【产品】精度高达±1%FS的超低压数字MEMS传感器SM9231、SM9331，工业医疗两相宜

时间： 2017-12-25 来源：SMI（世强编辑整理） 作者：学徒超超

技术问答

SM9231/SM9331为SMI新推出的超低压数字MEMS传感器，采用最先进的压力传感技术和CMOS混合信号处理技术，通过数字接口获得高精度的压力信号，典型的输出精度高达±1%FS，在医疗和工业领域具有广泛应用。

作为一款数字化、完全可调的压力传感器，SM9231/SM9331提供125Pa和250Pa两种量程范围，用户可根据需求选择表压和差压的配置方式，有效提高设计的灵活性。该元件具有16位I²C数字接口，数据更新速率高达2000Hz，满足高速数据采集的传感器应用。此外，SM9231/SM9331采用3.0V~3.6V电源供电，电流功耗仅为3.0mA，有效降低了设备的功耗。

SM9231/SM9331采用JEDEC标准SOIC-16封装，具有双向垂直安装选项，可直接安装在标准PCB上，并且内部集成信号调理电路ASIC，简化了该元件的使用和设计成本。SM9231/SM9331具有出色的温度特性，并且提供压力校正和温度补偿输出，补偿温度范围为-20℃~85℃，确保环境温度变化时测量的准确性。

图1 超低压数字MEMS传感器SMI9231/SMI9331实物图

图2 超低压数字MEMS传感器SM9231/SM9331典型应用电路

超低压数字MEMS传感器SMI9231/SMI9331主要特点：

·压力范围：125Pa和250Pa；表压和差压

·样本的数字输出精度：±1%FS（典型值）

·16位I²C数字接口

·压力校正和温度补偿输出

·补偿温度范围：-20℃~85℃

超低压数字MEMS传感器SMI9231/SMI9331典型应用：

·医疗领域

--睡眠呼吸暂停

--CPAP（无创呼吸机）

--呼吸机

--气体流量仪表

--气流监测器

·工业领域

--气流测量

--气压计

--压力开关

--安全柜

--生命科学

--气体流量仪表

--HVAC（采暖通风与空调）

技术顾问：咸柠

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全部评论（7）

TIANCAI3 Lv8. 研究员 2018-11-20

收藏参考先
XH750507 Lv7. 资深专家 2017-12-29

学习了
常大人 Lv5. 技术专家 2017-12-25

学习了
ggss Lv8. 研究员 2017-12-25

学习了
土木 Lv7. 资深专家 2017-12-25

收藏了

冰雪漫天 Lv4. 资深工程师 2017-12-25

挺好的资料，学习
木chen Lv8. 研究员 2017-12-25

可以一试

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SMI SM9541压力传感器数据手册

型号- SM9541-060C-S-B-3-S*,SM9541-040C-D-C-3-S,SM9541-140C-S-C-3-S,SM9541-010C-D-C-3-S,SM9541-100C-D-C-3-S,SM9541-010C-S-C-3-S,SM9541,SM9541-140C-D-C-3-S,SM9541-100C-D-C-5-S,SM9541-020C-D-C-3-S,SM9541-020C-S-C-3-S,SM9541-040C-S-C-3-S,SM9541-100C-S-B-3-S*,SM9541-100C-S-C-3-S

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【选型】SMI MEMS芯片/系统/压力传感器/微创传感器（Systems）选型指南

目录- MEMS pressure sensor die

型号- SM933X,SM6X21,SM30G,SM4X21,SMI-1A-48-XXX-ADAR,SM7X91,SMI-1A-48-XXX-ADAP,SMI-1B-48-XXX-ADAR,SM5108E,SMI-1B-48-XXX-ADAP,SM5X91,SM9325,SM1X91,SM9543,SM1X21,SM30D,SMI-1A-48-XXX-ABUU,SM98A,SMI-1B-48-XXX-AAUU,SMI-1B-48-XXX-ABUU,SM6841,SM1171,SM5420E,SM7X21,SM9D,SM5X21,SM95G,SM5G,SM1111,SM6X91,SM1131,SM4X91,SM9G,SM95D

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NSPDSx Series Integrated Differential Low Pressure Sensor

