KYOCERA超精密等离子处理技术荣获2021年日本“科学技术奖”殊荣

时间： 2021-06-03 来源：KYOCERA

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KYOCERA公司通过技术创新制造出厚度均匀，精度达到纳米级的晶片，用于改进智能手机、可穿戴设备、助听器、ADAS技术等等。

KYOCERA近日宣布，由于具备用于生产微型晶体谐振器的超精密等离子处理技术，被日本文部科学省授予2021年“科学技术奖（研发类）”。这项技术是与大阪大学 Kazuya Yamamura教授合作开发的。

图1.利用超精密等离子体处理技术的小型晶体振荡器

KYOCERA公司的微型晶体谐振器是采用先进的等离子体处理技术（等离子 CVM）生产的，这种方法包含等离子体和工件表面之间的化学反应。这项创新技术在纳米级的尺寸精度下生产出厚度均匀的晶片，并且不会损坏晶片表面，因此，等离子CVM工艺适合大规模生产低频偏的高性能石英晶片，广泛应用于智能手机、可穿戴设备、微型助听器、医疗设备和其他电子产品领域中的超小型石英谐振器。这项技术还将使KYOCERA公司未来能够开发出多种产品，包括汽车电子产品的低频振荡器、通信基站的高频振荡器以及用于高级驾驶辅助系统（ADAS）应用的小型化组件等。

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全部评论（1）

KoFaCh Lv8. 研究员 2021-06-05

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