智芯传感掌握MEMS压力传感器六大核心技术，向夯实国产化方向迈进，加快解决高端MEMS传感器领域的难题

时间： 2022-10-28 来源：智芯传感公众号

技术问答

近日，党的第二十次全国代表大会报告强调，“必须坚持科技是第一生产力、人才是第一资源、创新是第一动力，深入实施科教兴国战略、人才强国战略、创新驱动发展战略，开辟发展新领域新赛道，不断塑造发展新动能新优势”，“坚持教育优先发展、科技自立自强、人才引领驱动”等方向，同时，要不断“完善科技创新体系，坚持创新在我国现代化建设全局中的核心地位”，要实现科技高质量发展，就要坚持科技创新。

可以说，第二十次全国代表大会再一次为科技创新指明了发展方向和前进的目标，同时也为从事科学研究的工作者们提出了更高的要求。北京智芯传感科技有限公司（简称：智芯传感）相关负责人表示，应当认真学习领会报告内容，积极贯彻落实二十大精神，开展智芯传感关于智能MEMS压力传感器原创性、引领性的科技攻关，聚焦中高端MEMS传感器设计、研发、生产、制造、封装、标定等流程工艺，夯实国产可替代MEMS传感器发展方向，加快解决高端MEMS传感器领域“卡脖子”的难题。

智芯传感始终致力于MEMS传感器研发、生产及销售，团队核心成员均具有20余年MEMS传感器科研经验，同时公司拥有多项自主研发专利，技术力量雄厚，研发出世界首个单片集成MEMS压力传感器。智芯传感MEMS传感器芯片具有体积小、灵敏度高、精度高、性价比高、长期稳定性好、工作温度范围宽、功耗低等优点，并且可以根据用户需求，最快在两到三个月内完成从设计到出样片，支持用户的验证和导入。智芯传感的六大核心技术，即Sensor压力感应膜技术、Sensor和ASIC集成技术、温度标定控制技术、开口塑封技术、高精度AD设计和应力隔离结构技术，是保证其产品性能优势、并处于国内领先水平的法宝，确保智芯传感MEMS传感器可以替代国外同类产品。

智芯传感产品所应用的领域

智芯传感在蚌埠成立的安徽京芯传感科技有限公司，已建成4条智能传感器生产封测标定线，年产规模达到5000万只以上，是国内极少具备如此高产能的企业之一。智芯传感MEMS传感器可广泛应用于工业物联网、消费电子、汽车、生物医学、航空航天、环境监控等多个行业。

1、ZXP0 电容式大气压力传感器

ZXP0电容式大气压力传感器集成度高、体积小，易于安装，便于系统集成，广泛用于无人机、智能穿戴、医疗器械、环境监测等领域；

2、ZXP0压阻式大气压力传感器

ZXP0压阻式大气压力传感器集成了压阻式压力敏感元件和高精度、低功耗的信号调理集成电路，特别适用于移动终端设备，如智能手机、PAD、运动手表、导航仪等；

3、ZXP1系列进气压力传感器

ZXP1系列进气压力传感器封装集成度高，具有高精度、抗干扰、抗冲击、耐腐蚀和长期稳定性好等特点，广泛用于汽车、燃气、冶金、航空、石化、消费类电子产品等领域；

4、ZXP2系列绝压压力传感器

ZXP2系列绝压压力传感器采用的是高性能信号调理电路和MEMS压阻式芯体，可以提供温补后的高精度绝压输出信号，同时也提供气路接口，在工业、医疗以及消费类电子产品等领域已大量应用；

5、ZXP3系列表压气体压力传感器

ZXP3系列表压气体压力传感器采用的是MEMS压阻式芯体和高性能信号调理电路，将MEMS压阻式芯体和专用信号调理电路封装在单气嘴结构的管壳内，降低环境对输出的影响；

6、ZXP4系列防水型压力传感器

ZXP4系列防水型压力传感器主要用于医用压力泵设备，采用当前先进的压力传感器技术和高集成、低功耗、高精度的数字信号处理技术，提供完整的压力校准和温度补偿，可根据用户需求选择不同的输出方式；

7、ZXP4系列侵袭式血压监测传感器

ZXP4系列侵袭式血压监测传感器采用硅压阻式原理，用于经导管或直接的血管穿刺来测量血压的自动装置系统；

8、ZXP5系列机油压力传感器

ZXP5系列机油压力传感器用于燃油车发动机控制系统，该系列机油压力传感器是陶瓷电容式压力传感器，能够满足抗腐蚀及防玷污的要求；

9、ZXP6系列差压气体压力传感器

ZXP6系列差压气体压力传感器核心是MEMS压力传感器和专用调理芯片，产品在工业、医疗和消费类电子产品等领域已大量应用；

10、XP8系列微差压气体压力传感器

ZXP8系列微差压气体压力传感器核心是MEMS压阻式芯体和高性能信号调理电路，采用符合业界JEDEC标准的SOIC-16表贴封装，更适用于在印刷电路板上贴片安装；