型号- NSPDS5F350DT34,NSPDS5F250DTB1,NSPDS5F005RT18,NSPDS9F250DTB1,NSPDS5F010DT10,NSPDS7F210DT44,NSPDS5F093RT31,NSPDS7 SERIES,NSPDS9 SERIES,NSPDS5F105DT27,NSPDS5F500DTA8,NSPDS5,NSPDS5 SERIES,NSPDS7,NSPDS9,NSPDS5F093DT26,NSPDS5F035RT29,NSPDS5F070RT30,NSPDS5F007RT20,NSPDS5F020DT12,NSPDS5F010RT21,NSPDS5F008RT19,NSPDS5F005DT07,NSPDS7F070DT43,NSPDS5F001RT14,NSPDS5F020RT23,NSPDS7F004DT41,NSPDS5F300DTB2,NSPDS5F001RT13,NSPDS5F035DT24,NSPDS5F310DT28,NSPDS5F600DTA6,NSPDSX SERIES,NSPDS5F004DT06,NSPDS9F500DTA8,NSPDS5F002RT15,NSPDS5F210RT33,NSPDS9F300DTB2,NSPDS5F002RT16,NSPDS5F007DT09,NSPDS5F014DT11,NSPDS9F600DTB3,NSPDS5F014RT22,NSPDS5F008DT08,NSPDS5F004RT17,NSPDS5F300DTA5,NSPDS5F105RT32,NSPDS5F250DTA2,NSPDS5F002DT04,NSPDS5F250DTA1,NSPDS9F300DTA5,NSPDS7F002DT42,NSPDSX,NSPDS5F002DT05,NSPDS5F600DTB3,NSPDS7F001DT45,NSPDS5F400DT02,NSPDS5F070DT25,NSPDS9F250DTA2,NSPDS9F600DTA6,NSPDS9F250DTA1,NSPDS5F001DT03,NSPDS5F001DT02

数据手册 - 纳芯微电子 - Revision 0.6 - 2021/11/8 PDF 英文下载

Amphenol Sensors(安费诺)/All Sensors MEMS压力传感器选型指南

目录- Product Matrix&Evaluation Kit Millivolt Output (compensated) Digital Output Amplified Output Basic Output (uncompensated) Media Isolated Sensors (Millivolt) Media Isolated Sensors (Amplified) Appendix A: Packaging Appendix B: White Papers Appendix C: Additional Resources

