TE 针对半导体设备应用提供定制传感器解决方案，确保制造精准
TE connectivity（以下简称“TE”）为半导体设备应用提供定制传感器解决方案，可以针对客户的实际需求和半导体设备对于精密度和复杂度的需求，提供定制的、用于半导体设备的传感器，从前道工艺、后道工艺到单晶硅片制造精准把关。
1、超高纯度（UHP）气体面板
超高纯度（UHP）气体面板专门用于微电子、半导体和光伏组件生产。这些应用均需要更高的标准，以确保所输送的气体或流体纯度。半导体制造尤甚，因为过程中会产生和使用数百种气体和混合物，这对压力的检测标准要求很高。
这就需要质量流量控制器（MFC）来精密把关，而压力传感器就是MFC的感知关键。
85系列定制型压力传感器
提升MFC特种气体质量控制精度，使晶圆生产工艺可控。
产品优势：
- 小尺寸
- 316L SS，0-100mV输出
- 提供表压和绝压以及温度补偿
超高纯度（UHP）定制型压力传感器
可检测每个气柜压力、管道压力，及混合器出口压力。
产品优势：
- 316L 哈氏合金，具有良好的抗腐蚀性和热稳定性
- 电气抛光，不会污染破坏生产环境
2、化学罐液位检测
在化学气相沉积过程中，精确而可靠地测量液位对半导体晶片制造过程而言非常重要。TE的定制液位检测传感器，可提供单个或多个具有很高精度的离散点液位，是化学液体液位检测的优秀解决方案。
定制液位检测传感器
紧凑可靠，不受液位影响的超声波液位检测传感器。
产品优势：
- 316L不锈钢，带电抛光
- 超声波液位检测，无移动部件
- 定制用于高精度的单点、多点液位检测
- 可用于高达250PSIG（1724kPa）的高压容器应用
3、晶圆制程温度探针
可应用于半导体制造的不同工艺，和熔炉中，例如扩散炉（垂直/水平炉）、热加工、化学气相沉积法（CVD / LPCVD）。
定制晶圆温度探头
具多个温度监测点的温度探头。
产品优势：
- 提供晶圆温度空间分布
- 验证晶圆温度控制以进行冷注入
- |
- +1 赞 0
- 收藏
- 评论 6
本文由星晴123转载自TE Connectivity，原文标题为:精细、严谨的半导体制程，有了这些传感器更得力，本站所有转载文章系出于传递更多信息之目的，且明确注明来源，不希望被转载的媒体或个人可与我们联系，我们将立即进行删除处理。
相关研发服务和供应服务
评论
全部评论（6）
-
![]()
![]()
菲娜樱子 Lv8. 研究员 2021-07-07学习 -
![]()
![]()
Paulwang Lv8. 研究员 2021-06-29学习 -
![]()
![]()
EEric Lv7. 资深专家 2021-06-25赞 -
![]()
![]()
承毅 Lv8. 研究员 2021-06-25NB -
![]()
![]()
titan Lv8. 研究员 2021-06-21学习 -
![]()
![]()
男儿当自强 Lv8. 研究员 2021-06-18学习了
相关推荐
用于低压传感的SMI压力传感器可检测低至125 Pa的压力变化，功耗低，占用空间非常小
在工业和医疗市场中，对低压传感功能的需求不断增长。针对该需求，TE Connectivity提供性能卓越的SMI压力传感器系列，使用压阻技术和信号处理功能来提供补偿输出，从而实现低压和超低压传感。
压力传感器选型：低功耗、全范围温度补偿的TE压力传感器
TE压力传感器经过各种信号调制和处理，全范围的温度补偿，具有模拟和数字多种信号输出。TE压力传感器代理商世强，可以提供TE压力传感器选型服务，TE压力传感器供应服务，TE压力传感器技术资料等。
【经验】温压一体压力传感器MS5803硬件设计指南
TE品牌的温压一体压力传感器MS5803，内置NTC传感器，温度补偿范围为-40到125℃，测温精度可以达到±2℃，有效解决温度对压力的影响，适合应用在恶劣的工作环境中。
【选型】如何正确区分压力传感器和压力变送器
在使用压力传感器的时候，很多人也听说过压力变送器，这两者之间容易搞混，常常让人比较困惑它们有什么区别和联系。压力传感器压力传感器通常指非标准mV级信号输出的元件，由于信号的非标准性，用户使用时需要进行压力标定和设计专门的信号处理电路。而且由于信号微弱，不适合远距离传输。世强代理的SMI、TE、Melexis均推出了压力传感器产品。
【经验】压力传感器SM7231在管道压力监测上的设计要点分享
TE的SM7231系列低压数字传感器常用于通气设备、暖通空调等，本文将针对该系列传感器在气压监测设备设计给各位工程师做一个简单的分享。
【应用】MS5637-30BA压力传感器在智能手机上的应用