11、ZXA 微加速度传感器

ZXA微加速度传感器是一款小型、薄型的压阻式MEMS硅微加速度传感器，能够承受高冲击和大加速度载荷的作用，可选用金属外壳封装或塑料封装，具有体积小，精度高等优点；

12、ZXPA 入式压力传感器

ZXPA入式压力传感器是一款可以在人体血管内进行定点血压测量的传感器，可在临床医学中精确监测血压变化，专为医疗级侵入式血压测量场景设计；

目前，智芯传感已成功推出数十种近百个型号的产品，和国内多家知名上市公司展开合作，在部分高端传感器的应用方面，坚定地向着国产化进程大踏步前进！

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型号- 7504A,3255A,T500,1220,CD9515,DSD 25,68CM1,FS-90,1210,FS-91,4602,HTU3535PVBM,4604,7505A,AISI-304,1230,MS4525DO,DSD 17,MACRO CD375,TSYS02D,D5100,4610,MS8607,ACCUSTAR EA,EPRB,XP5,805,808,89BSD,D,E,F,T400,4630,SDT1,1240,P1200,606M1,PS2011AB,DSD 40,ELM-4000,3058A,MS5803-01BA,FMT,SIL-3,M7100,LS809-31,EGCS-D5,4332M3,TLH100,FTP520,MS54XX,EGCS-D0,ESP 64HD,XL403D,AST46HA,710,832,FN7110,834,EB,PS501,LDM-1000,U86B,DP86,52M30,PS2021AB,EV,M905,EX,720,RVIT-Z,603,LS509-51,ELM-5000,TS318-3B0814,FN4070,H005,H009,TLH,610,RCS01-10,31207B,FTP540,PML 1000,LDS309-11N,EPB-PW,735,EVS722-51,FN9630,MACRO HPGS 750,GC,FN9635,FLDT1,U7100,FTP530,85F,FN4080,AISI-400,834M1,HTU2X,ARD154,EPB,EGAXT,VS804-21,HC,65210E,EPL,7108A,86A,CLP,AST46SW,HR,MS52XX,AST4510,KMT32B,KPSI 730,750,KPSI 735,FTP560,633,634,7531A,XFTC300,Y12AD,FTP552,FTP553,FTP554,AST4401,AST4400,AST4520,KPSI 720,U5700,KPSI 600,FN4055,KPSI 601,MS5803-30BA,FTP551,31206B,FN9620,DPG,LL-01,FN7325,DPL,DPN,98RK-1,64B,40A,64C,40B,HTF3000LF,52F,3022,DSF EX-ATEX,KPSI 750,KMT37,FN3050,TPT,64X,KMT39,9916,53A,AST43LP,AST4500,KPSI 500,KPSI 501,KPSI 745,3028,GÏΜÁÐ,86BSD,8811-01,PM50,KMA36,TSYS01,LT,TSYS02,ATA-2001,KMT36H,P900,LBB,PM81,FN3030,DSD,3038,DSF,CM-01,DSH,8021-AP,8021-AR,DSL,PM83,ML,DT1,4020,TSD,6200,DSS,AST46PT,AST44LP,805M1,AST4600,DSY,TSD305,7500A,DC-SE,EGAXT3,MS5525ASO,4030,LDTC,XPM10,MS4515DO,330,MACRO HSTA/R,KPSI 710,MSP300,335,AST20HA,XS-C,XS-D,7501A,LL-10,HTU3535PVBM/WIRE,MACRO SSI/R,PT101,HTG351XCH,AST2000H2,342,KPSI 700,16HD,KPSI 705,LS304-31,LMM-H04,LMM-H03,FN3148,DSD 70,7502A,7514A,P700,4810A,CD1110,KPSI 330,8021-VP,8021-VR,KPSI 335,AST4000,EÏΜÁÐ,7135A,13,XFL212R,6000,17,LVM-110,KPSI 320,AST44XX,8711-01,121,FN3002,AST5100,LCS-03,FN3000,CS1120,R36,PCA 375,U5300,RT9,RT8,M3200,7100A,23,9400,TLH600,CPA150,27,HS1101LF,28,M210,AST20SW,KPSI 351,KPSI 353,HTU383X/WIRE,IT9000,130,KPSI 355,AST5300,AST4100,SG,CD1140,XPM4,SK,7101A,SM,FX19,MSP100,EPM-5000,SP,TPT300V,PM101,MSP340,SR,33,37,PT9000,AST45XX,KPSI 342,1201F,MT3A,ACH-01,SL-630,M5600,7102A,43,TS,EL20-S458,MS5805,XFU400,SP683,47,MS5803,MP 2000,P981,KPSI 30,HTM2500LF,CS1210,AST5400,MLP,FN1010,HTU2XF,HM1520LF,TS305-10C50,TRUBLUE 585,16MS,52,KPSI 27,MS32,KPSI 28,58,DÏΜÁÐ,MS1451,XPM6,AST46XX,ESP 32HD DTC,160,PT1,161,AST4200,PT5,DSH 16,DOG2,FX29,ESP 64HD DTC,7104A,TRUBLUE 575,FN2114,US300,9146-R,PTX,85BSD,7105A,MS5837,9216,KMA36A,AST20PT,AST4300,MS1471,9146-T,808M1,U5600,FN2570,CD1050,EPM-4001,XP,82,MS5525DSO,85,86,TRUBLUE 555,FS-01,89,MS5607,FS-02,8011,MS4515,FS-05,FS-06,ED32I,MACRO GHSE/R,MS5840,PS2031AB,G系列,8032-01,FN2420,R60D,3052A,154BSD,MS4525,MS5611,XFC200R,EPIH,ELAF,HTU383X,M12,3801A,1620,KMY,65210ES,KMZ,FN2317,M150,AST46DS,11206AC,PS831,8021-01,EGCS-D1S,KPSI 300DS,1630,820M1,XPC10,TSEV,53AF,140A,SL-900,MS5637,MS4426,CD1124T,MS4425,EVS312-11N,MT2,MT3,CS1060,CD1095,832M1,VCS-06,MTA,VCS-04,3700,M5200,FN7080,P105,P101,32HD,9022,E系列,FS19,HTU21DF,7131A,FC22,FC23,4630M12,9034,142A,9038,154N,4801A,9032,LIM-420,9033,5905,7132A,LTA,LTB,4630M14,5903,PT8000,P125,TS318-5C50,T600,8102A,LTR,HM1500LF,D系列,R30A,HTU21D,8011-01,PS801,KPSI 380,NDT-1,FS20,4835A,AST43XX,ACCUSTAR,U5200,1201,FCA7300,AD-101,PS811,VS309-51N,KMXP,11207AC

