可实现汽车压力传感器技术路线与应用的解决方案供应商——灵科传感,致力成为MEMS行业领跑者
昆山灵科传感技术有限公司是苏州敏芯微电子技术股份有限公司的全资子公司,致力于汽车、工控、医疗、白电等领域的传感器芯片、模组、成品的研发与制造。从设计到制造全产业链践行本土化,依托于对核心技术的不断研发投入,形成了MEMS、充油介质隔离、陶瓷压容、玻璃微熔多技术路线的全系列传感器芯体、模组、变送器的完整传感器产品线。
压力传感器是一种把压力信号转换为电信号的换能器。根据工作原理,压力传感器可分为压阻式、电容式、压电式、离电式和谐振式等类型。作为微系统世界里最先商用MEMS器件,压力传感器被广泛地应用于消费电子、汽车电子、工业控制、生物医疗、航天航空、国防等领域。据统计,全球MEMS压力传感器市场规模预计2026年将增长到145亿元人民币。
灵感造芯 科创未来
当今时代,消费者对汽车的要求日益向节能减排、自动驾驶以及舒适驾驶等方面靠近。作为汽车的眼睛和耳朵,传感器可以感应并响应不断变化的车内和车外状况,提供汽车行驶和自检所必需的数据。灵科传感作为中国屈指可数的MEMS行业领跑者,是为数不多的可以实现汽车压力传感器正向设计、模组封装以及客户应用支持等所有技术环节的传感器解决方案供应商。
灵科压力传感器主要技术
主要包括:MEMS技术、充油介质隔离、陶瓷电容技术与玻璃微熔技术。这四种方案针对不同的量程和应用场景发挥各自的优势,形成了灵科压力传感器全应用场景覆盖的技术路线。
MEMS压力传感器芯片采用硅MEMS技术制成,当压强作用于MEMS感应膜片后,膜片发生形变,带来置于其上的压阻条发生电阻变化,从组成的惠斯通电桥产生输出,后续通过温补或调理电路输出所需要的电信号。
MEMS压力传感器原理
充油介质隔离芯体则是在MEMS芯片的基础上增加了全方位的包围保护,形成测量介质不直接接触MEMS芯片的特殊封装形式。一般来说我们采用金属波纹片作为压力感应膜片,使用硅油或氟油传递压力并作为芯片保护材料。这类芯体常用于较为复杂或恶劣的测量环境。
充油介质隔离压力传感器原理
陶瓷电容压力传感器芯体则与上述MEMS类传感器不同,使用陶瓷膜片作为压力感应材料,通过感应膜片与基材上的金属层形成平行极板电容,在感应膜片受压后电容变化,并通过信号处理后输出压力相关信号。陶瓷电容压力传感器具有天然的介质兼容性,以及温度稳定性。
陶瓷电容压力传感器
玻璃微熔压力传感器是一种高压应用的传感器芯体。压力使金属杯体表面发生形变,通过微熔玻璃传递给顶端的硅应变片,产生类似MEMS传感器的电桥输出。这是一种可以实现200Mpa以上高压测量的技术方案,全金属密封的结构可以保证没有泄露风险。
玻璃微熔压力传感器
在工业、医疗以及其他多个领域,灵科传感数年来为客户设计、生产大量的多品种、高定制的压力传感器产品,应用于各类民用、智能家具和非标领域。依托多年在半导体传感器芯片、封装、组装的沉淀打磨,使得灵科在压力传感器设计选型上游刃有余,帮助客户实现各类压力测量需求。
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