【经验】SMI压力传感器技术详解之参数如何匹配设计需求

时间： 2017-09-25 来源：世强作者：TonyBro

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在《SMI压力传感器类型详解》一文中介绍了压力类型，本期我继续就SMI压力传感器上常见的几个参数做简单的介绍，因为理解这些参数有助于我们精确选择合适设计需求的传感器。

1）介质兼容性

介质兼容性是指和传感器敏感区域直接接触的媒介，一般是液体或者气体，SMI均有采用这两种介质的压力传感器。重要的一点是，媒介一定不能腐蚀传感膜片和芯片外壳，这样会导致传感器产生可靠性问题。每一个型号的介质兼容性都有可能不同的介质兼容性，通常，更严苛的环境，例如，气体可能带有腐蚀性的，会选择传感膜片做了金属化处理的产品。

2）额定压力范围

压力传感器规格定义的最大压力值，额定压力值是压力传感器正常工作的保证。这种压力值定义了传感器全量程输出值。在这个范围内，规格定义的各项指标都能保证。注意，每个传感器由于出厂校准的单位不同，标称单位也不同，例如SMI的压力传感器SM3041就有以mmHg为校准单位的。

3）耐压压力范围

耐压压力是指在压力传感器芯片各项性能不会收到破坏的情况下，允许施加的最大压力值。这不应该是一个常规应用的压力值，在此压力下，输出可能已经饱和。

4）爆破压力范围

爆破压力值指在不会对传感器芯片造成永久性损坏情况下能施加的最大压力值，这也不应该是一个常规应用的压力值。出现这样的压力过后，可能需要对传感器各项性能做重新评估。

5）补偿温度范围

补偿温度范围是指，传感器各项指标在该温度范围内能够得到保证。实际上是做了温度漂移补偿，这个范围和用户应用温度范围息息相关。例如，你需要传感器在50℃温度下，仍然能够保证Datasheet标称的精度，那么你需要选择补偿温度范围高于50℃的产品。

6）零点漂移

是指当没有任何压力施加到芯片上时，芯片的输出值。通常表示为全量程的百分数，或者mV，mA或数字bit等。这个漂移在校准过程中很容易消除，在更换传感器时，尤其注意要做零点漂移校准。

7）线性度

图1：线性度

线性度是一个非常重要的概念。理想情况下，压力传感器的输出和所被施加的压力应该是一条严格的直线关系。但实际应用中，输出和理想直线之间会或多或少有些非线性行为，非线性失真正是用于表述这个偏差的参数，这个值的计算通常是通过最佳拟合直线法来计算的。这是压力传感器测量误差的一个重要贡献者。

本期先讨论到这里，下期我们介绍剩下的几个关键参数。

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小伟 Lv7. 资深专家 2018-08-19

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孟凡良 Lv4. 资深工程师 2018-05-11

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