【产品】具有贵金属焊盘结构的车规级MEMS绝压压力传感器芯片NSP1632 ,适用于汽车电子环境
纳芯微电子推出的NSP1632压力传感器芯片是一颗满足AEC-Q103标准的高性能高可靠性车规级MEMS绝压压力传感器芯片,其基于高灵敏度的硅压阻效应并采用先进的MEMS微加工工艺,典型的量程0~100kPa和200kPa;贵金属焊盘结构使得其特别适用于汽车电子等恶劣环境。
纳芯微NSP1632 MEMS绝压压力传感器晶圆制造工艺平台经过IATF16949认证,每片晶圆都经过AOI检测,并提供用于封装的Map;同时可根据客户需要提供符合要求的封装产品。
产品特征
量程:0~100kPa、200kPa
工作温度:-40~150℃
外形尺寸:1.0x1.0x0.4mm
生命周期内精度和稳定性小于1%FS
全硅结构,高可靠性的贵金属焊盘结构
车规级IATF16949认证的工艺平台
满足AEC-Q103标准,Grade 0
符合RoHS & REACH以及无卤要
典型应用
进气歧管压力传感器
涡轮增压进气压力传感器
废气再循环压力传感器
汽车刹车真空助力器
等效电路
外观尺寸以及焊盘定义
说明:
1.引线键合焊盘尺寸为90x90μm,焊盘金属为铂(Pt),厚度约为200nm;
2.芯片尺寸为1.0x1.0x0.4mm,不包括划片道,划片道尺寸为80μm;
3.整张晶圆上芯片数量为12000(±10%)颗,实际数量以MAP为准;
4.6英寸晶圆,初始厚度约为570μm;
5.推荐切割方式为机械切割,崩边不能超过划片道,请优化切割参数,以获取更优结果;
6.封装贴片使用较软的硅胶、含氟硅胶或者氟胶,胶固化后厚度建议不低于50μm。
绝对最大额定参数
性能参数
如无特殊说明,所有参数都是在供电电压VDD=5V、室温25℃下的测试。
说明:
1.所列参数的典型值为样品测试结果,可能会因测试条件、封装条件等因素的差异而不同;
2.所列参数的典型值均为0~100kPa量程下的样品测试结果,其他量程下的典型值会因量程的差异而不同,详细信息请咨询纳芯微工程师;
3.量程范围中的最大值、最小值是指可以使用的量程;
4.零点误差是指绝对零压力下的输出电压;
5.所列各温度系数的温度区间为全温区,即-40~150℃;
6.非线性系数以最优拟合曲线进行拟合计算;
7.测量介质为干燥、无污染、非腐蚀性气体。
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服务
可定制板装式压力传感器支持产品量程从5inch水柱到100 psi气压;数字输出压力传感器压力范围0.5~60inH2O,温度补偿范围-20~85ºС;模拟和数字低压传感器可以直接与微控制器通信,具备多种小型SIP和DIP封装可选择。
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可自由定制铜排形状尺寸;检测精度:0.5%~1.0;电流测量范围 ±300-500A。低噪音 (0.27mVpp);低磁力残余误差:2mV;响应性能<4μSec;支持RoHS指令 、AEC-Q200。
最小起订量: 100个 提交需求>
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