型号- 30 PSI-G-CGRADE-MINI,30 INCH-D1DIP-MV-MINI,ADCA SERIES,SPM-402,BLC SERIES,SPM-401,2 INCH-D2-MV-MINI,1 PSI-D-PRIME-MV,5 PSI-G-PRIME-MINI,5 INCH-D2-MV-MINI,30 INCH-DX-MV-MINI,30 PSI-D-CGRADE-MINI,DLVR-L20D,30 PSI-D-HGRADE-MV,DLVR-L20G,15 PSI-AF-CGRADE-MINI,100 PSI-D-PRIME-MV,DLHR-F50D,MLV-L02D-A6BBF-N,30 PSI-A-CGRADE-MINI,5 PSI-G-4V-PRIME,30 PSI-AF-CGRADE-MINI,BLV-L20D,2 INCH-D1DIP-MV-SDXL,DLHR-L05G,10 INCH-G-4V,CPA 502,10 INCH-D2DIP-MV-MINI,0.3 PSI-G-4V-MIL,10 INCH-D-HGRADE-MINI,30 PSI-D-PRIME-MV,120 CMH2O-D-4V-PRIME,1 INCH-DX-P4V-MINI,ASCX,DLHR-L05D,15 PSI-D-DO,BARO-INHG-DO-MIL-PCB,DLHR-L02D,5 PSI-D-4V-MIL,DLHR-L02G,2.5 INCH-G-4V,DLH-L60D,30 INCH-G-4V-MINI,5 CMH2O-D1-4V-MINI,15 PSI-A-4V-MIL,DLH-L60G,DLVR-L30D,20 INCH-D1DIP-MV-SDXL,BP01-G-4V-MINI,DLVR-L30G,15 PSI-GF-HGRADE-MINI,5 INCH-G-MV-MINI,1 PSI-G-4V-MIL,CPM502□-□□□□□□□□□,SAMP,10 INCH-GF-CGRADE-MINI,BARO-INHG-DO-MIL,BLV-L30D,TM4C1233D5PM,100 PSI-D-4V-PRIME,MLV-L02D,5 INCH-D1DIP-MV-SDXL,15 PSI-A-PRIME-MV,CPA 602,5 PSI-D-4V-ASCX,MDCX,1 PSI-D-4V,100 PSI-X-DO,20 INCH-DX-4V-MINI,5 INCH-D-DO,100 PSI-G-CGRADE-MINI,MLV SERIES,150 PSI-D-4V,0.5 INCH-G-4V,30 PSI-GF-HGRADE-MINI,MLV-L01D,0.3 PSI-D-HGRADE-MV,20 INCH-D-MV,ADO,10 INCH-G-MV-MINI,1 INCH-G-4V,5 INCH-DX-MV-MINI,15 PSI-G-4V,BLC-L30D,0.3 PSI-D-4V,BLVR,0.3 PSI-G-4V-PRIME,150 PSI-D-HGRADE-MV,BLC-L01D-D1,2 INCH-DX-MV-MINI,2 INCH-G-MV-MINI,0.3 PSI-G-HGRADE-MINI,30 PSI-DX-4V-MINI,MLV-030D,100 PSI-D-DO,15 PSI-A-HGRADE-MINI,CPA-602,0.5 INCH-DX-4V-MINI,MCS SERIES,0.3 PSI-G-PRIME-MINI,2 INCH-D-MV,1 PSI-G-CGRADE-MINI,DLC,15 PSI-G-PRIME-MINI,30 PSI-D-4V-PRIME,1 PSI-D-CGRADE-MV,SPM 02,DLH,30 PSI-D-PRIME-MINI,DLVR-L02D-E1NS-C-NI3F,15 PSI-G-HGRADE-MINI,60 INCH-G-4V,MLV-150D,30 PSI-A-4V,FPS,0.3 PSI-DX-4V-MINI,0.3 PSI-GF-PRIME-MINI,DLV,15 PSI-A-CGRADE-MV,120 CMH2O-D1-4V-MINI,30 INCH-G-MV-MIN,BARO-A-4V,15 PSI-GF-PRIME-MINI,BARO-DO-MIL,DLHR-L02DE1NS-CNAV6,10 INCH-GDIP-MV-SDXL,5 PSI-D-4V,15 PSI-AF-PRIME-MINI,20 CMH2O-D1-4V-MINI,MLV-L05D,100 PSI-GF-CGRADE-MINI,5 PSI-D-PRIME-MINI,DLVR-F50D,0.3 PSI-D-4V-MIL,5 INCH-D-MV,DLVR-L05D,DLVR-L05G,15 PSI-G-CGRADE-MINI,0.3 PSI-D-4V-PRIME,15 PSI-D-4V-ASCX,10 INCH-GF-HGRADE-MINI,15 PSI-D-PRIME-MV,4 INCH-G-CGRADE-MINI,150 PSI-G-4V,10 INCH-DX-MV-MINI,60 INCH-DX-P4V-MINI,10 INCH-D1DIP-MV-SDXL,BDS-L10D100A,BLC,30 INCH-D-MV,SPA 401□-□□□□□□□□□□□□□□□□,100 PSI-G-CGRADE-MIN,30 INCH-GDIP-MV-MINI,DLV-005G-E1BD-CNI3F,2 INCH-D2DIP-MV-MINI,20 INCH-D1DIP-MV-MINI,DLV-060D,DLV-060G,30 PSI-A-DO-MIL,1 PSI-D-4V-MIL,DLVR-L02G,1 PSI-D-4V-MINI,DLV-060A,BLV,2 