【产品】行业领先输出精度1%FS的新型超低MEMS差压传感器SM933X

时间： 2018-05-29 来源：MEMS

技术问答

2018年5月8日SMI推出了SM933X系列超低MEMS压力传感器系统。这款完全温度补偿和压力校准的系列压力传感器，压力范围低至125 Pa（0.50 inH2O），能够为HVAC（暖通空调）、工业和医疗应用提供精准的压力传感。SMI通过将其独有的MEMS压力换能器和最先进的信号调理IC整合在一个封装中，实现了行业领先的输出精度（1%FS）和长期稳定性。SMI差压传感器广泛应用在医疗领域。

MEMS压力传感器SM933X系列实物图

该系列差压传感器系统提供两种配置：压力范围为+/- 125 Pa（0.50 inH2O）的SM9333，以及压力范围为+/- 250 Pa（1 inH2O）的SM9336。其16位分辨率能够解析低至0.0038 Pa的信号。此外，其卓越的预热性能和长期稳定性，进一步确保了使用寿命内的预期性能。

SMI新款SM933X系列超低MEMS压力传感器的性能优势

SM933X系统供电电压范围为3.0~5.5 V，凭借其低电流消耗和睡眠模式，非常适合低功耗应用。其ASIC架构和更高阶的滤噪功能，提供了低噪声和极低的EMI敏感度。

采用具有双垂直端口的小型SO16封装，使其便于系统集成和压力连接，此外，其MEMS传感器本身爆裂压力高，坚固耐用，几乎没有安装或振动敏感度。

主要应用：HVAC、CPAP以及压力变送器
SM933X系列传感器是流量传感应用的最佳解决方案，无论管道长度如何，均可提供卓越的高性能表现，且不受气流中的颗粒物影响。它非常适于作为HVAC传感器，确定可变风量（VAV）中的空气流量，以及检测过滤器的清洁度（例如空气处理单元AHU中的过滤器）。

在医疗应用市场，超低压力传感器常用于CPAP（持续正压通气，呼吸机）流量传感。SM933X系列传感器凭借对安装方向不敏感，以及高分辨率和低噪声性能，使其更易于在CPAP流量传感器中集成和使用。此外，SM933X系列传感器改进了工业应用中的压力测量，利用一个小型封装中的单个传感器系统，替代了昂贵、笨重的多组件设备，并提供了长期的稳定性。其主要应用包括压力变送器和压力开关。

“SMI从90年代中期开始一直处于MEMS低压传感器领域的领先位置，凭借SM933X系列的推出，该公司希望在该领域继续领先下一个十年，”SMI总裁兼首席执行官Omar Abed说，“我们收到了来自主要客户的非常积极的反馈，我们相信这一新产品系列的推出，将为2 inH2O以下超低压力传感器树立新的标杆，并在医疗和工业领域的流量和超低压应用中引入新一波创新浪潮。”

关于SMI

SMI是Elmos全球半导体集团的成员企业，该公司基于特定应用的IC、传感器和完整的微系统，为各行各业提供经过市场验证的解决方案。Silicon Microstructures通过了ISO相关认证，是一家MEMS压力传感器主要开发商和制造商，服务各类市场超过25年。Silicon Microstructures的设计、生产和质量控制流程，使其能够开发当今市场上最灵敏、最小的MEMS压力传感器。

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全部评论（149）

用户71999508 Lv3 高级工程师 2018-10-28

请教SM9333数据如何转变为压力
- 用户97967577_世强回复： SMI品牌的压力传感器SM9331是标准I2C接口，输出的I2C数据，可以通过下列公式转换为压力值：
  查看全部1条回复
EEric Lv7. 资深专家 2019-07-23

棒棒的
MR.XU Lv7. 资深专家 2019-07-23

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伍伍 Lv7. 资深专家 2019-07-14

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乔峰 Lv7. 资深专家 2019-06-10

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maomao Lv8. 研究员 2019-06-01

支持了
用户_0261 Lv8 2019-05-31

SM933X系统供电电压范围为3.0~5.5 V，凭借其低电流消耗和睡眠模式，非常适合低功耗应用
桃梅 Lv7. 资深专家 2019-05-30

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小学生攻城狮 Lv8. 研究员 2019-05-28

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【选型】SMI MEMS芯片/系统/压力传感器/微创传感器（Systems）选型指南

