【成功案例】具有超强抗干扰能力的Cat.7卷装线缆用于半导体设备,保证了EtherCAT总线网络通讯的稳定性
在笔者参与设计某一涂胶显影半导体设备的项目中,其工艺之一是需要对晶圆进行加热,而晶圆加热系统中使用欧姆龙提供的温度均一控制技术,使用的电气控制元件主要有欧姆龙的NJ系列主站PLC以及ECC201从站,每个产品上均配置有RJ45插座,它们之间采用EtherCAT网络进行总线通讯,设备中布置有多个独立承载晶圆的盘体,每个盘体装有PT1000温度传感器以及加热电阻,每个盘体均设置有ECC201从站,ECC201配置的温度模块接收PT1000的温度反馈,通过配置的数字量输出模块控制固态继电器的线圈,进而来控制加热电阻的上电或失电,每个盘体可独立进行加热,所有盘体的统一由主站PLC进行温度均一控制。主站PLC与各个从站通过网线实现菊花链形式的联接。
以前的设备普遍做法是事先确定好各个EtherCAT网络节点之间的距离,统一定制成品网线,但由于该项目时间比较仓促,布线路径无法确定,网线长度无法确定,因此没有定制成品网线,而是采用散装网线和RJ45连接器进行自制,装配时根据现场实际布线,确定线缆长度。
欧姆龙官网上查询可知,网线建议使用类别5或更高等级的双屏蔽(编织网+铝箔)直连式STP (屏蔽双绞线)电缆作为EtherCAT通讯电缆,再加上设备本身内部电气器件众多以及现场设备之间布置紧凑,EtherCAT通讯电缆周围电磁环境相当复杂,因此本项目中必须选用抗电磁干扰能力强、通讯可靠的线缆作为通讯网线。配置图详见图1,可见主站PLC先与节点1从站进行联接,各个从站采用级联的方式进行联接的,图1左侧可以看见每个从站所配置的温度模块和数字量输出模块。
图1 主站PLC与各个从站配置图
魏德米勒作为工业联接和网络产品的领先供应商,为以太网通信提供各种高品质的有源和无源器件的综合产品,满足客户的不同的使用要求。魏德米勒可提供有Cat.5或Cat.7的卷装工业线缆,本项目选用是魏德米勒的Cat.7卷装线缆——IE-7CC4×2×AWG26/7-PUR,作为EtherCAT总线通讯的以太网网线,远远高于欧姆龙所要求网线的类别。该线缆具有4对屏蔽双绞线,外层材料采用了在耐磨、抗油等方面性能极佳的PUR材质,屏蔽类型为双重屏蔽双绞线(S/FTP),即每对都有一个金属箔屏蔽层,然后8根芯线外还有一个金属编织丝网屏蔽层,具有超强的抗电磁干扰能力。外观如图1和图2所示。
图2 线缆内部结构示意图
图3 线缆实物图
该IE-7CC4×2×AWG26/7-PUR线缆护套直径范围6.2mm—6.6mm,每单芯线规格为AWG26。至此,线缆确定后,接下来就需要确定两端的RJ45连接器,整个通讯网线的抗干扰能力等性能除了线缆本身,还与两端连接器以及制作工艺有关。本项目中选用的是魏德米勒具有Cat.6A/EA 级RJ45连接器IE-P70, 其防护等级IP20,可联接导线截面积范围为AWG27—AWG24,适合导线外层直径为6.2mm—7.1mm,并具有预防扭结功能,可与IE-7CC4×2×AWG26/7-PUR线缆完美配合使用。IE-P70连接器采用360º全屏蔽,同样具有优异的抗电磁干扰能力。特别注意的是,该RJ45连接器需要使用魏德米勒专用的压接钳进行压接。
图4 IE-7CC4×2×AWG26/7-PUR实际应用图
图5 RJ45连接器IE-P70外观图
IE-7CC4×2×AWG26/7-PUR线缆工作温度为-40—80℃,而IE-P70连接器工作温度为-40—70℃,两者均具有较宽的工作温度,可应用在多种温度环境中。本项目,由于设备放在恒温恒湿的洁净间,常年温度保持在23℃上下,因此对工作温度要求不高。本项目最为看重的还是网线通讯的可靠性,而 IE-7CC4×2×AWG26/7-PUR线缆凭借着双重屏蔽内部构造,在传输速度、传输频率、带宽、抗干扰等方面均具有突出的优势,保证了PLC与各个ECC201从站系统通讯质量的稳定性。
之前有些设备采用的是Cat.5的网线,通过在欧姆龙NJ系列PLC编程软件中监测网络通讯质量,有时会出现发送总帧数与接收总帧数不一致或帧超时等现象。而该项目中,通过在PLC软件中多次监测,从未出现发送与接收总帧数不一致或帧接收超时现象,EtherCAT总线通讯质量良好。
图6 软件诊断/统计信息
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型号- 2562950000,RJ45C5 R1U 2.8N4G/Y RL,RJ45
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