中科卓尔自主研发的高精度石英材料应力双折射测试仪器对标与产品验证完成

时间： 2023-01-31 来源：中科卓尔公众号

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在石英掩模版研制过程中，应力双折射效应对玻璃的机械强度和热稳定性产生极其不利的影响，同时也会改变玻璃的光学常数、光学均匀性等，严重的会影响掩模版曝光质量；应力双折射对掩模版加工表面平面度稳定性具有较大影响。

中科卓尔自主研发的高精度石英材料应力双折射测试仪器在公司产品开发团队攻关下取得了重大突破和进展，对标德国、美国品牌产品，达到国产替代水平和国内一流水平。设备主要技术指标如下：

目前中科卓尔偏光应力仪已完成空白掩模版、酒瓶、塑料镜片、晶圆等产品检测，均满足用户检测需求。

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