目录- MEMS pressure sensor die

型号- SM933X,SM6X21,SM30G,SM4X21,SMI-1A-48-XXX-ADAR,SM7X91,SMI-1A-48-XXX-ADAP,SMI-1B-48-XXX-ADAR,SM5108E,SMI-1B-48-XXX-ADAP,SM5X91,SM9325,SM1X91,SM9543,SM1X21,SM30D,SMI-1A-48-XXX-ABUU,SM98A,SMI-1B-48-XXX-AAUU,SMI-1B-48-XXX-ABUU,SM6841,SM1171,SM5420E,SM7X21,SM9D,SM5X21,SM95G,SM5G,SM1111,SM6X91,SM1131,SM4X91,SM9G,SM95D

选型指南 - SMI - 2018年 PDF 英文下载

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治疗睡眠呼吸中止症的CPAP呼吸机需要极高精度的压力传感器和流量传感器。SMI的SM6221和SM6291表压压力传感器精度达1%，是市面上最小的CPAP传感器，适合用于检测呼吸机气管压力。SM9333和SM9336差压压力传感器精度达1%，采用16位数字输出，可解析精度达0.0038Pa的信号，可测得精确的气流量。

应用方案发布时间 : 2018-11-29

专属的医疗技术用传感器解决方案

型号- 3001463,5000077,3001447,5000076,5000079,5000078,3001448,SERIES Q,SERIES 8R,PIN SERIES,5000080,5000082,5000081,APD SERIES,SERIES 9,SERIES 6B,X7-F,X100-7,SERIES 11,SERIES 10,SERIES I,SERIES 9.5,SERIES 8,SERIES 5,SERIES 6,5000040,5000083

商品及供应商介绍 - FIRST SENSOR - 2018年2月 PDF 英文下载

Innovate for Life

型号- SM7X31,SM933X,SM923X,SM5X31,SM30G,SM1X31,SM7X91,SM5108E,SM5X91,SMI-1B,SM9543,SM1X91,SMI-1A,SM30D,SM98A,SM6X31,SM5420E,SM9D,SM4X31,SM95G,SM5G,SM1111,SM6X91,SM4X91,SM1131,SM9G,SM97A

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SMI压力传感解决方案介绍

描述- Pressure Sensing Solutions

型号- SM933X,SM6X21,SM4X21,SM7X91,SM5108E,SM5X91,SMI-1B,SMI-1A,SM9543,SM1X91,SM1X21,SM30D,SM98A,SM5652,SM5852,SM9D,SM5420E,SM7X21,SM95G,SM5X21,SM5G,SM6X91,SM9G,SM4X91,SM5651,SM95D

培训文档-商品应用及供应商介绍 - SMI PDF 中文下载

独特的工业领域用传感器解决方案

型号- LD65F7S-A,3001380,3001263,3001262,3001386,3001265,SERIES 8R,3001393,3001032,5000008,3001275,3001396,3001399,3001157,5000004,3001156,3001038,LD65F7S-B,LD65F7S-C,3001039,5000002,5000001,LD78E6HG-Q,LD63D4S-C,LD63D4S-B,LD63D4S-A,3001284,3001287,3001047,3001048,SERIES Q,SERIES 6B,LD65J7S-C,LD65J7S-B,LD65J7S-A,3001054,3001177,LD80R4S-B,5001315,LD80R4S-C,LD83O6S-A,SERIES I,LD83O6S-B,LD80R4S-A,LD83O6S-C,LD80R4S-D,LD80R4S-E,LD67F6S-C,LD85D6S-C,LD85D6S-A,LD85D6S-B,LD63F5S-B,LD63F5S-C,LD63F5S-A,3001340,3001463,3001341,3001464,3001225,5000039,LD65E7S-A,3001345,LD65E7S-B,5000032,3001228,3001349,LD67D6S-C,LD67D6S-B,LD67D6S-A,LD65E7S-C,LD65E7S-H,3001351,3001232,3001473,3001356,LD85H6S-C,LD85H6S-B,5000045,LD85H6S-A,5000040,5000041,LD78F6S-B,LD78F6S-A,LD68J6S-A,LD68J6S-C,LD68J6S-B,3001241,LD65D7S-L,3001486,5000014,3001488,3001246,5000011,5000010,5000012,LD67F7S-A,LD67F7S-B,LD67F7S-C,LD65I7S-B,LD65I7S-A,LD65D7S-B,LD65D7S-C,LD65I7S-C,LD65D7S-A,LD65I7S-H,5000029,3001493,3001495,5000025,SERIES 9.5,5000022,5000021,5000023,LD78F6S-C,3001421,LD63G5S-L,5000077,LD78M6S-A,5000076,5000079,LD78M6S-C,3001426,5000078,LD78M6S-B,3001429,LD63G5S-C,LD63G5S-A,LD63G5S-B,5000080,5000082,5000081,LD78I6S-A,LD78I6S-C,LD78I6S-B,LD78I6S-L,SERIES 11,3001431,SERIES 10,3001434,3001433,LD67D7S-B,LD67D7S-C,LD65D6S-C,5000083,3001439,LD80R4S-Z4,LD67D7S-A,LD65D6S-A,LD65D6S-B,3001441,3001440,3001442,3001447,3001448,3001208,3001210,3001212,LD65F5S-A,3001211,3001214,LD65F5S-C,3001213,LD65F5S-B,LD68I6S-C,LD67F6S-A,LD68I6S-B,LD67F6S-B,LD68I6S-A,LD63G5S- B,LD63G5S- A,3004334,LD63-H5S-A,3001064,LD63-H5S-B,3001188,3001187,LD65D5S-L,LD63-H5S-C,LD65D5S-C,LD65D5S-B,LD85F6S-A,LD85F6S-B,SERIES 9,LD65D5S-A,LD85F6S-C,LD78C6S-A,LD78F6DF-1,LD78C6S-B,LD78C6S-C,LD63D5S-A,LD63G5S- C,LD63D5S-B,LD63D5S-C,SERIES 8,SERIES 5,SERIES 6,LD65F6S-C,3001401,LD65F6S-A,LD65F6S-B,3001405,3001411,3001413,3001415

