【技术】解析压阻式MEMS压力传感器工作原理

时间： 2022-11-22 来源：Consensic

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本文中Consensic将为大家解析压阻式MEMS压力传感器的工作原理。压阻式MEMS压力传感器利用单晶硅的压阻效应而构成，又称扩散硅压力传感器。压阻式传感器广泛地应用在航天、航空、航海、石油化工、动力机械、生物医学工程、气象、地质、地震测量等各个领域。

压阻式MEMS压力传感器采用单晶硅片为弹性元件，在单晶硅膜片上利用集成电路的工艺，在单晶硅的特定方向扩散一组等值电阻，并将电阻接成桥路，单晶硅片置于传感器腔内。

当压力发生变化时，单晶硅产生应变，使直接扩散在上面的应变电阻产生与被测压力成比例的变化，再由桥式电路获得相应的电压输出信号。

压阻式MEMS压力传感器具有精度高、工作可靠、频率响应高、迟滞小、尺寸小、重量轻、结构简单、便于实现显示数字化等特点，而且可以测量压力，稍加改变，还可以测量差压、高度、速度、加速度等参数。

Consensic是一家设计、生产MEMS压力传感器、流量传感器和流量计的高新技术企业，其中生产的MEMS压力传感器主要是压阻式的。

Consensic设计生产的压阻式MEMS压力传感器，有尺寸小，精度高，功耗低等优点，可以广泛应用于智能手机、扫地机、充气泵、压力锅、豆浆机、天气预报机、机器人、智能穿戴设备、无人机、3D导航、高度测量等设备。

