【产品】支持高达25倍量程爆破压力的硅微加工压阻式压力传感芯片SM97A，可用于苛刻介质
SM97A是SMI推出的一款硅微机械压阻式压力传感芯片，专为需要精确测量绝对压力的苛刻介质而设计。与传统的压力传感芯片相比，介质仅与硅材料接触。因此，芯片正面的电子结构在操作时不会受到影响，这使得SM97A系列压力传感器非常耐用，适用于具有挑战性的应用。
图一 产品外观
该器件满量程为10 Bar和20 Bar绝对压力（145和290 PSIA），是OEM和高容量应用的理想选择。这些传感器芯片，不仅可作为OEM系统的一部分贴装在陶瓷或PCB基板上，还可以封装成专有的或特定应用的传感器产品。 芯片背面有镀金属，可用于共晶键合。
芯片在出厂前会进行检测、切割和检查，并用保护膜包装运输。背面镀有金属的器件将使用 UV 解粘膜包装运输。
SM97A系列压阻式压力传感芯片的特点：
• 压力量程10Bar(145 PSIA),20Bar(290 PSIA)
• 支持高达25倍量程爆破压力
• 集成温度传感器
• 小型裸片，尺寸1.2mm×1.33mm
• 背面可直接贴合在独立器件上，适用于恶劣环境
• 在5 V时90mV输出
• 全硅结构
• 芯片背面有镀金属，可用于共晶键合。
• 增强防护和爆破压力稳健性的专有设计
SM97A系列压阻式压力传感芯片的最大额定值：
图二
SM97A系列压阻式压力传感芯片的工作特性：
图三
SM97A系列压阻式压力传感芯片的应用：
汽车领域：
• 选择性催化还原检测（SCR）
• 油压测量
• 变速器
• 尾气排放
• HVAC压缩机
• 燃料蒸汽
• 重型车辆轮胎压力
工业领域：
• 工业控制
• 压缩机和泵
• 压力开关
• 充油组件
图四 产品结构与尺寸
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