【产品】精度和稳定性优于1%FS的MEMS差压压力传感器NSP1832 ,满足AEC-Q103标准

2022-06-04 纳芯微电子
车规级MEMS差压压力传感器晶圆,NSP1832,NSP1832-AWF100,NSP1832-ADT100 车规级MEMS差压压力传感器晶圆,NSP1832,NSP1832-AWF100,NSP1832-ADT100 车规级MEMS差压压力传感器晶圆,NSP1832,NSP1832-AWF100,NSP1832-ADT100 车规级MEMS差压压力传感器晶圆,NSP1832,NSP1832-AWF100,NSP1832-ADT100

纳芯微电子推出的NSP1832 MEMS压力传感器是一颗满足AEC-Q103标准的Grade 0级高性能、高可靠性MEMS差压压力传感器,基于高灵敏度的单晶硅压阻效应并采用先进的MEMS微加工工艺,生命周期内精度和稳定性优于1%FS(100kPa量程),典型的量程有0~±5kPa,±100kPa;贵金属双焊盘结构设计以及稳定性增强的屏蔽层技术,使其特别适用于汽车尾气处理、燃油蒸汽压力测量等恶劣环境。

纳芯微NSP1832 MEMS差压压力传感器晶圆制造平台经过IATF16949认证,每片晶圆都经过正面和背面100%AOI检测,并提供用于封装的Map;同时可根据客户需要提供切割后的晶圆以及定制化的产品。


产品特征

量程范围:0~±5kPa,±100kPa

工作温度:-40~150℃

芯片尺寸:1.65x1.65x0.4mm

生命周期内精度和稳定性小于1%FS(100kPa 量程)

耐腐蚀的贵金属技术

稳定性增强的屏蔽层技术

可靠性增强的双焊盘结构设计

车规级IATF16949认证的工艺平台

满足AEC-Q103 标准,Grade 0 级

符合RoHS & REACH以及无卤


典型应用

汽油车尾气颗粒捕捉器

柴油车尾气颗粒捕捉器

燃油蒸汽压力传感器

汽车刹车真空助力

工业控制


等效电路

外观尺寸以及焊盘定义

绝对最大额定参数

性能参数

如无特殊说明,所有参数都是在供电电压VDD=5V、室温以及干燥洁净的非腐蚀性气体下测试得到。

说明:

1.所列参数的典型值为样品测试结果,可能会因测试条件、封装条件等因素的差异而不同;

2.所列参数的典型值均为0~±5,±100kPa量程下的样品测试结果,其他量程下的典型值会因量程的差异而不同,详细信息请咨询纳芯微工程师;

3.量程范围中的正负号分别表示吹气和吸气,最小值表示吸气可以使用的最大量程,最大值表示吹气可以使用的最大量程;

4.零点误差是指室温下零压力下的输出电压;

5.所列各温度系数的温度区间为全温区,即-40~150℃;

6.非线性系数计算方式为最有拟合法,NLTS表示正面进气非线性系数,NLBS表示背面进气非线性系数;

7.测量介质为干燥、无污染、非腐蚀性气体。


应用指南

1.焊盘尺寸以及间距

2.切割指南

NSP1832晶圆尺寸为6英寸MEMS晶圆,芯片尺寸为1.65x1.65x0.4mm,不包括划片道,划片道尺寸为80μm,功能区距离芯片边缘50μm,距离划片道中心90μm。

NSP1832的切割方式推荐使用激光隐形切割;如必须使用机械切割,需调试切割用水的流量和气体的压力,确保切割过程不会造成敏感硅膜的破裂;切割完成后建议手动清洗和吹干,不建议使用自动清洗设备,如必须使用自动清洗设备,需调试清洗水流和吹干气体压力,确保清洗过程不会造成敏感硅膜的破裂;切割损伤不能延伸到功能区。


