【产品】小尺寸高精度压阻式压力传感器裸片，适用于高精度的中等压力测量

时间： 2017-12-02 来源：SMI（世强编辑整理）

技术问答

SM30D/SM30G是SMI公司新推出的一款基于硅微加工超小型的压阻式压力传感器裸片，适用于高精度的中等压力测量。该款压力传感的量程在5~150 PSI范围内可进行选择，500 PSI的量程正在开发准备对其集成配置，芯片兼容了开放式和闭合式的桥式传感器结构，为各种压力测量应用提供了丰富的选择。

SM30D/SM30G中等压力传感器具有出色的中等压力测量精度，在Vdd=5.0V，温度25°C环境下传感器零点偏移电压典型值低至-10mV，温度对感应电压灵敏度的影响可低至-0.19%/°C，温度零点漂移仅在±75μV/°C，温度引起的阻抗典型值为0.275%/°C，因此在不同的温度下均能表现出出色的压力感应精度。SM30D/G传感器芯片顶部的线性调整度典型值优于±0.1%FS，背面的线性调整度在5 PSI时小于±0.2%/°C，15、30、80和150 PSI 下小于±0.1%/°C，压力滞后小于±0.1%FS，温度热滞后降低到±0.2%FS，因此，该款芯片能够有效降低压力感应误差，能有助于显著提高测量压力的精确度。

SM30D/SM30G 中等压力传感器基于贵金属接合焊盘，可以有效防止腐蚀，适应于极端恶劣的应用环境中，同时具有较宽的正常工作温度范围，温度范围为-40°C~150°C，可以接纳电源电压高达10V且具有很好的电压兼容性。该芯片通过了AEC-Q100QI汽车标准认证，同时按照ISO9001和ISO/TS16949的高标准制造，极大的提高了该压力传感器工作的可靠性和稳定性，有助于保证产品的性能品质。

图1 SM30D/SM30G中等压力传感器的闭合和开放型感应电路结构

SM30D/SM30G中等压力传感器采用高集成度的硅微加工的小尺寸制造方式，裸片尺寸规格都为1.335mm×1.335mm×0.425mm，超小体积裸片非常适合作为OEM系统的一部分安装封装在陶瓷材质的基板上，占用的电路面积和空间小，适合芯片在PCB上进行高密度贴装，也可封装在专用传感器的集成电路中，十分满足便携式医疗、工业、消费电子设备设计对空间的要求。

SM30D/SM30G中等压力传感器的特点及优势：

· 芯片集成的现场屏蔽功能增强了工作的稳定性；

· 具有宽工作温度范围：-40°C~150°C；

· 具有差分或表压测量功能配置；

· 可提供5、15、30、80、150和500 的PSI；

· 可以接纳电源电压高达10V；

· 零点偏移电压典型值低至-10mV，温度对感应电压灵敏度的影响可低至-0.19%/°C；

· 温度零点漂移仅在±75μV/°C，温度引起的阻抗典型值为0.275%/°C；

· 顶部的线性调整度典型值优于±0.1%FS，背面的线性调整度在5 PSI时小于±0.2%/°C，15、30、80和150 PSI 下小于±0.1%/°C；

· 压力滞后小于±0.1%FS，温度热滞后降低到±0.2%FS；

· 通过了0级AEC-Q100QI汽车标准认证；

· 符合ISO9001和ISO/TS16949的高标准制造；

· 贵金属接合焊盘，适应苛刻的应用环境；

· 符合RoHS和REACH标准；

· 高集成度的硅微加工的小尺寸制造方式，裸片的尺寸规格为1.335mm×1.335mm×0.425mm。

SM30D/SM30G中等压力传感器的典型应用：

· 医疗电子行业：通风机、氧合器、伤口治疗器、流体排放

· 工业电子设备：气流监测器、气压计、压力开关

· 消费电子应用：运动器材、健康检测设备

SM30D/G压力传感器裸片的外型结构：

技术顾问：惠惠

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全部评论（5）

OutstandingEngineer Lv6. 高级专家 2018-04-27

工作范围很宽，也很小巧，收藏了。
朱良涛 Lv6. 高级专家 2017-12-27

学习了
用户18396822 Lv8 2017-12-20

有用
大周 Lv5. 技术专家 2017-12-19

收藏，以备用时之需
duanmaxie Lv8. 研究员 2017-12-02

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