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型号- 7504A,3255A,T500,1220,CD9515,DSD 25,68CM1,FS-90,1210,FS-91,4602,HTU3535PVBM,4604,7505A,AISI-304,1230,MS4525DO,DSD 17,MACRO CD375,TSYS02D,D5100,4610,MS8607,ACCUSTAR EA,EPRB,XP5,805,808,89BSD,D,E,F,T400,4630,SDT1,1240,P1200,606M1,PS2011AB,DSD 40,ELM-4000,3058A,MS5803-01BA,FMT,SIL-3,M7100,LS809-31,EGCS-D5,4332M3,TLH100,FTP520,MS54XX,EGCS-D0,ESP 64HD,XL403D,AST46HA,710,832,FN7110,834,EB,PS501,LDM-1000,U86B,DP86,52M30,PS2021AB,EV,M905,EX,720,RVIT-Z,603,LS509-51,ELM-5000,TS318-3B0814,FN4070,H005,H009,TLH,610,RCS01-10,31207B,FTP540,PML 1000,LDS309-11N,EPB-PW,735,EVS722-51,FN9630,MACRO HPGS 750,GC,FN9635,FLDT1,U7100,FTP530,85F,FN4080,AISI-400,834M1,HTU2X,ARD154,EPB,EGAXT,VS804-21,HC,65210E,EPL,7108A,86A,CLP,AST46SW,HR,MS52XX,AST4510,KMT32B,KPSI 730,750,KPSI 735,FTP560,633,634,7531A,XFTC300,Y12AD,FTP552,FTP553,FTP554,AST4401,AST4400,AST4520,KPSI 720,U5700,KPSI 600,FN4055,KPSI 601,MS5803-30BA,FTP551,31206B,FN9620,DPG,LL-01,FN7325,DPL,DPN,98RK-1,64B,40A,64C,40B,HTF3000LF,52F,3022,DSF EX-ATEX,KPSI 750,KMT37,FN3050,TPT,64X,KMT39,9916,53A,AST43LP,AST4500,KPSI 500,KPSI 501,KPSI 745,3028,GÏΜÁÐ,86BSD,8811-01,PM50,KMA36,TSYS01,LT,TSYS02,ATA-2001,KMT36H,P900,LBB,PM81,FN3030,DSD,3038,DSF,CM-01,DSH,8021-AP,8021-AR,DSL,PM83,ML,DT1,4020,TSD,6200,DSS,AST46PT,AST44LP,805M1,AST4600,DSY,TSD305,7500A,DC-SE,EGAXT3,MS5525ASO,4030,LDTC,XPM10,MS4515DO,330,MACRO HSTA/R,KPSI 710,MSP300,335,AST20HA,XS-C,XS-D,7501A,LL-10,HTU3535PVBM/WIRE,MACRO SSI/R,PT101,HTG351XCH,AST2000H2,342,KPSI 700,16HD,KPSI 705,LS304-31,LMM-H04,LMM-H03,FN3148,DSD 70,7502A,7514A,P700,4810A,CD1110,KPSI 330,8021-VP,8021-VR,KPSI 335,AST4000,EÏΜÁÐ,7135A,13,XFL212R,6000,17,LVM-110,KPSI 320,AST44XX,8711-01,121,FN3002,AST5100,LCS-03,FN3000,CS1120,R36,PCA 375,U5300,RT9,RT8,M3200,7100A,23,9400,TLH600,CPA150,27,HS1101LF,28,M210,AST20SW,KPSI 351,KPSI 353,HTU383X/WIRE,IT9000,130,KPSI 355,AST5300,AST4100,SG,CD1140,XPM4,SK,7101A,SM,FX19,MSP100,EPM-5000,SP,TPT300V,PM101,MSP340,SR,33,37,PT9000,AST45XX,KPSI 342,1201F,MT3A,ACH-01,SL-630,M5600,7102A,43,TS,EL20-S458,MS5805,XFU400,SP683,47,MS5803,MP 2000,P981,KPSI 30,HTM2500LF,CS1210,AST5400,MLP,FN1010,HTU2XF,HM1520LF,TS305-10C50,TRUBLUE 585,16MS,52,KPSI 27,MS32,KPSI 28,58,DÏΜÁÐ,MS1451,XPM6,AST46XX,ESP 32HD DTC,160,PT1,161,AST4200,PT5,DSH 16,DOG2,FX29,ESP 64HD DTC,7104A,TRUBLUE 575,FN2114,US300,9146-R,PTX,85BSD,7105A,MS5837,9216,KMA36A,AST20PT,AST4300,MS1471,9146-T,808M1,U5600,FN2570,CD1050,EPM-4001,XP,82,MS5525DSO,85,86,TRUBLUE 555,FS-01,89,MS5607,FS-02,8011,MS4515,FS-05,FS-06,ED32I,MACRO GHSE/R,MS5840,PS2031AB,G系列,8032-01,FN2420,R60D,3052A,154BSD,MS4525,MS5611,XFC200R,EPIH,ELAF,HTU383X,M12,3801A,1620,KMY,65210ES,KMZ,FN2317,M150,AST46DS,11206AC,PS831,8021-01,EGCS-D1S,KPSI 300DS,1630,820M1,XPC10,TSEV,53AF,140A,SL-900,MS5637,MS4426,CD1124T,MS4425,EVS312-11N,MT2,MT3,CS1060,CD1095,832M1,VCS-06,MTA,VCS-04,3700,M5200,FN7080,P105,P101,32HD,9022,E系列,FS19,HTU21DF,7131A,FC22,FC23,4630M12,9034,142A,9038,154N,4801A,9032,LIM-420,9033,5905,7132A,LTA,LTB,4630M14,5903,PT8000,P125,TS318-5C50,T600,8102A,LTR,HM1500LF,D系列,R30A,HTU21D,8011-01,PS801,KPSI 380,NDT-1,FS20,4835A,AST43XX,ACCUSTAR,U5200,1201,FCA7300,AD-101,PS811,VS309-51N,KMXP,11207AC

选型指南 - TE CONNECTIVITY - 2019年6月 PDF 中文下载

TE Connectivity（泰科）传感器选型指南

目录- Company Profile DIGITAL COMPONENT SENSOR DEVELOPMENT TOOLS FLOW SENSORS FORCE SENSORS HUMIDITY SENSORS LIQUID LEVEL SENSORS PHOTO OPTIC SENSORS PIEZO FILM SENSORS POSITION SENSORS PRESSURE SENSORS RATE AND INERTIAL SENSORS SCANNERS AND SYSTEMS SPEED SENSORS TEMPERATURE SENSORS TORQUE SENSORS ULTRASONIC SENSORS VIBRATION SENSORS WATER LEVEL SENSORS