3.封装指南

NSP1832芯片上中心0.8x0.8mm区域内为敏感硅膜区,封装贴片时禁止吸嘴吸附该区域,如图

NSP1832敏感硅膜禁止吸附区

NSP1832贴片胶水建议使用较软的硅胶、含氟硅胶或全氟胶,胶水厚度不小于50um,理想胶水厚度大于100um,侧边和内腔溢胶不超过芯片厚度的1/3,胶框均匀无断点、无拖尾、无缺失、无气泡等。

NSP1832封装贴片示意图


订货信息


版本历史

技术资料,数据手册,3D模型库,原理图,PCB封装文件,选型指南来源平台:世强硬创平台www.sekorm.com
现货商城,价格查询,交期查询,订货,现货采购,在线购买,样品申请渠道:世强硬创平台电子商城www.sekorm.com/supply/
概念,方案,设计,选型,BOM优化,FAE技术支持,样品,加工定制,测试,量产供应服务提供:世强硬创平台www.sekorm.com
集成电路,电子元件,电子材料,电气自动化,电机,仪器全品类供应:世强硬创平台www.sekorm.com
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型号- NSI6602NA-DLAR,NSL21924-Q1,NCA1051,NSI6602VC-Q1SWR,NSI6622NB-Q1SWKR,NCA1051N-Q1SPR,NSM2017,NSI6602NC-Q1SWR,NSM2019,NSM211X,NSI6602A-Q1SWKR,NSM2013,NIRS485,NSIP83086,NSI6622VB-Q1SPOR,NSM2015,NSM2016,NSC9260X,NSHT30-CLAR,NSD1624-Q1SPR,NSM2011,NSM2012,NSI8231,NSI8230,NSD2621C-DQAGR,NSR33XXX,NSC9262,NSC9260,NSI6801LC-DDBR,NSI6602VD-Q1SWKR,NSC9264,NSP1830,NSG65N15K-DQAFR,NST112X,NCA1042C-Q1DNR,NCA1042,NCA1042A-Q1DNHR,NSI8220NX,NSI6622A-DSWKR,NSI6801TB-DDBR,NSD1624-DSPKR,NSP1833,NST7719,NSP1831,NSP1832,NSM1052,NSM1053,NSI8222,NSA2860X,NSI8221,NSI8220,NSE5701 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SERIES,NSI68010B-Q1SWAR,NSI1312D,NSI6642B-DSWR,NSI8222NX,NSI6601C-DSPR,NSI6622NB-DLAR,NSIP8841W1-DSWR,NSP1631,NSI8221CX-DSWVR,NSP1632,NSP1630,NSD56008-Q1HTSPR,NSI6622C-DLAR,NSM301X,NSM107X,NSI824XC,NSI6602VA-Q1SPNR,NSI6602ND-DLAR,NSI6801C-DSWFR,NSD3604-Q1,NCA3176,NSI6801MB-DSWVR,NSD3608-Q1QAJR,NSI1312S,NSI6622VB-Q1SWR,NSI6622B-Q1SPNR,NSD5604N-DHTSPR,NSD1624-DLAJR,NSI68011C-Q1SWAR,NSI6602VA-DLAMR,NSI6602NA-DLAMR,NSI6602NB-DSWR,NSD5604E-DHTSTR,NSR35XXX,NSI6622NB-Q1SWR,NSD5604N-Q1HTSPR,NSD1224X,NSI6602C-Q1SPNR,NSI8100W,NSI6622NA-DSPNR,NSIP8844W1-DSWR,NSI6622NB-DSWKR,NSE5702,NSE5701,NSI8100N,NSP183X,NCA1044-Q1DNR,NSI6622NC-DLAR,NCA1021S-Q1DNR,NSI6622VB-Q1SPNR,NCA1044N-Q1DNR,NSD16241-DSPKR,NSI3190,NSI6602VD-DSWR,NPC060N120A-QTOOT,NSI6622NA-Q1SWKR,NSE34050Q,NSD1224LA-DAFR,NSI8241SX,NSI6622NA-Q1SWR,NSI6622NC-Q1SPNR,NSI8231CX-DSWR,NSI1052-DSWR,NSPGL1 SERIES,NSI6622VA-Q1SPOR,NSA2860X_QQNR,NSI6801B-DSWFR,NSI6602B-Q1SPNR,NSI6601WC-DSWVR,NSI6651ASC-Q1SWR,NSC6272,NSI8263CX-DSWR,NSD8310-Q1HTSXR,NSC6273,NSREF31XX,NSI6622ND-DSWR,NSI6622NC-DSPNR,NSI6602NB-DLAR,NSI6602NB-DSPNR,NSA5312,NSI6622VC-Q1SWKR,NSPGL1,NSI6602A-Q1SWR,NSI6622NC-Q1SPOR,NSPGS2 