【产品】国产响应速度快<5ms的MEMS流量传感器-MSL01,超低启动流量 <0.05m/s
敏芯微MEMS流量传感器-MSL01是基于热传导原理,传感器结构由位于敏感薄膜上的微热源、与微热源对称的上游温度传感器和下游温度传感器以及位于硅基上的环境温度传感器组成,当传感器表面没有流体流动时,微热源周围的温度场呈对称分布。当传感器表面有流体流动时,由于流体对微热源有冷却效应,导致微热源周围的温度场被干扰,微热源上下游呈不对称分布,流体流动的速度越大,气体从微热源带走的流速越大,微热源周围的温度的不对称性越大,流体的流速通过上下游温度传感器的温度差获得。
特征
宽量程比>300:1
响应速度快<5ms
超低启动流量 <0.05m/s
高灵敏度高精度,高于+/-3%读数精度
不可动部件,可靠性高
应用
洁净气体和液体
医疗呼吸、诊断设备
燃料电池控制
汽车空气流量计
家用燃气设备
气相、液相色谱质谱分析仪
HVAC
检漏仪
工业自动化
产品参数
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产品型号
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品类
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输出类型
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结构类型
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产品尺寸
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灵敏度
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SNR
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AOP
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MSM421A3729H9KRMC
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电容式硅麦克风芯片
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Analog
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Top
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3.76x2.95x1.10
|
-42
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58
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130
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可定制温度范围-230℃~1150℃、精度可达±0.1°C;支持NTC传感器、PTC传感器、数字式温度传感器、热电堆温度传感器的额定量程和输出/外形尺寸/工作温度范围等参数定制。
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