer, SMUs, and DC Electronic Loads AC Power Sources LCR Meters Handheld Instruments

型号- U8480,B2911A,U1272A,N8926A,34460A,N7040A,U8000,N9340B,53140,N5742A,N5766A,34905A,N9918A,N6735B,N8480,N5743A,N5767A,N1914A,3024T,3012T,U1273A,34904A,N6746B,N6734B,U3800,U1282A,N8948A,34470A,N7042A,N1913A,N5744A,N5768A,34903A,N8924A,N9916A,N9928A,34939A,N6701C,N8949A,U1271A,N8925A,N8937A,N7041A,N1912A,N9000B,N5745A,N5769A,N2819A,3022T,3034T,N6700C,34902A,N9917A,34938A,N6736B,U1600,8491A,DSOX1102G,DSOX1102A,N9320B,P-SERIES,33509B,N7020A,N1911A,N9344C,N5746A,N3302A,N2818A,34901A,34937A,U1701B,82357B,U1273AX,U2802A,N5181B,N2142A,U1281A,B2902A,4024A,N5747A,N3303A,8490G,N2805A,3032T,N6702C,U1700,N6705C,N8928A,N9342C,33519B,B2901A,N3304A,N5748A,34947A,N2804A,N8929A,N5171B,N9343C,N2140A,X-SERIES,B2912A,N3305A,U8903B,N5749A,4022A,34934A,4034A,34946A,8480D,3054T,U2702A,N3306A,U1733C,U1210,U2300,N5700,34945A,3458A,TU1453A,U2701A,B2962A,1146B,N3307A,1147B,N7026A,33600A,33612A,B2961A,N9322C,N9310A,U1731C,2002A,53200,2014A,3104T,U1610A,U2723A,33611A,2004A,U1732C,J7205A,34942A,U3606B,53210A,J7205B,U2722A,N1810UL,33622A,3102T,34941A,N8760A,2012A,2024A,U2500,U1620A,33512B,33500B,33621A,N1810TL,3004A,N6700,N6705,N8761A,N2821A,33511B,N3300,4104A,2022A,N2820A,U2600,33510B,33522B,3014T,N2843A,E36100B,33521B,N9962A,87106D,AC6804B,E4982A,DAQM905A,34950A-34959A,N6750,N9950A,N8740A,E36103B,U2020,EDUX1002A,N9951A,33520B,N7007A,83050A,N2962A,53131A,P9243A,E4981A,U2741A,34972A,E36102B,J7211B,J7211A,J7211C,E36320A,N8741A,AC6802B,DAQM903A,U1270,N9960A,E36311A,N8762A,E36105B,N6781A,U2000,E3641A,EDUX1002G,N2863B,AC6803B,DAQM904A,N8900,U1280,84904L,U2751A,34970A,N9961A,B2900,E36104B,E3640A,AC6800B,N2862B,6002A,E3600,E-SERIES,E36313A,DAQM900A,U1250,U5850,N8756A,N8732A,N8950A,AC6801B,10070D,DAQM902A,U2761A,34980A,E36300A,E36312A,N6782A,DAQM901A,E36106B,53220A,N8757A,87222D,N8733A,N8951A,87222E,N9952A,87104D,P9242A,E4980A,6004A,53132A,N6785A,N6773A,U1452A,B2980A,N6761A,N8754A,N8742A,P9241A,N2871A,53230A,N8700,N4985A-S50,U1240,N6784A,E4981A-001,E4981A-002,N8755A,U1453A,N8731A,N2870A,8495D,N2797A,87405B,N2894A,N5770A,8495B,87405C,34420A,E3647A,10833F,34921A-25A,10833G,10833A,10833B,4154A,10833C,10833D,N6775A,U1450A,N8736A,N6763A,U1232A,N8954A,N6751A,N8930A,N7550,N9923A,N2796A,N9935A,N2893A,N5771A,E36100,E3646A,6811C,N4985A-S30,4032A,N8737A,N6786A,N6774A,N8943A,N6762A,E5063A,10834A,N8955A,U1451A,8494G,N8931A,E3634A,U1233A,3052T,N2783B,P9371A,N2795A,N5772A,6813C,E3649A,6800C,6812C,N6753A,N8758A,U1460A,N6741B,U1242C,N8734A,U1242B,N8952A,N6777A,N8940A,N6765A,P9370A,N2891A,N2782B,EPM SERIES,53181A,N5761A,34931A-33A,34465A,E3648A,4054A,N8759A,N6764A,U1231A,U1461A,N6752A,E9320,83020A,N8735A,N8941A,N6776A,N2793A,DAQ970A,N2890A,L2060,N2781B,U1240C,N9914A,82350C,N5750A,N5762A,U2063,E5810B,N8934A,N6743B,N9926A,P1912A,N8946A,N6731B,N9938A,U1252B,E3643A,E3631A,N6755A,14585A,N2792A,N2780B,U1241C,N5763A,E4980AL,N5751A,E36300,E9300,N8923A,N9915A,N8935A,N6742B,N9927A,E3630A,U1241B,4052A,U1253B,E3642A,N6766A,34908A,N6754A,N2791A,N9912A,N8738A,N9936A,U1190,U2040,N5752A,N5764A,34450A,DAQM907A,N8932A,N8944A,34907A,N8920A,E3645A,N6745B,E3633A,N6733B,L2050,N2790A,U1251B,N8739A,N9913A,N9925A,N5741A,DAQM908A,N5765A,34461A,U2053,N8945A,N6732B,N9937A,N8957A,N8921A,E3632A,E3620A,N6756A,E3644A,N6744B