SERIES,NSI6642C-DLAMR,NSR7808,NSI8220WX,NSI8266WX,NSD56008-Q1,NSD5604NE,NSI6622VA-Q1SPNR,NSI6602VB-DSWKR,NSL2161X-Q1,NCA1042BN-Q1SPR,NCA1057-Q1SPR,NCA1043B-Q1,NCA9511,NSI6602A-DSWR,NSC6280,NSI6602NA-Q1SWKR,NSD8308-Q1,NSI6602NC-DSWR,NSI6801TC-DDBR,NSI8242SX,NSI68515AC-DSWR,NSI6602B-DSWKR,NSI6602VD-DLAMR,NPCO60N120A-QTOIT,NSI8220CX-DSWVR,NSI6622NB-DSWR,NST235,NST117,NSI6602VC-DSWKR,NSI6602VC-Q1SWKR,NSI6602MB-DSWDR,NST118,NCA954X SERIES,NSD16242-Q1SPR,NCA9306 SERIES,NCA1044-Q1SPR,NSI6651,NSI6642B-DLAMR,NSI6602C-DSWKR,NSI8240NX,NSE34050 SERIES,NCA1057N-Q1DNR,NSP163X,NSI6602NC-DSPNR,NCA1042BN-Q1,NSI8221WX,NSI66X2,NSI6631ASC-Q1SWR,NSI6602MNC-DSWTR,NCA1042B-Q1DNR,NSI6642,NSI6601C-DSWVR,NIRS2X,NSI6601MB-DSWR,NSI8266SX,NSI6602NB-Q1SPOR,NCA34XX SERIES,NSI6602NC-Q1SPOR,NSD7310A,NSD8306-Q1,NSI6622ND-DLAMR,NSG65N15K,NSD12409-Q1SPR,NSE4250 SERIES,NCA1042CN-DSPR,NSI6602VA-DSWKR,NSI6642D-DLAMR,NCA1051N,NSI6642A-DSWKR,NIRS20N1-DSPR,NIRS21N1-DSPR,NSI6622NA-DLAR,NSC2860X-DQNR,NSI1042-DSWVR,NCA1042C-Q1SPR,NSI6602C-DSWR,NCA1057-Q1DNR,NSI8221CX-DSPR,NPD010N120A-DTOGT,NSI6602VB-Q1SWR,NSI8210CX-DSPR,NSD1026V-QISPR,NSD12416‒Q1,NSI1050-DDBR,NSI8241NX,NSI6602NC-Q1SPNR,NCA1042BN-Q1DNR,NSR10AXX SERIES,NST461,NSD2621X,NCA1042A-Q1,NSI8222WX,NST103,NSI1303D0X,NSI1303E2X,NSI6622A-Q1SWKR,NSI6602VC-DLAR,NSR31 SERIES,NSD16242-DSPR,NCA9555,NSI1052,NSC6360,NSC6362,NSI6622NB-DLAMR,NSI6651ALC-DSWR,NSC6364,NSI6602NA-DSPNR,NSI6622A-DLAR,NSI6622C-Q1SPNR,NCA1042C,NSI8220CX-DSWR,NSI6622C-DSPNR,NSA3166,NCA1042A-Q1SPR,NSIP8941W0-DSWR,NSI6642B-DLAR,NCA1042B-Q1,NSPGD1M,NSPAS3 SERIES,NSD1624-DSPR,NSI6602VA-Q1SWR,NSD1026V-Q1HMSR,NSI8242CX-DSWR,NSI6602MNC-Q1SWTR,NSL2163X-Q1,NST20,NIRS31,NSREF30XX,NCA9545,NSI6622NA-DLAMR,NSI1042,NSI6611,NCA9546,NSI6622B-DSPNR,NCA9306,NCA9548,NSD12416-Q1SPR,NSI6602MC-Q1SWTR,NSI8242NX,NSD8381-Q1QAIR,NSD8308-Q1HTSXR,NCA9617A,NST1001HA,NSI6602VA-DSWR,NSI1303D2X,NSI1050,NSI6601B-DSWVR,NSD7310-DHSPR,NSI6601,NSD731X-Q1,NCA1057N-Q1SPR,NSR7808GXX,NSD7312-Q1HSPR,NSI6602VB-DLAMR,NSI6602MNF-DSWTR,NSD1026V-DHMSR,NSA3300,NSI6602C-Q1SWKR,NSC2860X,NSD11416‒Q1,NSI6622NB-Q1SPNR,NCA1051N-DSPR,NSI6611ASC-DSWR,NSI22C11,NSI8230CX-DSWR,NSI6801B-DSPR,NSI6622A-DSPNR,NSD12409‒Q1,NSD5604NE-DHTSTR,NSPDSX SERI

