TE 针对半导体设备应用提供定制传感器解决方案,确保制造精准

2021-06-12 TE Connectivity
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TE connectivity(以下简称“TE”)为半导体设备应用提供定制传感器解决方案,可以针对客户的实际需求和半导体设备对于精密度和复杂度的需求,提供定制的、用于半导体设备的传感器,从前道工艺、后道工艺到单晶硅片制造精准把关。


1、超高纯度(UHP)气体面板

超高纯度(UHP)气体面板专门用于微电子、半导体和光伏组件生产。这些应用均需要更高的标准,以确保所输送的气体或流体纯度。半导体制造尤甚,因为过程中会产生和使用数百种气体和混合物,这对压力的检测标准要求很高。

这就需要质量流量控制器(MFC)来精密把关,而压力传感器就是MFC的感知关键。


85系列定制型压力传感器

提升MFC特种气体质量控制精度,使晶圆生产工艺可控。

产品优势:

- 小尺寸

- 316L SS,0-100mV输出

- 提供表压和绝压以及温度补偿


超高纯度(UHP)定制型压力传感器

可检测每个气柜压力、管道压力,及混合器出口压力。

产品优势:

- 316L 哈氏合金,具有良好的抗腐蚀性和热稳定性

- 电气抛光,不会污染破坏生产环境


2、化学罐液位检测

在化学气相沉积过程中,精确而可靠地测量液位对半导体晶片制造过程而言非常重要。TE的定制液位检测传感器,可提供单个或多个具有很高精度的离散点液位,是化学液体液位检测的优秀解决方案。


定制液位检测传感器

紧凑可靠,不受液位影响的超声波液位检测传感器。

产品优势:

- 316L不锈钢,带电抛光

- 超声波液位检测,无移动部件

- 定制用于高精度的单点、多点液位检测

- 可用于高达250PSIG(1724kPa)的高压容器应用


3、晶圆制程温度探针

可应用于半导体制造的不同工艺,和熔炉中,例如扩散炉(垂直/水平炉)、热加工、化学气相沉积法(CVD / LPCVD)。


定制晶圆温度探头

具多个温度监测点的温度探头。

产品优势:

- 提供晶圆温度空间分布

- 验证晶圆温度控制以进行冷注入



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本文由星晴123转载自TE Connectivity,原文标题为:精细、严谨的半导体制程,有了这些传感器更得力,本站所有转载文章系出于传递更多信息之目的,且明确注明来源,不希望被转载的媒体或个人可与我们联系,我们将立即进行删除处理。

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  • 菲娜樱子 Lv8. 研究员 2021-07-07
    学习
  • Paulwang Lv8. 研究员 2021-06-29
    学习
  • EEric Lv7. 资深专家 2021-06-25
  • 承毅 Lv8. 研究员 2021-06-25
    NB
  • titan Lv8. 研究员 2021-06-21
    学习
  • 男儿当自强 Lv8. 研究员 2021-06-18
    学习了
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TE压力传感器经过各种信号调制和处理,全范围的温度补偿,具有模拟和数字多种信号输出。TE压力传感器代理商世强,可以提供TE压力传感器选型服务,TE压力传感器供应服务,TE压力传感器技术资料等。

原厂动态    发布时间 : 2018-07-19

【选型】TE Connectivity(泰科TE)传感器选型指南

目录- 数字元件传感器和开发工具    流量传感器    力传感器    湿度传感器    液位传感器    血氧传感器    压电薄膜传感器    位置传感器    压力传感器    速率和惯性传感器    扫描阀及系统    速度传感器    温度传感器    扭矩传感器    超声波传感器    振动传感器    水位传感器   