选型指南 - KEYSIGHT - November 2018 PDF 英文下载

如何使用矢量网络分析仪？

矢量网络分析仪（VNA）用于表征射频器件和网络。除了测量基本的S参数（如S11、S21等）外，现代VNA还能进行复杂的矢量测量，包括幅度和相位响应，从而提供更全面的器件性能分析。对于高频和毫米波应用，VNA能够提供高精度测量，并支持滤波器、放大器等关键射频元件的表征。

技术探讨发布时间 : 2024-06-19

【选型】Keysight（是德科技）网络分析仪产品选型指南（中文）

目录- 网络分析仪产品简介通用网络分析仪 ENA和精简系列USB矢量网络分析仪 PNA系列矢量网络分析仪多端口测试仪/射频和微波固态开关/PXI多端口网络分析仪 PNA毫米波系统手持式微波分析仪

型号- M9165B,N5221B,PNA-X,N5241B,N9914B,N5225B,N5245B,N5249B,N9950A,E5080B,E5080A,E5092A,E5072A,N9918B,N9951A,N5290A,N5242B,P916XB,P937XA,P916XA,N5234B,N5222B,M9808A,M9804A,P502XA,E5071C,E5063A,M9375A,P937XA 系列,PNA-L 系列,N9952A,N5231B,PNA 系列,P9165B,P9375A,N5247B,N5235B,N5239B,N5227B,P9370A,M9164B,P9164B,N5232B,N9913B,N5224B,P5008A,N5244B,M9019A,N529XA,PNA-X 系列,M980XA,P50XXA,P5024A,P5028A,E5061B

选型指南 - KEYSIGHT - 2020年9月11日 PDF 中文下载

【经验】使用矢量网络分析仪检测Keysight的433MHz天线性能

世强硬创电商开放实验室是一个免费服务于电子设计、电子研发工程师的实验室，拥有完善的测试方案，丰富的软硬件资源，配备了大量高端的仪器和设备。今天我们使用实验室的矢量网络分析仪E5071C来检测Keysight的一款433MHz天线。

设计经验发布时间 : 2022-09-08

Keysight E5081A ENA-X矢量网络分析仪，集多种测量功能，可完整验证有源器件性能

全新的Keysight E5081A ENA-X矢量网络分析仪集多种测量功能于一台仪器中，以更快的速度、更大的灵活性、更低的成本进行有源器件全面的表征。

产品发布时间 : 2024-06-14

矢量网络分析仪 TECHNICAL OVERVIEW

型号- PNA,N5241B,N5225B,P502XB 系列,N5249B,872XE,8714B,N9950A,8714C,N338XA,E5080B,E5080A,M937XA,N9918B,4194A,PXI VNA,85541B,N9951A,N1930XB,S97011B,N5242B,N5230A,8753E,P93XXB,N5230C,3577B,P937XA,8753C,P937XB,8753D,8753A,N524X,8753B,N522XA,8713C,N522XB,8713B,872XC,8510X,872XD,872XA,4395A,872XB,P502XB,P502XA,E5063A,8714ET,8714ES,PNA-L 系列,PNA 系列,N5231B,8530A,N5295AX,N5239B,N5227B,85309B,E835XA,E5070B,E5070A,N9916B,3577A,4192A,S94050B,N991XB,S96011B,N991XA,N5232B,P93XX,E836XC,N5244B,E836XB,N522X,S94051B,N9917B,PXI VNA 系列,N5221B,PNA-X,N9914B,PNA-L,N5245B,FIELDFOX 系列,8719E,8719C,8719D,E836XA,8719A,8719B,E5072A,N992XA,872XET,872XES,8712ET,N5290A,8712ES,N9915B,P500XB,P502XA 系列,N5234B,P500XA,P50XX,N5222B,N5253EX,N524XA,N524XB,M981XAS,N526BA,E5071C,E5071B,E5071A,ENA,85320B,85320A,8360B,N9952A,N5291A,N5251A,8753,N5247B,8510A,8752B,N5235B,8752C,8510C,N99XXA,S95011B,N1501A,8510B,8752A,N99XXB,8712B,8712C,N5293AX,S93011B,ENA 系列,8753 系列,E5062A,N5292A,8753ET,8753ES,N5252A,N5264B,N9913B,P938XB,8751A,N5224B,8711C,8711A,N523XA,8711B,N523XB,PNA-X 系列,M980XA,FIELDFOX,P50XXA,P50XXB,E5061B,8719ES,E5061A,8719ET,4195A