选型指南  -  纳芯微电子  - April 2024 PDF 英文 下载

NOVOSENSE Automotive Solution Enable the Electrification and Intellectualization of xEV

型号- NSL23916-Q1,NSI1311,NSI6601,NSI7258,NPC060N065A,NCA8244,NSM2017,NSM2019,NSM2013,NSI22C11,NSM2015,NSM2011,NSR33XXX,NSC9262,NSI1300,NSC9264,NSREF31XX,NSI1306,NSR2240X,NPS0X0N065A,NSP1830,NCA1169,NCA1044,NCA1043,NSR7808,NSOPA240X,NSE11409,NSP1831,NSC9260X,NSP1832,NSM2020,NSL2161X-Q1,NSD8306,NSOPA8XXX,NSD731X,NSD8308,NSI67XX,NSD1026V,NSE34050,NSL31682-Q1,NSCSA24X,NSL21912-Q1,NSI6622V,NSPDC1,NSR31XXX,NCA1021S,NSD8310,NSD1624,NSD8312,NPI030N065A,NSR104XX,NSI6651,NSD11416,NSI22C12,NCA1051A,NSUC1602,NCA1462,NSD8381,NSD56008,NSM3011,NSPADX,NSM3013,NSM3012,NSI6801,NST60-Q1,NSUC1610,NSI824X,NCA9539,NST175-Q1,NSR7850,NST175,NSM203X,NSIP605X,NSIP3266-Q1,NSOPA9XXX,NSI6911,NST86-Q1,NSP1631,NSD12409,NSP1632,NSPASX,NSP1630,NSE425X,NSM1013,NPI040N120A,NSL23924-Q1,NCA9555,NSI822X,NSA9264,NCA1042B,NSD12416,NSA9260X,NSPGM2,NSM2117,NSPGM1,NSI6602V,NSD3608,NSM2113,NSM2115,NSD3604,NSL31520-Q1,NSL2163X-Q1,NSR35XXX,NST20,NSREF30XX,NPC0X0N120A,NSI1200,NSI6611,NSPAS1,NSPAS3,NCA1145,NST235-Q1,NSCSA21X,NCA1043B,NSE5702,NSI6601M,NSE5701,NSR114XX,NSR1048,NSL23716X-Q1,NSM1030