INCH-D1DIP-MV-MINI,15 PSI-D-PRIME-MINI,BDS-L10D030A-N9,10 INCH-DX-P4V-MINI,30 PSI-A-4V-ASCX,CPA602□-□□□□□□□□□,5 PSI-D-CGRADE-MINI,30 PSI-A-HGRADE-MINI,1 PSI-D-DO-MIL,DLVR,2.5 INCH-D-4V,MLV-L10D-A6DXF-N,DLVR-L01D,30 INCH-D1DIP-MV-SDXL,DLVR-L01G,30 PSI-AF-HGRADE-MINI,BLCR-L05D,15 PSI-A-DO,CPA-502,10 INCH-D-DO,1 PSI-G-4V,MCI,BP01-D-MV,DLVR-L02D,5 PSI-G-4V-MIL,DHLR-L10D,MCS,DLHR- L02D + X,BLVR SERIES,DLV-030G,MLV-015D,10 INCH-G-CGRADE-MINI,MLV-015A,DLV-030A,20 INCH-G-P4V-MINI,ACPC,MLV-100D,DLV-030D,5 PSI-D-4V-PRIME,0.3 PSI-D-PRIME-MINI,20 INCH-D-4V,10 INCH-D2DIP-MV-SDXL,120 CMH2O-D-4V,15 PSI-D-HGRADE-MV,DLH-L05G,DLH-L05D,100 PSI-A-4V,5 PSI-GF-HGRADE-MINI,100 PSI-D-HGRADE-MV,BARO-A-4V-MINI,0.3 PSI-D-HGRADE-MINI,1 PSI-GF-HGRADE-MINI,4 INCH-D-HGRADE-MINI,5 PSI-D-4V-MINI,1 INCH-G-P4V-MINI,4 INCH-D-HGRADE-MV,15 PSI-D-HGRADE-MINI,5 PSI-D-HGRADE-MV,10 INCH-GDIP-MV-MINI,BLVR-L10D-B1NS-N,15 PSI-D-4V,4 INCH-GF-HGRADE-MINI,30 PSI-G-PRIME-MINI,1 INCH-G-4V-MINI,PSI-X-4V-ASCX,5 PSI-DX-4V-MINI,100 PSI-G-PRIME-MINI,DLVR-L10D,30 PSI-D-CGRADE-MV,DLVR-L10G,1 PSI-D-HGRADE-MINI,BLC-015A,5 INCH-GDIP-MV-SDXL,SPM 401,0.3 PSI-GF-HGRADE-MINI,SPM 402,30 INCH-D2DIP-MV-MINI,30 PSI-AF-PRIME-MINI,100 PSI-A-DO-MIL,MLV-L10D-A6AAX-N,5 CMH2O-D1-P4V-MINI,5 PSI-D-CGRADE-MV,30 PSI-D-4V,MLV-L10D-A6XAF-N,CPM602,30 INCH-D2-MV-MINI,ASCX SERIES,BARO-A-4V-MINI-PRIME,0.25 INCH-D-4V,DLHR- L10D + X,15 PSI-A-HGRADE-MV,100 PSI-GF-HGRADE-MINI,10 INCH-DX-4V-MINI,BDS-L10D030A,BLCR-L10D,1 PSI-GF-PRIME-MINI,100 PSI-D-CGRADE-MV,BDS SERIES,DLHR-L60D,DLHR-L60G,1 MBAR-D-4V,SPM401□-□□□□□□□□□□□□□□□□,5 PSI-G-HGRADE-MINI,5 PSI-GF-CGRADE-MINI,MAMP,0.3 PSI-G-4V-MINI,ADUX,0.3 PSI-G-CGRADE-MINI,2 INCH-GDIP-MV-SDXL,5 INCH-D-4V,4 INCH-D-CGRADE-MV,5 PSI-D-HGRADE-MINI,30 INCH-D-4V,BLV-L01DB1NS-N,10 INCH-G-PRIME-MINI,15 PSI-D-CGRADE-MV,BLCR,30 PSI-D-HGRADE-MIN,100 PSI-AF-PRIME-MINI,100 PSI-A-HGRADE-MV,20 INCH-GDIP-MV-MINI,CPM-502,MLV-005D,1 PSI-D-DO,BLCR-L20D,BARO-A-4V-PRIME-REF,5 PSI-D-DO-MIL,ABX00004,10 INCH-D1DIP-MV-MINI,10 INCH-D-MV,SPA 401,ABX00002,SPA 402,0.5 INCH-D-MV,30 INCH-D2DIP-MV-SDXL,100 PSI-A-4V-PRIME,1 PSI-D-HGRADE-MV,15 PSI-A-PRIME-MINI,DLH-L05D-E1NS-C-NAV6,5 INCH-DX-P4V-MINI,2 INCH-D2DIP-MV-SDXL,FPS SERIES,0.3 PSI-D-CGRADE-MINI,5 INCH-D2DIP-MV-SDXL,1 PSI-G-PRIME-MINI,30 PSI-A-PRIME-MV,30 PSI-A-4V-PRIME,SPM402□-□□□□□□□□□□□□□□□□,30 PSI-G-4V-MINI,BLC-L05D,MCI SERIES,100 PSI-G-HGRADE-MINI,BLVR-L20D,100 PSI-D-4V,30 PSI-A-4V-MINI,DLH-L10D,10 INCH-D-CGRADE-MINI,DLH-L10G,15 PSI-GF-CGRADE-MINI,1 INCH-D-MV,1 PSI-D-4V-ASCX,100