型号- 7504A,3255A,T500,8011-AR,8011-AP,CD9515,DSD 25,68CM1,FS-90,FS-91,6900,4602,4604,7505A,MS4525DO,DSD 17,TSYS02D,CWW600,D5100,4610,MS8607,EPRB,XP5,805,5903 SERIES,808,89BSD,T400,4630,SDT1,P1200,606M1,PS2011AB,LDTC FAMILY,DSD 40,ELM-4000,3058A,MS5803-01BA,FMT,SIL-3,M7100,700,LS809-31,EGCS-D5,TLH100,4332M3,FTP520,MS54XX,EGCS-D0,ESP 64HD,XL403D,AST46HA,832,FN7110,HSTA,834,EB,PS501,LDM-1000,U86B,DP86,KMXP 1000,52M30,PS2021AB,M905,RVIT-Z,603,LS509-51,ELM-5000,TS318-3B0814,FN4070,H005,PT500,H009,610,RCS01-10,31207B,FTP540,CWW850,PML 1000,LDS309-11N,EPB-PW,EVS722-51,CWW1000,FN9630,GC,FN9635,FLDT1,U7100,FTP530,85F,FN4080,834M1,HTU2X,ARD154,EPB,EGAXT,VS804-21,HC,65210E,EPL,7108A,86A,CLP,AST46SW,HR,MS52XX,KMXP 2000,AST4510,KPSI 730,KPSI 735,FTP560,633,634,7531A,XFTC300,Y12AD,18FR,FTP552,FTP553,FTP554,AST4401,AST4400,AST4520,KPSI 720,U5700,KPSI 600,FN4055,KPSI 601,400,MS5803-30BA,FTP551,31206B,FN9620,DPG,TRUBLUE 255,LL-01,FN7325,DPL,DPN,64B,40A,64C,40B,HTF3000LF,52F,3022,KPSI 750,KMT37,FN3050,TPT,64X,KMT39,9916,53A,AST43LP,ESP 16HD,AST4500,KPSI 500,KPSI 501,KPSI 745,3028,86BSD,8811-01,PM50,KMA36,TSYS01,LT,TSYS02,ATA-2001,KMT36H,P900,LBB,G-SERIES,PM81,FN3030,DSD,3038,DSF,CM-01,DSH,8021-AP,8021-AR,DSL,PM83,CD375,ML,DT1,4020,TSD,6200,DSS,AST46PT,AST44LP,805M1,AST4600,DSY,TSD305,7500A,DC-SE,EGAXT3,4030,LDTC,XPM10,MS4515DO,KPSI 710,PT100,MSP300,AST20HA,XS-C,XS-D,7501A,LL-10,HTU3535PVBM/WIRE,PT101,6100,SSI,HTG351XCH,AST2000H2,KPSI 700,SSR,KPSI 705,TRUBLUE 275,LS304-31,LMM-H04,LMM-H03,FN3148,TSYS,DSD 70,7502A,7514A,P700,APS,4810A,CD1110,KPSI 330,8021-VP,8021-VR,KPSI 335,AST4000,7135A,5905 SERIES,400 SERIES,XFL212R,6000,LVM-110,KMXP 5000,KPSI 320,AST44XX,8711-01,121,FN3002,AST5100,LCS-03,FN3000,CS1120,R36,PCA 375,U5300,RT9,RT8,M3200,7100A,9400,TLH600,CPA150,HS1101LF,M210,AST20SW,KPSI 351,KPSI 353,HTU383X/WIRE,130,IT9000,KPSI 355,AST5300,AST4100,SG,CD1140,XPM4,SK,7101A,SM,FX19,MSP100,SP,EPM-5000,TPT300V,PM101,MSP340,SR,12FR GP,PT9000,AST45XX,KPSI 342,1201F,MT3A,ACH-01,SL-630,M5600,7102A,PT1000,TS,EL20-S458,8011-VP,MS5805,XFU400,MS5803,MP 2000,P981,HSTAR,KPSI 30,HTM2500LF,CS1210,AST5400,E-SERIES,MLP,FN1010,HTU2XF,HM1520LF,TS305-10C50,24FR,TRUBLUE 585,16MS,52,8011-VR,KPSI 27,MS32,KPSI 28,58,MS1451,XPM6,160,AST46XX,ESP 32HD DTC,PT1,161,ACCUSTAR EA,AST4200,PT5,DSH 16,DOG2,FX29,MMX,12FR,ESP 64HD DTC,7104A,TRUBLUE 575,FN2114,US300,9FR,9146-R,GHSE,PTX,85BSD,7105A,MS5837,9216,KMA36A,AST20PT,AST4300,MS1471,9146-T,808M1,U5600,FN2570,CD1050,EPM-4001,XP,82,MS5525DSO,85,86,TRUBLUE 555,FS-01,89,MS5607,FS-02,FS-05,FS-06,ED32I,MS5840,PS2031AB,8032-01,FN2420,R60D,3052A,154BSD,P9000,MS5611,XFC200R,EPIH,ELAF,ESP 32HD,M12,3801A,1620,KMY,65210ES,KMZ,FN2317,M150,AST46DS,11206AC,10FR,PS831,8021-01,EGCS-D1S,KPSI 300DS,1630,820M1,XPC10,TSEV,53AF,140A,SL-900,MS5637,CD1124T,EVS312-11N,MT2,MT3,CS1060,CD1095,832M1,VCS-06,MTA,VCS-04,3700,M5200,FN7080,P105,P101,9022,FS19,7131A,FC22,FC23,4630M12,9034,142A,9038,154N,4801A,9032,LIM-420,9033,5905,GHSER,7132A,LTA,ACCUSTAR IP66,LTB,4630M14,5903,PT8000,P125,TS318-5C50,T600,8102A,LTR,HM1500LF,R30A,GHSER 750-A,HTU21D,8011-01,PS801,700 SERIES,KPSI 380,NDT-1,FS20,FS22,4835A,AST43XX,D-SERIES,FS23,U5200,1201,1200,HPGS 750,FCA7300,AD-101,PS811,VS309-51N,KMXP,11207AC