应用及方案  -  纳芯微电子  - April 2024 PDF 英文 下载 查看更多版本

纳芯微MEMS压力传感器产品介绍

型号- MPHZ6115,5G系列,NSPAL1,NSPGS2F035,MPR,NSPGM1 SERIES,NSPDS5系列,MPXM2053GS,NSP1832Q,NSPGS2系列,NSP1830-AWF006,NSP1XXX,NSPAS1N115RT01,NSPAS1 SERIES,NSPGM1系列,NSPAS3 SERIES,MPVZ5004GW7U,NSPDS5 SERIES,NSP1631,NSP1830,NSP1830G,MLX90809,NSP1632,NSPDS5,NSP1630,MPHZ6115系列,NSPGS2 SERIES,ADP51B63,NSP1XXX SERIES,SMP580/SMP470/475,NPSGM1,5G,ADP51B6X系列,NSP1833,US631X,NSP1831,NSP1832,NSPGD1,MPX5系列,MPR系列,SM1131/SM5420,NSPGD2系列,NSPGD2,MLX90809系列,NSPGD2 SERIES,NSPAS3系列,NSPAS1系列,NSPAL1 SERIES,ABP系列,2SMPP-02/03,SM30D/G,MIS-2500,ABP,APB2/AP2/AP4,MMR901XA,NSPGM1,NSP1632Q,NPSGM1系列,SM5G-005,MIS3500系列,MPVZ5004G,MIS-2500系列,APB2/AP2/AP4系列,MIS3500,ADP51B6X,NSPAS1,MPX5,NSPAS3,PS-4-DPF,NSPGS2,KP2XX,AG2/AG3/AG4,NSA9260X,MLX90817/8,MLX90821系列,SM30D/G系列,NSPGD1系列,US631X系列,NSPGD1 SERIES,MLX90821

商品及供应商介绍  -  纳芯微电子  - 2021Q2 PDF 中文 下载

NSP1832 Series MEMS Differential Pressure Sensor Die Datasheet (EN) 1.0

型号- NSP1832 SERIES,NSP1832-ADT100,NSP1832-AWF005,NSP1832-AXX035,NSP1832,NSP1832-AXX100,NSP1832-AWF100,NSP1832-AXX005,NSP1832-ADT005

数据手册  -  纳芯微电子  - Revision 1.0  - 2022/6/6 PDF 英文 下载

为数字世界和现实世界的连接提供芯片级解决方案

型号- NSI6602,NCA1051,NSI1311,NSE34050D-Q1,NSI1312,NSI6601,NSR35XXX-Q1,NSD8408,NCA9617,NSI8308X,NCA8244,NSI6611X,NS182XX,NSI6801X,NSM2013,NIRS485,NSM2015,NSM2011,NSI6651X,NSR33XXX,NCA1042-Q1,NSC9262,NSI1300,NSC9264,NSR2240X,NSP1830,NSI8308XE,NCA1042,NCA1043,NSR35XXX Q1,NSI6622X,NSE11409,NSP1831,NSC9260X,NSP1832,NSM2020,NSD7312,NSL2163X,NSD8306,NSD8308,NSD1025X,NSI86XX,NSI8308A,NSE11409-Q1,NSI826X,NSD8308-Q1,NSE34050,NSM201X,NSI1303X,NSI6851X,NSPDC1,NSR31XXX,NS16601,NSIP8308X,NSI1300D05,NSD1624,NSL219XX,NSR31XXX Q1,NS11311,NSI33XX,NSD731X,NSIP88XX,NSI1400,NSI6931,NSD8308-Q1NSD8308-Q1,NCA1051A,NSUC1600,NSUC1602,NSR31XXX-Q1,NSE34050Q-Q1,NSM3011,NSI82XX,NSL2363X,NSM3012,NSL2161X,NCA10XXA,NSI319X,NCA9539,NSA1042,NCA4245,NSR33XXX Q1,NSI1200X,NIRSP31,NSI1305X,NSM203X,NSI1300D25,NSG65N15A,NSD122X,NSD5604,NSI6911,NSIP89XX,NCA1021-Q1,NSR114XX-Q1,NSI824X,NSP1631,NSP1632,NSPASX,NSP1630,NSI1306X,NSE34050S-Q1,NSIP8XXX,NSR33XXX-Q1,NSD1624-Q,NSD2621,NSD1015,NSI810X,NSA9264,NSI6601MX,NCA1043-Q1,NCA1042A,NSD8381-Q1,NSI1311X,NSA9260X,NSPGM2,NSPGM1,NSM101X,NSI6602V,NSI6601X,NSIP1042,NSD1025,NSR35XXX,NIRS31,NSI1042,NSI6611,NSI822X,NSPAS1,NCA9306,NSPAS3,NCA1145,NSPAQX,NCA1021,NSI1300X,NCA8T245,NSI6602E,NSI1050