选型指南 - TE CONNECTIVITY - 2019年6月 PDF 中文下载

奥松电子（ASAIR）MEMS智能传感器产品选型指南

描述- 广州奥松电子股份有限公司创立于2003年，是应用MEMS半导体工艺技术生产传感器特色芯片的高新技术企业，也是MEMS领域集研发、设计、制造、封装测试、终端应用为一体的MEMS智能传感器全产业链（简称IDM）企业，面向全国提供一站式MEMS特色芯片解决方案。公司主营产品有温湿度传感器、气体流量传感器、液体流量传感器、差压传感器、气体传感器、水蒸气传感器、二氧化碳传感器、PM2.5传感器、X射线传感器，以及压力类传感器芯片、气体类传感器芯片、热点类传感器芯片、真空类传感器芯片等产品。广泛应用于生物医疗、智能家居、新能源汽车、工业自动化、物联网、智能电网、气象、化工等领域。

型号- AFD2000,AMS1000,AGS02MA,AHT21-F,AM2108,AHT20-F,AHT2315C,AEM1000,AHTT2820,DHT11,AM1011A,APR5852,AMC1000,AFM3000,AHS01IB,ACM483T-A,ADP210系列,AM2305B,AOF1010,APM10,AHT25,AMS1000系列,AM2301B,NAC-6KB,AFM0725,AHT2415C,DHT20,AMS2106,AO-09,AFM0200,ADP2100,ACD10,AMC2000,ACM2000,AGS10,AO-02,AO-03,AZDM01,AHT21B,AGS10ET,AO-07,AFS1100,AO-08

选型指南 - 奥松电子 - V1.0 - 2022.07 PDF 中文下载

ZXPA 系列-ZXPAYZ040BD侵入式压力传感器

型号- ZXPA040ACN01501,ZXPA,ZXPA040ACM01501,ZXPA 系列,ZXPAYZ040BD

数据手册 - 智芯传感 - 2024/5/23 PDF 中文下载

智芯传感是一家致力于MEMS传感器研发、生产及销售的高新技术企业。公司以北京大学MEMS研发团队为技术依托，以京津冀国家技术创新中心成果转化机制为平台，拥有多项自主研发专利，技术力量雄厚，核心研发人员均具有研究生及以上学历，并具有多年MEMS相关领域从业经验。

MEMS压力传感器芯片表压气体压力传感器防水型压力传感器微差压气体压力传感器大气压力传感器汽油车进气压力传感器制氧机压力传感器制氧机压力模组

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智芯传感传感器选型表

智芯传感压力传感器/微差压气体压力传感器/防水型压力传感器/表压气体压力传感器/制氧机用压力传感器/汽车进气压力传感器/摩托车进气压力传感器/大气压力传感器；工作电压：3.3V，5V；工作电流：2.1uA~2.8mA;量程范围：0~50000KPa;气压类型:绝压，表压

产品型号	品类	工作电压（V）	工作电流（uA、mA）	量程范围（Kpa）	精度	响应时间（ms）	通信方式
ZXP8001DDD	微差压气体压力传感器	3.3 V	1.5 mA	0~1KPa	±1%FS	2.5ms	I²C