【经验】低压MEMS传感器SM7391在不加压力情况下零点漂移值偏大问题的原因分析和注意事项

时间： 2020-03-26 来源：SMI

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SM7391是SMI公司的一款低压MEMS传感器，压力测量精度1%FS，通信接口方式有IIC和模拟输出两种方式，其中数字接口精度要高于模拟输出，且读取简单方便。有工程师反馈在测试时发现，不加压力的情况下，传感器输出的零漂值偏大，下面介绍遇到此问题需要从以下几个方面进行问题排查：

1、造成零点漂移的原因有压力传感器内部应变片有气泡或者杂质，应变片本身性能不稳定，电路中有虚焊点，应变片被损坏变形，清楚造成零漂的原因，就要逐步排查使用过程中是否有任何操作导致此问题。

2、焊接温度不能过高，如果温度过高会损害传感器，导致应变片变形。

3、对传感器的气嘴进行防护，防止有烟气或者灰尘落入传感器内部的应变片，导致压力测量不准确；

4、在确保以上都操作无误的时候，再排查软件，是否读取数据正常，换算压力方式正确。

对于之前没有使用压力传感器经验的工程师而言，需要注意以下问题，防止损坏传感器：

1、静电防护，与许多陶瓷和SOIC兼容的封装一样，SMI的传感器也容易受到静电放电的影响，使用时注意静电防护。

2、使用时主要不能弯曲或者折断传感器引脚，会导致传感器损坏，存储在规格书给出的环境条件下，湿敏等级符合MSL1或者MSL3。

3、 SMI传感器对超压很敏感，在外部施加压力超过指定的范围，会损坏传感器。

4、适用于清洁干燥的空气，否则小颗粒会积累在传感器内，损坏传感器膜，改变传感器性能。

5、焊接时不能温度过高，否则也会损坏传感器，下表为建议：

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全部评论（1）

ACE Lv8. 研究员 2020-03-26

学习了

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目录- MEMS pressure sensor die

型号- SM933X,SM6X21,SM30G,SM4X21,SMI-1A-48-XXX-ADAR,SM7X91,SMI-1A-48-XXX-ADAP,SMI-1B-48-XXX-ADAR,SM5108E,SMI-1B-48-XXX-ADAP,SM5X91,SM9325,SM1X91,SM9543,SM1X21,SM30D,SMI-1A-48-XXX-ABUU,SM98A,SMI-1B-48-XXX-AAUU,SMI-1B-48-XXX-ABUU,SM6841,SM1171,SM5420E,SM7X21,SM9D,SM5X21,SM95G,SM5G,SM1111,SM6X91,SM1131,SM4X91,SM9G,SM95D

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型号- SM9541-060C-S-B-3-S*,SM9541-040C-D-C-3-S,SM9541-140C-S-C-3-S,SM9541-010C-D-C-3-S,SM9541-100C-D-C-3-S,SM9541-010C-S-C-3-S,SM9541,SM9541-140C-D-C-3-S,SM9541-100C-D-C-5-S,SM9541-020C-D-C-3-S,SM9541-020C-S-C-3-S,SM9541-040C-S-C-3-S,SM9541-100C-S-B-3-S*,SM9541-100C-S-C-3-S

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SM7391-BCE-S-500-000 Differential Pressure Sensor

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型号- SM7391-BCE-T-500-000,SM7391-BCE-S-500-000

2019/07/10 - SMI - 数据手册代理服务技术支持采购服务

SM7331-BCE-S-001-000 Differential Pressure Sensor

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型号- SM7331-BCE-S-001-000,SM7331

2019/07/10 - SMI - 数据手册代理服务技术支持采购服务

【应用】低压数字压力传感器SM7391用于楼宇变风量控制系统(VAV)，测量范围±500pa、测量精度1%FS

常规VAV系统， VAV系统送风主管道内长期保持200-400Pa的压力。其工作压力(P)划分属于低压系统（P≤500Pa）。为了更好控制送风风量，可以通过测量主管道内的风阀两侧的压力，根据压力推算风速，进而算出风量。这样就需要一个低压±500Pa的压力传感器，为了测量精度高，需要压力传感器的精度在1%的范围，推荐使用SMI的低压数字传感器SM7391，满足压力范围±500Pa，精度1%。

2020-11-30 - 应用方案

SM5391-BBE-S-001-000 Differential Pressure Sensor

描述- 本资料介绍了SM5391-BBE-S-001-000差压传感器，一款采用MEMS技术和CMOS混合信号处理技术的16位数字与模拟低压力传感器。该传感器具有高精度、多阶温度补偿等特点，适用于各种压力测量应用。

型号- SM5391-BBE-T-001-000,SM5391-BBE-S-001-000

2019/07/10 - SMI - 数据手册代理服务技术支持采购服务

公司宣传册

描述- SMI公司作为MEMS传感器行业的先驱，提供多种压力传感解决方案，服务于医疗、汽车、工业、HVAC和消费市场等领域的挑战性应用。公司专注于超低压力、极端环境下的高可靠性、高压力和极小尺寸的应用需求，产品在超低压力至极高压力范围内均具有市场领先地位。SMI提供从传感器芯片到完整解决方案的定制服务，并拥有ISO质量管理体系认证。资料详细介绍了SMI在医疗、汽车、工业、侵入性医疗、HVAC和消费市场等领域的应用案例，以及AccuStable®解决方案和定制化解决方案。

型号- SM7X31,SM933X,SM923X,SM5X31,SM30G,SM9G/D,SM1X31,SM7X91,SM5108E,SM5X91,SM9543,SM1X91,SM30D,SM98A,SM6X31,SM5420E,SM95G,SM4X31,SM5G,SMI-1A INTRASENSE™,SM1111,SMI-1B INTRASENSE™,SM6X91,SM1131,SM4X91,XX91,XX31,SM97A

2019/08/31 - SMI - 商品及供应商介绍代理服务技术支持采购服务

SMI 压力传感器选型器

产品型号	Pressure Type	Pmax(PSI)	Calibrated Pmax	Output Type	Package Type	Characteristics
SM7291-BBE-S-002-001	Gauge	0.2901	2 kPa	Digital (I²C) and Amplified Analog	SOIC-16 Horizontal	Comp. Temp. -20˚C to +85˚C, Digital Accuracy 1%FS, Shipped in Sticks

选型表 - SMI 立即选型

SMI SM7221/SM7321/SM7421低压数字传感器数据手册

描述- 该资料介绍了SM7221、SM7321和SM7421系列低压力数字传感器。这些传感器采用MEMS技术和CMOS混合信号处理技术，提供高精度、温度补偿的压力测量解决方案。它们具有I2C数字接口，适用于医疗、工业和消费电子等领域。

型号- SM7321-BCE-S010-000,SM7321-BBE-T010-000,SM7321-BBE-S010-000,SM7221-BBE-S010-000,SM7421-BCE-T010-000,SM7321,SM7421-BCE-S010-000,SM7221,SM7221-BCE-S010-000,SM7421,SM7221-BCE-T010-000,SM7421-BBE-S010-000,SM7421-BBE-T010-000,SM7221-BBE-T010-000,SM7321-BCE-T010-000

2017年07月18日 - SMI - 数据手册代理服务技术支持采购服务