商品及供应商介绍 - KEYSIGHT - 2021年10月11日 PDF 中文下载

【经验】矢量网络分析仪E5063A的参考线设置功能与作用介绍

对于天线生产来说，天线端口的VSWR测试是必须的，根据测试得到的数据来判断是否满足要求。如果每次都通过眼睛读数据，第一是费事，第二是对大量生产来说费时。对于这个问题，Keysight的矢量网络分析仪E5063A提供一个参考线设置的功能来解决这个问题，根据文中的步骤，我们就可以设置参考测试线。

设计经验发布时间 : 2019-09-29

E5071C矢量网络分析仪是大规模无源元器件测试的理想解决方案，具有出色的测量性能，有助于提高测试吞吐量

E5071C矢量网络分析仪是大规模无源元器件测试的理想解决方案。E5071C矢量网络分析仪具有出色的测量性能，有助于提高测试吞吐量，尤其是与E5092A多端口测试仪配合使用时，可以大幅提高生产能力。灵活的多端口设置可以显著缩短测试时间。TDR测量原理时域反射计TDR是最常用的测量传输线特征阻抗的仪器，它是利用时域反射的原理进行特性阻抗的测量。

产品发布时间 : 2024-05-31

E5080B ENA Series Vector Network Analyzers

型号- 85133E,85133D,E5080B-172,85052B,11878A,85133F,85052C,N4690,N4421B-K67,85052D,85133H,E5080B-175,85090,85092C,N4693D,N4421AK20,E5080B-290,N7553A,E5092A-1A7,E5080B,E5080B-4N0,N6315A,E5080B-A6J,E5080B-4N2,KS8400A,85133C,85134F,N7552A,85134E,11853A,85053B,85134H,N7550,85033E-400,E5080B-442,E5080B-440,S96025A,85093C,N4694D,K11644A,85032F-100,85032F-500,N6314A,E5080B-4M2,Q11644A,E5080B-4M0,85054B,11525A,85054D,N4430,S94702A,N7555A,E5092A-20C,E5080B-1A7,E5080B-2D0,E5080B-2L0,E5080B-4P2,S96011A,E5080B-4P0,U11644A,E5092A-A6J,E5080B-460,P11644A,S96007A,85033E-300,11524A,E5080B-182,E5080B-462,N4696D,E5080B-181,11904C,11904D,11904A,11904B,N7554A,E5092A-20B,S96090A,S96010A,S96086A,11904S,85055A,E5080B-2K0,E5080B-097,85056D,E5080B-492,E5080B-096,E5080B-095,E5080B-490,E5080B-094,85032F,E5080B-098,N755XA,E5080B-093,N4697J,E5080B-092,N4697K,E5080B-091,E5080B-090,E5080B-1CP,E5080B-1CM,R11644A,N4431D,E5080B-2N0,85056A,E5080B-240,S96029A,85033E,85130D,85130C,E5092A-020,85130F,85130E,E5080B-120,85130G,S94701A,85032F-300,85033E-200,N4690D,E5080B-2M0,S96084A,85057B,N7551A,85131C,85056KE01,85131E,85131D,E5080B-2P0,85050B,85131F,85050C,85050D,85131H,N4691D,X11644A,E5080B-4D2,E5092A-1CP,E5080B-4D0,E5092A-09B,E5092A-1CN,E5092A-1CM,E5080B-4L2,85058B,E5080B-4L0,E5092A-09A,85056KE02,S96083A,85058E,85033E-500,E5080B-140,E5080B-260,N7550A,85051B,N4419AK20,Z5623A-K20,E5080B-022,E5080B-021,85032F-200,N4692D,85033E-100,85058V,E5080B-4K2,E5080B-1E5,E5080B-XXX,E5092A-08C,K281C,E5080B-4K0,S96082A

用户指南 - KEYSIGHT - November 14, 2019 PDF 英文下载

【产品】N9914A-211全双端口S参数矢量网络分析仪选件，助力FieldFox网络分析仪提供最精确的全双端口校准

是德科技推出的基本型 N9914A 组合分析仪包括一个电缆和天线分析仪。订购选件 211，即可获得全部 4 个 S 参数——正向和逆向（S11、S21、S12、S22）并执行全双端口校准。FieldFox 网络分析仪可提供最精确的全双端口校准。选件 211 还在矢量电压表模式中添加了 A/B 和 B/A 测量功能（作为选件 308）。

新产品发布时间 : 2019-10-29