选型指南 - AMPHENOL SENSORS - 2019/12/9 PDF 英文下载

测压范围30~600kPa，小米Watch S4 Sport智能腕表采用敏芯高灵敏度防水气压计

小米Watch S4 Sport是小米在7月份发布的一款旗舰智能腕表，拥有一体钛金属打造，还带了颂拓运动算法，主打专业户外运动市场。近日，智研所拆解小米Watch S4 Sport智能手表，发现其内部采用了来自敏芯股份的多款传感器，其中包括型号为MSPC600-ADS3的防水气压计和型号为MG18 D181的MEMS麦克风。

应用方案发布时间 : 2024-09-10

【应用】高精度低压传感器用于热水器和锅炉的燃气流量监测，能够测量低至 250Pa 的压力

在热水器和锅炉中，一般使用压力传感器来控制进入燃烧器的空气和燃气流量，从而保证其比例的合理分配。燃气流量监测对于确保燃气不会泄露到环境中也非常关键。但是燃气的流量一般非常小。选用压力传感器的时候，必须要求该传感器具备非常高的灵敏度。对此，SMI公司能够提供专业的高精度低压传感器，能够测量低至 250Pa 的压力，非常适合用于热水器和锅炉中的燃气流量监测和。

应用方案发布时间 : 2019-07-05

安费诺先进传感器的MEMS传感器提供最先进的高性能、高性价比的传感器解决方案

NovaSensor（Amphenol Advanced Sensors的子品牌）的MEMS传感器其准确度、可靠性和尺寸大小而闻名于世，NovaSensor的传感器在医疗、运输和工业等领域的应用中提供最佳性能解决方案。

原厂动态发布时间 : 2019-08-08

尺寸为2.0x2.5x1.05mm的MEMS模拟气压计CMPA03，最高可测量1500kPa的气压

CMPA03是一款卓越的MEMS模拟气压计，广泛应用于胎压计、打气泵和工业传感器等多领域产品应用。该产品具有广泛的气压侦测范围，能够测量0至1500 kPa的气压。其工作电压范围为1V至10V。CMPA03在-40℃至+125℃的广泛工作温度范围内表现稳定可靠，适应各种环境条件。

产品发布时间 : 2023-11-21

SMI LOW PRESSURE DIGITAL / ANALOG SENSOR: SM7000/SM6000/SM5000 Series Gage & Differential Pressure Sensors

型号- SM6491,SM7000,SM7391-BCE-S-500,SM6000 SERIES,SM6231,SM5000,SM6331,SM6431,7391-BCE-S-500-000,SM6291,5391-BCE-S-100-000,SM6391,SM5000 SERIES,SMXXXX-XXX-X-XXX.XX-XXX-XXX.XX,SM5391,SM7000 SERIES,SM5491,SM7231,SM6000,SM7431,SM7331,SM5231,SM5331,SM5431,SM7291,SM7491,SM7391,SM5291,7291-BCE-S-001-000,5291-BCE-S-100-000,6391-BCE-S-040-000

数据手册 - TE CONNECTIVITY - Version 05/2021 - 04/2022 PDF 英文下载