【产品】量程为0.15~1.50 PSI的高精度超低压力传感器，超小型尺寸芯片

时间： 2017-12-04 来源：SMI

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SM95D/G是SMI公司推出的一款基于硅微加工超小型的压阻式压力传感器裸片，非常适用于高精度的超低压力测量。该款压力传感的量程在0.15~1.50 PSI（1.0~10kPa）范围内可进行选择，测量性能是OEM和大批量应用的理想选择，芯片采用闭合式的桥式传感器结构，可为各种超小压力的测量应用提供丰富而精确的灵敏特性。

SM95D/G超小压力传感器具有出色的超小压力测量精度，在Vdd=5.0V，温度25°C环境下传感器零点偏移电压典型值低至-75~25mV范围，温度对感应电压灵敏度的影响可低至-0.21%FS/°C，温度零点漂移仅在±100μV/°C，温度引起的阻抗典型值为0.20%Rb/°C，因此在不同的温度下均能表现出色的超低压力感应精度。SM95D/G传感器芯片顶部的线性调整度典型值优于±0.1%/FS，背面的电压线性调整度在全量程下小于±0.2%/°C。因此，该款传感器芯片能够有效降低压力感应误差，能有助于显著提高测量压力的精确度。

SM95D/G 超低压力传感器具有较宽的正常工作温度范围，为-40°C~85°C，可以接纳电源电压高达6.5V且具有很好的电压兼容性。该芯片通过了AEC-Q100QI汽车标准认证，同时按照ISO9001和ISO/TS16949的高标准制造，极大的提高了该压力传感器工作的可靠性和稳定性，有助于保证产品的性能品质。

图1 SM95D/G超低压力传感器闭合型感应电路结构

SM95D/G超低压力传感器采用高集成度的硅微加工的小尺寸制造方式，裸片尺寸规格都为2.06mm×2.06mm×0.552mm，超小体积裸片非常适合作为OEM系统的一部分安装封装在陶瓷材质的基板上，占用的电路面积和空间小，适合芯片在PCB上进行高密度贴装，也可封装在专用传感器的集成电路中，十分满足便携式医疗、工业、消费电子设备设计对空间的要求。

SM95D/G超低压力传感器的特点及优势：

· 芯片集成的现场屏蔽功能增强了工作的稳定性；

· 具有宽工作温度范围：-40°C~85°C；

· 毫伏量级的输出；

· 可提供0.15、0.6和1.50的PSIG满量程；

· 可以接纳电源电压高达6.5V；

· 零点偏移电压典型值低至-75~25mV范围，温度对感应电压灵敏度的影响可低至-0.21%FS/°C；

· 温度零点漂移仅在±100μV/°C，温度引起的阻抗典型值为0.20%Rb/°C；

· 顶部的线性调整度典型值优于±0.1%/FS，背面的电压线性调整度在全量程下小于±0.2%/°C；

· 通过了AEC-Q100QI汽车标准认证；

· 符合ISO9001和ISO/TS16949的高标准制造；

· 符合RoHS和REACH标准；

· 高集成度的硅微加工的小尺寸制造方式，裸片的尺寸规格为2.06mm×2.06mm×0.552。

SM95D/G超低压力传感器的典型应用：

· 医疗电子行业：睡眠呼吸暂停、肺活量计、医院床位

· 工业电子设备：HVAC、VAV控制器、过滤器防护罩、安全柜、液位测量、压力变送器、排气罩、消防、压力开关、断路器

· 消费电子应用：运动器材、健康检测设备

SM95D/G超低压力传感器裸片的外型结构：

技术顾问：惠惠

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全部评论（8）

用户64425216 Lv5. 技术专家 2018-09-07

不错
用户18396822 Lv8 2018-03-29

支持
Sam24 Lv5. 技术专家 2018-01-15

学习
BATI Lv7. 资深专家 2017-12-22

学习了
崇乾 Lv8. 研究员 2017-12-16

学习

用户59894170 Lv4. 资深工程师 2017-12-14

好
打螺丝 Lv5. 技术专家 2017-12-04

好好
serena Lv7. 资深专家 2017-12-04

高精度小尺寸，指标很厉害

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