选型指南 - TE CONNECTIVITY - 06/2019 PDF 英文下载

康森斯克CAFS3000气体流量传感器在气相色谱仪中的应用

色谱分析是仪器分析领域中发展迅速、研究和应用十分活跃的设备之一。由于色谱分析可以连续对样品进行浓缩、分离、提纯及测定，使其成为每一个分析工作者普遍采用的分析、检测手段，并已广泛应用于石油、化工、食品、医药、卫生、冶金、地质、农业、环境保护等各个行业中，可以说只要有分析任务的地方都在使用色谱分析法。本文具体为大家介绍一下气体流量传感器在气相色谱仪中的应用。

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Standex-Meder（斯丹麦德）传感器和磁性产品选型指南

目录- 传感器干簧开关干簧继电器光电耦合器干簧传感器与磁铁液位传感器与浮标平面电感&变压器定制传感器定制磁性产品模具车间/焊接/不锈钢加工

型号- MK06,HI,MK07,ORD213,B12482,MK08,PR,525-03-I,ORD211,MK02,HM,MK03,PQ32,MK04,MK05,ORD219,GR560-,M02,PQ2007-0R4-70-G,KSK-1C10-,M04,M11 (P),M03,M06,KSK-1A04-,M05,LS02-S,SIL RF,MK10,RM05-4A,MS04-PP,MK15-501,PQ26,ORD324,GR400-,KSK-1A85-,MS02-PA,KSK-1A69-,M13,KSK-1A33-,MS07-PA,521,522,NL126-,525,MS09-S,SX58-12-240-120-RS,528,MK01,BTS,MK28,PR560-,M11 (B),BE,MK24,MK25,MK26,MK27,SX64 (RS),H,LS03-S,KSK-1A46-,M26,SX41 (RS),530,BT,MRX,535,MS02-PP,ORT551,M21P/2,M21P/1,SX58 (R),B12469,SX-40,MK30,MS08-PP,RM05-4-BV10641,MK17,MK18,SX41 (R),MK13,B12450,MK14,DIL,MK15,MK16,KSK-1A87-,MS01-NBR,KT,DIP,RM05-8A-S,KSK-1A35-,GP560-,KSK-1A66/3-,SIL HV,MK16-400,MK22,MK23,RM05-6A.RM05-4-BV10641,LI,PR126-,SX40,KSK-1A80-,567-70-1-1,KSK-1B85-,KSK-1A52-,M11 (SS),ORD228VL,SX58-12-240-120-R,MK11 (P),MK02/7,RM05-8A,KSK-1A35/1-,MK02/6,SX-64,SX58 (RS),MK20/2,MK20/1,GR501-,MS,KSK-1C90U-,KSK-1A53-,ORD2210V,KSK-1E85-,SX-58,SX-55,SX64 (R),567,CRF,SIL,MS03-PP,UMS,NL,ORD872,CRR,MS10-S,GP501-,KSK-1A54-,MS01-PA,MK21P,522-03-I,KSK-1A66-,MK21M,KSK-1C90F-,RM05-6A,PQ20,MS06-PP,MK11 (B),SX55,MS02-NBR,LS04,GP,KSK-1A31-,LS03,LS02,ORD229,535-04-I,GR,LS01,MK23-501,KSK-1A55-,LS05,MK11 (S),ORD21B,KSK-1C,KSK-1A04,KSK-1A,MS01-PP,HE,HF,KSK-1A82,KSK-1A83

选型指南 - STANDEX-MEDER - R02 - 2020/8/19 PDF 中文下载

Consensic（康森斯克）压力传感器/流量传感器/流量计选型表

描述- 无锡康森斯克电子科技有限公司是一家新兴的MEMS设计、生产制造的美国独资企业。通过持续不断地技术创新，为客户提供更多具有市场竞争力的MEMS产品。无锡康森斯克电子科技有限公司为广大用户提供了MEMS传感器的解决方案。我们致力于不断创新和具有市场竞争力的传感器制造，为先进的集成系统提供了更多微小型封装的选择。