应用及方案  -  纳芯微电子  - 2022/6/16 PDF 中文 下载

【产品】车规级高灵敏度MEMS压差传感器NSP183x系列,生命周期内精度和稳定性优于1%FS

纳芯微电子NSP183x系列是一款基于高灵敏度的单晶硅压阻效应,并采用先进的MEMS微加工工艺制造而成符合AEC-Q103可靠性标准的汽车级MEMS压差传感器,生命周期内精度和稳定性优于1%FS;其制造平台经过IAFTF16949认证。

新产品    发布时间 : 2021-11-24

NSP1831 车规级MEMS微差压压力传感器晶圆 规格书

型号- NSI8130,NSP1831-BDT006,NSP1831-BWF006,NSP1831,NSP1831-ADT010,NSP1831-AWF010

数据手册  -  纳芯微电子  - Rev1.0  - 2021/2/24 PDF 中文 下载

NSP1832 车规级MEMS差压压力传感器晶圆

型号- NSP1832-ADT100,NSP1832-AWF005,NSP1832,NSP1832-AWF100,NSP1832-ADT005

数据手册  -  纳芯微电子  - 版本1.1  - 2021/07/28 PDF 中文 下载

量程范围-10kPa~10kPa的车规级MEMS微差压压力传感器芯片,生命周期内精度和稳定性优于1%FS

描述- 纳芯微MEMS压力传感器产品POD外形与NXP、Infineon兼容,NSPAS1兼容NXP MPXHZ6115系列,NSPAS3兼容Infineon KP2xx系列。拥有完全自主的底层开发能力及持续技术演进能力,以及自主知识产权的PiezoBEAM™的MEMS设计及车规级COT工艺。经市场广泛验证的车规级ASIC,多种输出接口灵活适配。

型号- NSPAL1 SERIES,NSPAL1,NSPGM2 SERIES,NSPGM1 SERIES,NSP1832Q,NSPGM1,NSP1632Q,NSP16XX,NSPGMX,NSPAS1 SERIES,NPSGM1系列,NSPAL1系列,NSPAS3 SERIES,NSPAS1,NSPAS3,NSPDS5 SERIES,NSPDS9 SERIES,NSP1631,NSP1830,NSP1830G,NSPDS5,NSP1630,NSPDS9,NSPGS2 SERIES,NPSGM1,NSP1833,NSPASXQ SERIES,NSP1831,NSPGD2 SERIES,NSPAS3系列,NSPGD1 SERIES,NSPAS1系列

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品牌:纳芯微电子

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压力传感器定制

可定制板装式压力传感器支持产品量程从5inch水柱到100 psi气压;数字输出压力传感器压力范围0.5~60inH2O,温度补偿范围-20~85ºС;模拟和数字低压传感器可以直接与微控制器通信,具备多种小型SIP和DIP封装可选择。

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防水透气膜模切加工

支持定制透气膜的宽度,ePTFE材质,耐温范围-40℃-260℃,防水等级IP67/IP68,具有疏水性(拒水性)和不粘性。

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