型号- 7504A,3255A,T500,1220,CD9515,DSD 25,68CM1,FS-90,1210,FS-91,4602,HTU3535PVBM,4604,7505A,AISI-304,1230,MS4525DO,DSD 17,MACRO CD375,TSYS02D,D5100,4610,MS8607,ACCUSTAR EA,EPRB,XP5,805,808,89BSD,D,E,F,T400,4630,SDT1,1240,P1200,606M1,PS2011AB,DSD 40,ELM-4000,3058A,MS5803-01BA,FMT,SIL-3,M7100,LS809-31,EGCS-D5,4332M3,TLH100,FTP520,MS54XX,EGCS-D0,ESP 64HD,XL403D,AST46HA,710,832,FN7110,834,EB,PS501,LDM-1000,U86B,DP86,52M30,PS2021AB,EV,M905,EX,720,RVIT-Z,603,LS509-51,ELM-5000,TS318-3B0814,FN4070,H005,H009,TLH,610,RCS01-10,31207B,FTP540,PML 1000,LDS309-11N,EPB-PW,735,EVS722-51,FN9630,MACRO HPGS 750,GC,FN9635,FLDT1,U7100,FTP530,85F,FN4080,AISI-400,834M1,HTU2X,ARD154,EPB,EGAXT,VS804-21,HC,65210E,EPL,7108A,86A,CLP,AST46SW,HR,MS52XX,AST4510,KMT32B,KPSI 730,750,KPSI 735,FTP560,633,634,7531A,XFTC300,Y12AD,FTP552,FTP553,FTP554,AST4401,AST4400,AST4520,KPSI 720,U5700,KPSI 600,FN4055,KPSI 601,MS5803-30BA,FTP551,31206B,FN9620,DPG,LL-01,FN7325,DPL,DPN,98RK-1,64B,40A,64C,40B,HTF3000LF,52F,3022,DSF EX-ATEX,KPSI 750,KMT37,FN3050,TPT,64X,KMT39,9916,53A,AST43LP,AST4500,KPSI 500,KPSI 501,KPSI 745,3028,GÏΜÁÐ,86BSD,8811-01,PM50,KMA36,TSYS01,LT,TSYS02,ATA-2001,KMT36H,P900,LBB,PM81,FN3030,DSD,3038,DSF,CM-01,DSH,8021-AP,8021-AR,DSL,PM83,ML,DT1,4020,TSD,6200,DSS,AST46PT,AST44LP,805M1,AST4600,DSY,TSD305,7500A,DC-SE,EGAXT3,MS5525ASO,4030,LDTC,XPM10,MS4515DO,330,MACRO HSTA/R,KPSI 710,MSP300,335,AST20HA,XS-C,XS-D,7501A,LL-10,HTU3535PVBM/WIRE,MACRO SSI/R,PT101,HTG351XCH,AST2000H2,342,KPSI 700,16HD,KPSI 705,LS304-31,LMM-H04,LMM-H03,FN3148,DSD 70,7502A,7514A,P700,4810A,CD1110,KPSI 330,8021-VP,8021-VR,KPSI 335,AST4000,EÏΜÁÐ,7135A,13,XFL212R,6000,17,LVM-110,KPSI 320,AST44XX,8711-01,121,FN3002,AST5100,LCS-03,FN3000,CS1120,R36,PCA 375,U5300,RT9,RT8,M3200,7100A,23,9400,TLH600,CPA150,27,HS1101LF,28,M210,AST20SW,KPSI 351,KPSI 353,HTU383X/WIRE,IT9000,130,KPSI 355,AST5300,AST4100,SG,CD1140,XPM4,SK,7101A,SM,FX19,MSP100,EPM-5000,SP,TPT300V,PM101,MSP340,SR,33,37,PT9000,AST45XX,KPSI 342,1201F,MT3A,ACH-01,SL-630,M5600,7102A,43,TS,EL20-S458,MS5805,XFU400,SP683,47,MS5803,MP 2000,P981,KPSI 30,HTM2500LF,CS1210,AST5400,MLP,FN1010,HTU2XF,HM1520LF,TS305-10C50,TRUBLUE 585,16MS,52,KPSI 27,MS32,KPSI 28,58,DÏΜÁÐ,MS1451,XPM6,AST46XX,ESP 32HD DTC,160,PT1,161,AST4200,PT5,DSH 16,DOG2,FX29,ESP 64HD DTC,7104A,TRUBLUE 575,FN2114,US300,9146-R,PTX,85BSD,7105A,MS5837,9216,KMA36A,AST20PT,AST4300,MS1471,9146-T,808M1,U5600,FN2570,CD1050,EPM-4001,XP,82,MS5525DSO,85,86,TRUBLUE 555,FS-01,89,MS5607,FS-02,8011,MS4515,FS-05,FS-06,ED32I,MACRO GHSE/R,MS5840,PS2031AB,G系列,8032-01,FN2420,R60D,3052A,154BSD,MS4525,MS5611,XFC200R,EPIH,ELAF,HTU383X,M12,3801A,1620,KMY,65210ES,KMZ,FN2317,M150,AST46DS,11206AC,PS831,8021-01,EGCS-D1S,KPSI 300DS,1630,820M1,XPC10,TSEV,53AF,140A,SL-900,MS5637,MS4426,CD1124T,MS4425,EVS312-11N,MT2,MT3,CS1060,CD1095,832M1,VCS-06,MTA,VCS-04,3700,M5200,FN7080,P105,P101,32HD,9022,E系列,FS19,HTU21DF,7131A,FC22,FC23,4630M12,9034,142A,9038,154N,4801A,9032,LIM-420,9033,5905,7132A,LTA,LTB,4630M14,5903,PT8000,P125,TS318-5C50,T600,8102A,LTR,HM1500LF,D系列,R30A,HTU21D,8011-01,PS801,KPSI 380,NDT-1,FS20,4835A,AST43XX,ACCUSTAR,U5200,1201,FCA7300,AD-101,PS811,VS309-51N,KMXP,11207AC

选型指南  -  TE CONNECTIVITY  - 2019年6月 PDF 中文 下载

TE Connectivity(泰科TE)传感器(压力传感器)解决方案

描述- TE为严苛应用环境设计并制造一系列从感应元件到系统封装的压力传感器。基于硅压阻微机械加工(MEMS)技术和硅应变计(Microfused, Krystal Bond)技术,我们的产品能够测量从几英寸水柱(<5 mbar)到100K psi (7K bar)的各种压力。复杂的设计和先进的生产工艺为医疗,HVACR,非公路/重型设备以及一般工业应用创造了可靠及高性价比的解决方案。

型号- EPL,MS5607,MS5805,P700,MS5803,47,P105,MS4515,P981,P101,1220,MS54XX,MS52XX,P900,AST4000,AST46AST5100,1210,EB,13,154BSD,MS4525,17,P9000,MS5611,MS1451,U86B,1230,154N,DP86,EPIH,MS4525DO,AST44XX,U5700,1620,U5300,D5100,MS8607,EPRB,MS5525ASO,23,US300,P125,89BSD,27,1240,AST20SW,MS4515DO,P1200,AST5300,AST5400XX,MSP300,1630,AST20HA,85BSD,EPB-PW,MSP100,MSP340,33,MS5837,MS5637,37,MS4426,MS4425,U7100,85F,AST20PT,AST45XX,MS1471,AST43XX,U5600,M7100,U5200,EPB,82,86BSD,M5600,MS5525DSO,85,86,43,M5200

应用及方案  -  TE CONNECTIVITY  - 2016年02月 PDF 中文 下载

【视频】TE超微型医用IntraSense介入式压力传感器助力体内诊疗

型号- SMI-1A-48-100-BMAR,INTRASENSE,INTSE-1B-180-AP-5

商品及供应商介绍  -  TE CONNECTIVITY PPTX 中文 下载

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