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company brochure

型号- SM7X31,SM933X,SM923X,SM5X31,SM30G,SM9G/D,SM1X31,SM7X91,SM5108E,SM5X91,SM9543,SM1X91,SM30D,SM98A,SM6X31,SM5420E,SM95G,SM4X31,SM5G,SMI-1A INTRASENSE™,SM1111,SMI-1B INTRASENSE™,SM6X91,SM1131,SM4X91,XX91,XX31,SM97A

商品及供应商介绍 - SMI - 2019/08/31 PDF 英文下载

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First Sensor工业领域用传感器解决方案

描述- First Sensor股份公司是世界领先的传感器技术供应商之一。在这个增长型的市场里，我们为工业、医疗和交通领域的目标市场越来越多地开发和生产定制化解决方案。本资料主要介绍了工业领域用传感器解决方案

型号- LD65F7S-A,3001380,LD80R4S-D-Z4,3001263,3001262,OLM,3001386,3001265,OLP,OLT,BTE5000,KTE8000...CS,3001393,3001032,5000008,LD78I6S-A-L,LD78C6S-A-L,3001275,3001396,3001399,3001157,5000004,CTE9000,3001156,3001038,LD65F7S-B,LD65F7S-C,3001039,5000002,5000001,LD78E6HG-Q,LD63G5S-C-L,APD SERIES 9,APD SERIES 8,LD63D4S-C,LD63D4S-B,LD63D4S-A,3001284,3001287,3001047,3001048,SA-13.S1.C-8,LD65J7S-C,LD65J7S-B,LD65J7S-A,LD80R4S-E-Z4,3001054,LD78C6S-B-L,LD78I6S-B-L,3001177,5001315,LD83O6S-A,LD83O6S-B,LD83O6S-C,LD67F6S-C,LD85D6S-C,HRO,LD85D6S-A,KTE6000,LD85D6S-B,LD63F5S-B,LD63F5S-C,LD63F5S-A,3001340,3001463,3001341,3001464,3001225,5000039,3001345,5000032,3001228,3001349,LD67D6S-C,LD67D6S-B,LD67D6S-A,LD65D5S-B-L,HCE,3001351,HCL,3001232,LD78I6S-C-L,LD80R4S-C-Z4,3001473,3001356,LD85H6S-C,HTD,LD85H6S-B,5000045,LD85H6S-A,5000040,5000041,LD78F6S-B,CTE8000...CS,LD78F6S-A,APD SERIES 8R,LD68J6S-A,HDI,LD68J6S-C,LD68J6S-B,3001241,HDL,HDO,3001486,5000014,3001488,3001246,WBA,5000011,HDU,5000010,5000012,LD67F7S-A,PIN SERIES 6B,LD67F7S-B,LD67F7S-C,WBI,LD65I7S-B,LD65I7S-A,LD65D7S-B,LD65D7S-C,LD65I7S-C,LME,LD65D7S-A,LMI,LD65D5S-A-L,5000029,3001493,3001495,5000025,5000022,5000021,5000023,LD78F6S-C,LD65D7S-C-L,LD65I7S-B-H,WTA,3001421,5000077,LD78M6S-A,5000076,5000079,LD78M6S-C,3001426,5000078,LD78M6S-B,3001429,5000080,5000082,5000081,3001431,3001434,3001433,LD67D7S-B,LD67D7S-C,LD65D6S-C,5000083,3001439,SI-11.S1.C-30,LD67D7S-A,LD65I7S-A-H,LD65D7S-B-L,LD65D6S-A,LD65D6S-B,LD80R4S-B-Z4,3001441,3001440,LD65D5S-C-L,3001442,SA-12.S1.C-3,3001447,3001448,3001208,LD65E7S-C-H,3001210,3001212,LD65F5S-A,3001211,3001214,LD65F5S-C,3001213,LD65F5S-B,LD68I6S-C,LD67F6S-A,LD68I6S-B,LD67F6S-B,LD68I6S-A,LD63G5S-B-L,LD65D7S-A-L,CTE9000...CS,APD SERIES 9.5,3004334,LD63-H5S-A,3001064,LD63-H5S-B,HCLA,3001188,3001187,CTE8000,PIN SERIES I,LD63-H5S-C,LD65D5S-C,LD65D5S-B,LD65E7S-B-H,LD85F6S-A,LD85F6S-B,LD65D5S-A,LD85F6S-C,LD78F6DF-1,PIN SERIES Q,SA-14.S1.C-15,LD63D5S-A,LD63D5S-B,LD63D5S-C,LD78C6S-C-L,LD63G5S- A-L,LD65I7S-C-H,PIN SERIES 6,PIN SERIES 5,LDE,LD65F6S-C,3001401,LD65F6S-A,LD65F6S-B,3001405,LD65E7S-A-H,HMA,HME,HMI,SSI,APD SERIES 11,APD SERIES 10,SSO,HMU,LD80R4S-A-Z4,CTE7000,3001411,3001413,3001415