型号- CGF5012,CAFS1000A,CPS121,CAFS3000,CAFS5025,CPS122,CPS125,CAFS1000B,CAFS1000C,CPS123,CPS129,CAFS5008B,CAFS5008A,CPA900,CAFS6000,CAFS4000B,CAFS4000,CAFS5012,CPS171,CMF9000,CPS510,CPS137,CAFS5019,MFC900,CPS135B,CPG

选型指南 - CONSENSIC - 2023/8/29 PDF 中文下载

康森斯克CAFS4000流量传感器在医疗领域中的应用

当今时代，人们对医疗保健问题空前关注，体外诊断、药物研究、病患检测、给药方式以及植入式医疗器械等领域也在不停更新迭代。在医疗器械应用中，一个很小的失效问题就是关系到患者生命健康的重大事件，在现代医学的发展过程中，日新月异的传感器技术也不断优化其灵敏度、精确度、可靠性和稳定性，为医疗器械种种关键的失效问题提供解决方案。

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工业领域常用的八大传感器有哪些？

传感器在工业生产中起着至关重要的作用。它们能够监测和测量各种参数，如温度、压力、流量、湿度、位移、速度等，并将这些参数转化为可处理的电信号，实现对机械制造过程的自动化控制。本文介绍比较常用的几种传感器。

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Consensic压力传感器选型表

Consensic提供以下参数的压力传感器选型：压力量程(kPa)涵盖-700-1500kPa，I2C输出接口的压力精度:±0.3kPa~±1kPa，模拟输出接口的压力精度：±1%F.S.

产品型号	品类	尺寸大小(mm)	压力量程(kPa)	压力精度	输出接口	封装
CPS121-130	压力传感器	3x5x1.2mm	30-130kPa	±0.3kPa	I2C	LGA8

选型表 - Consensic 立即选型

康森斯克参展2024中国（上海）国际传感技术与应用展览会9月11-13日上海跨国采购会展中心

康森斯克参展2024中国(上海)国际传感技术与应用展览会，9月11-13日上海跨国采购会展中心携众多产品参会。

原厂动态发布时间 : 2024-09-28

Consensic流量传感器/流量计/流量控制器选型表

Consensic(康森斯克)提供以下技术参数的流量传感器选型：汽车空气流量计：测量范围：0-370、0-800kg/h；精度2%F.S.；电压：7-24；输出方式：电压、频率输出。流量传感器：测量范围0-3000SCCG、0-10000SCCG、0-500SLPM;精度:1.5%F.S.;输出方式：电压输出、I2C输出、485输出。流量计：测量范围（SLPM）：0-300、0-400、0-1000、0-1200、0-150（防爆）；精度:1.5%F.S.;输出方式：电压输出、I2C输出、485输出。流量表：0-1000SLPM，精度1.5%F.S.。流量控制器：量程范围：0-10000SCCM，精度：1%F.S。

产品型号	品类	测量范围	精度(%F.S.)	供电电压(V)	输出方式	接口	主要应用场景	备注
CAFS1000A	汽车空气流量计	0-370 kg/h	2	7~24	电压输出	DN60	汽车、各类机车、工业、化工、机电设备	-

选型表 - Consensic 立即选型

CONSENSIC气体质量流量传感器CAFS3000具有1.5%F.S高精度，应用范围广泛

气体流量传感器的计量准确不受被测流体的温度、压力及粘度的影响，被广泛的应用于工业生产的各个领域。CAFS3000可用于广泛的应用范围，包括仪器（如气相色谱质谱法）、泄漏检测、过程控制、气体流量计量以及医疗应用。CAFS3000需要8 ~ 24 VDC电源提供一个模拟和/或数字用户接口。模拟输出是线性的从1到5 VDC从0到满刻度流量相应。数字输出是通过RS485传输。

应用方案发布时间 : 2024-04-07

奥松电子超声波VS涡街原理的液体流量传感器：全面解析与应用对比

在工业生产、市政工程及日常生活中，精确测量与控制液体流量是确保系统稳定运行、优化资源利用和提升生产效率的关键。超声波液体流量传感器与涡街流量传感器作为两大主流流量测量设备，各自以其独特的工作原理和优势，在不同领域发挥着重要作用。本文奥松电子将深入解析这两种传感器的工作原理、优点，并详细对比它们之间的区别，帮助用户做出更合理的选择。

产品发布时间 : 2024-09-12