传感器的应用是智能手机的一大亮点，例如：温度传感器用于监测手机内部以及电池的温度；加速度传感器功耗小但精度低通常运用在手机中可用来计步、判断手机朝向的方向；重力传感器用来控制手机横竖屏智能切换、拍照照片朝向、重力感应类游戏（如滚钢珠）；光线传感器通常用于调节屏幕自动背光的亮度；紫外线传感器检测在紫外线照射下会释放出大量电子紫外线强度；压力传感器用于测量智能手机上的大气压。本文主要从海拔高度测量
【经验】如何通过代码实现压力传感器温度和压力值读取？
TE MS5805压力传感器，可以测量周围环境的温度以及压力；室温下，温度误差为+/-1℃，内部具有24bit ADC，最高压力精度为0.02mbar。本文主要介绍MS5805压力传感器的温度和压力值的读取，方便工程师在软件开发的时候，可以快速的了解MS5805的软件代码实现的过程，更加容易的应用MS5805压力传感器。
【经验】量程高达3000G的压力传感器FS20系列用于医疗输液系统的设计思路分享
在医疗输液系统中，输液管路中会有一定的压力值，过大的压力会人体输液造成影响，这里需要一个力传感器实现对于管道压力的膨胀换算。而TE Connectivity推出的FS20系列是一款体积小，低应力宽量程的力传感器可用于医疗输液系统中，其力的检测范围从500G-3000G。在设计的时候，有些客户对于其特性不是很了解，这里针对输液系统中的FS20传感器做一个设计介绍。
【应用】板装式压力传感器MS5837在水下无人机的应用，功耗更低
水下无人机潜水深度需要通过压力传感器测量，这里推荐TE Connectivity MS5837压力传感器，MS5837具有0-30bar量程，500米防水，具有较宽的量程范围及较强的防水等级，满足水下无人机对宽量程的要求。
【经验】如何解决MS5837压力传感器进入StandBy模式？
TE Connectivity（泰科TE）推出传感器MS5837是一种超小型微型高度计。它是为高度计和气压计应用而优化的。海平面的海拔分辨率为13cm。本文主要介绍MS5837压力传感器进入StandBy模式方法。
【应用】TE的100kpa压力传感器SM1391-BCE-S-015-000用于气腹机，具有数字I²C接口
气腹机一般通过三级减压装置，每级都需要一个压力监控的传感器。TE推出的SM1391-BCE-S-015-000是一款100kpa压力传感器，用于二级减压装置中来检测，二级减压装置的压力数据。
【产品】新型微型SMD压力传感器MS54XX，专门为分辨率和精度要求较高的压力传感器系统而设计
MS54XX系列是一款新型微型SMD压力传感器，包括MS5401-AM、MS5407-AM、MS5470-AM、MS5401-BM和MS5412-BM五个型号，其具有高分辨率，高精度，尺寸小等特点。专门为分辨率和精度要求较高的压力传感器系统而设计。
【应用】压力传感器SM7391用于手持制氧机，最小检测压力范围500Pa左右，线性度1.5%
针对手持制氧机，本文推荐TE的压力传感器SM7391，SM7391具备4.75~5.25和3~3.6v两种供电电压，极大的提高了不同平台的适应性，降低了人们不同平台移植的难度。主要做低压力范围压力检测，其最小检测压力范围可以到500Pa左右，而且线性度在1.5%，这极大的提高了制氧机的测量准确性，从而提高了客户的使用体验感。
【经验】压力传感器154BSD通过I²C读取数据时出现0xFF如何解决？
压力传感器154BSD的数据时，如果读取到的数据全为0xFF如何解决？154BSD系列压力传感器是TE Connectivity的一种高性能、可靠的传感器，它采用全焊接不锈钢结构，具有良好的耐腐蚀性能，能够在恶劣的工作环境下长时间稳定工作。
【经验】温压一体压力传感器MS5803软件调试经验分享
TE推出的温压一体压力传感器MS5803量程为100 mbar到1200 mbar，支持I2C和SPI接口，供电电压为2.2V to 3.6 V，具有响应速度快，分辨率可调，带有水密封性，超低功耗等优势。
电子商城
现货市场
服务
可定制板装式压力传感器支持产品量程从5inch水柱到100 psi气压；数字输出压力传感器压力范围0.5~60inH2O，温度补偿范围-20~85ºС；模拟和数字低压传感器可以直接与微控制器通信，具备多种小型SIP和DIP封装可选择。
提交需求>
可自由定制铜排形状尺寸；检测精度：0.5%~1.0；电流测量范围 ±300-500A。低噪音 (0.27mVpp)；低磁力残余误差:2mV；响应性能<4μSec；支持RoHS指令 、AEC-Q200。
最小起订量： 100个 提交需求>
授权代理品牌：集成电路
授权代理品牌：分立元件
授权代理品牌：接插件及结构件
授权代理品牌：部件、组件及配件
授权代理品牌：电源及模块
授权代理品牌：电子材料
授权代理品牌：仪器仪表及测试配组件
授权代理品牌：电工工具及材料
授权代理品牌：机械电子元件
授权代理品牌：加工与定制
我要提问
登录 | 立即注册
提交评论