应用及方案 - FIRST SENSOR - 2018/03/16 PDF 中文下载

SMI SM9333/SM9336系列差压传感器数据手册

型号- SM9235-BCE-T-250-000,SM9335-BCE-S-125-000,SM9336-BCE-T-250-000,SM9235-BCE-S-250-000,SM9236-BCE-T-125-000,SM9236-BCE-S-125-000,SM9233-BCE-S-250-000,SM9336-BCE-S-250-000,SM9333-BCE-S-250-000,SM9335-BCE-T-250-000,SM9233-BCE-T-125-000,SM9333-BCE-T-250-000,SM9336-BCE-T-125-000,SM9235-BCE-T-125-000,SM9233-BCE-S-125-000,SM9336-BCE-S-125-000,SM9236-BCE-T-250-000,SM9235-BCE-S-125-000,SM9335-BCE-S-250-000,SM9333,SM9336,SM9333-BCE-T-125-000,SM9233-BCE-T-250-000,SM9236-BCE-S-250-000,SM9333-BCE-S-125-000,SM9335-BCE-T-125-000

数据手册 - SMI PDF 英文下载

SMI 符合欧盟指令2015/863/EC的声明：限制使用有害物质（RoHS 3）

型号- SM5421,SM5102,SM5103,SM3041,SM30G,SM5822,SM4293,SM9541,SM5108C,SM6295,SM5108E,SM7321,1160,SM7221,SM5221,SM4233,SM5882,SM9543,SM5321,SM7421,SM5420,1159,SM30D,1318,SM97,SM98,SM5652,SM6841,SM5852,SM6842,SM9D,SM3050,SM9552,SM9233,SM5470,SM5G,SM9550,SM9235,SM9333,SM5430,SM9G,SM9336,SM5651,SM9236,SM7291,SM7491,SM7391,SM87

测试报告 - SMI - 2019年7月15日 PDF 英文下载

压力传感器

型号- SM7X31,SM933X,SM923X,SM5X31,SM30G,SM1X31,SM7X91,SM5108E,SM5X91,SM1X91,SM9543,SM30D,SM98A,SMI-1B INTRASENSE®,MI-1A INTRASENSE®,SM6X31,SM5420E,SM4X31,SM95G,SMI-1A INTRASENSE®,SM5G,SM1111,SM6X91,SM9G,SM1131,SM4X91,SM97A

商品及供应商介绍 - SMI - 2019/11/08 PDF 中文下载