【产品】支持数字&模拟输出的低压MEMS压力传感器,精度达±1%
SM5X91系列是SMI的一款低压数字&模拟输出的MEMS压力传感器。该系列传感器的压力测量范围为56~175cm H2O,精度达±1%-FS,提供有表压式(SM5291)、差分式(SM5391)和非对称差分式(SM5491)三个型号供用户选择。传感器提供I2C数字接口以及模拟输出接口,可应用于环境温度在-40℃~+105℃的工业、医疗和消费等领域。
SM5X91系列采用了最先进的压力传感器技术和CMOS混合信号处理技术,集成有信号调节ASIC,不仅可以输出经过多级压力和温度补偿后的16bit数字信号和模拟信号,还可避免使用额外的电路,例如补偿网络或运行校正算法的微控制器,故而能简化传感器的应用。
SM5X91系列采用符合JEDEC标准的SOIC-16封装,可直接安装在PCB板上,支持自动组装。并且,SM5X91系列还提供双垂直、双水平端口的型号供用户选择。双端口的设计可为传感器提供一个参考测量,能有助于减少由环境压力变化而引起的误差。另外,SM5X91系列采用3.3V/5V电源供电,开启模拟输出时的电流消耗为4.5mA,而不开启时仅为3mA,其所能承受的最大压力为850cmH2O,爆破压力为1100cmH2O。
图1:SM5X91系列的双垂直端口和双水平端口封装
SM5X91系列的主要特点:
• 压力测量范围:56~175cmH2O,提供表压式、差分式以及非对称差分式输出可选
• 精度:±1%FS
• 输出经过校准和温度补偿的16bit数字压力信号
• 提供I2C和模拟输出接口
• 温度补偿范围:-20℃~+85℃
• 采用支持自动组装的SOIC-16封装
• 生产标准符合ISO9001和ISO/TS 16949
• 端口类型:双垂直,双水平
• 模拟输出范围:10%~90%Vdd
• 供电电压:3.3V/5V
• 额定工作温度:-40℃~+105℃
SM5X91系列的典型应用:
• 工业应用:通风测量、气动测量仪表、压力开关、安全柜、生命科学、气体流量仪表
• 医疗应用:睡眠呼吸暂停检测、持续正压呼吸机(CPAP)、呼吸机、气体流量仪表、负压伤口治疗
• 消费应用:运动设备、家用电器
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